�҂��nj�������о΢,��һ�Ҍ�ע����Ԫ��(j��)���V��ƫ�񳬾S��W(xu��)оƬ����W(xu��)ϵ�y(t��ng)�ĿƼ��аl(f��)����I(y��),�������ɿ؇�(gu��)��(n��i)�חl8Ӣ��MEMS��ԇODM�a(ch��n)��,���߂������̡������g,�����A��(j��)�I�ϝ񷨸��g�c��ϴ,�������[�С������˻�,��ԭ�ӌӳ��e,�����W(xu��)�C(j��)е�������Ҫ�ӹ������������V�Eƫ�y(c��)ԇ,������@΢�y(c��)ԇ����Ҫ�y(c��)ԇ����,���ṩ8/6/4Ӣ�羧�A��(j��)΢�{�ӹ�����MEMS�a(ch��n)Ʒ�Y(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��),����ˇ�_(k��i)�l(f��),���y(c��)ԇ��(y��ng)�õȼ��g(sh��)����(w��)�� ͬ�r(sh��)�ڮa(ch��n)Ʒ����,���҂�����MEMS�I(l��ng)��?q��)��I(y��)��ʿ�F(tu��n)�(du��),��������ͨ�^(gu��)�����_(k��i)�l(f��)���(xi��ng)Ŀ���a(b��)�c��˾ֱ�I(y��ng)��Y(ji��)�ϵķ�ʽ,������С�ͻ�,�����ɻ��ĸ߷ֱ����طN��W(xu��)���C(j��)ģ�M�͹�W(xu��)�z�y(c��)��Q�������Ќ�(sh��)�M��͑�(du��)�ڸ�����,���߾��Ȯa(ch��n)Ʒ����(w��)������,���ڹ��I(y��)ҕ�X(ju��)�z�y(c��)��Ӱ���t(y��)�W(xu��)��е,����܇���Sҕ�X(ju��),���h(hu��n)���cʳƷ��ȫ�z�y(c��)���I(l��ng)������S����(y��ng)��ǰ���� ����ǰ�ؾ��M(j��n)��MEMS���܂���������ϵ�y(t��ng)�_(k��i)�l(f��),���҂���B*Bģʽ�y���Ї�(gu��)MEMS���,���෽��֧�ָ�У,������Ժ�������P(gu��n)�ИI(y��)��I(y��)�ļ��g(sh��)�_(k��i)�l(f��)���ٺ������a(ch��n)Ʒ���a(ch��n),���������܂���оƬ�a(ch��n)�I(y��)׃��,�������DŽ�(chu��ng)δ��(l��i)��