技術(shù)趨勢(shì)與挑戰(zhàn)
半導(dǎo)體先進(jìn)制程:
EUV光刻膠需降低缺陷率(目前每平方厘米缺陷數(shù)<10個(gè)),開(kāi)發(fā)低粗糙度(≤5nm)材料,;
極紫外吸收問(wèn)題:膠膜對(duì)13.5nm光吸收率高,,需厚度控制在50-100nm,挑戰(zhàn)化學(xué)增幅體系的靈敏度,。
環(huán)保與低成本:
水性負(fù)性膠替代溶劑型膠(如PCB阻焊膠),,減少VOC排放;
單層膠工藝替代多層膠,,簡(jiǎn)化流程(如MEMS厚膠的一次性涂布),。
新興領(lǐng)域拓展:
柔性電子:開(kāi)發(fā)耐彎曲(曲率半徑<5mm)、低模量感光膠,,用于可穿戴設(shè)備電路,;
光子芯片:高折射率膠(n>1.8)制作光波導(dǎo),需低傳輸損耗(<0.1dB/cm),。
典型產(chǎn)品與廠商
半導(dǎo)體正性膠:
日本信越(Shin-Etsu)的ArF膠(分辨率22nm,,用于12nm制程);
美國(guó)陶氏(Dow)的EUV膠(靈敏度10mJ/cm,,缺陷密度<5個(gè)/cm),。
PCB負(fù)性膠:
中國(guó)容大感光(LP系列):耐堿性蝕刻,厚度20-50μm,,國(guó)產(chǎn)化率超60%,;
日本東京應(yīng)化(TOK)的THMR-V:全球PCB膠市占率30%,適用于高可靠性汽車板,。
MEMS厚膠:
美國(guó)陶氏的SU-8:實(shí)驗(yàn)室常用,,厚度5-200μm,分辨率1μm(需優(yōu)化交聯(lián)均勻性),;
德國(guó)Microresist的MR膠:耐深硅蝕刻,,線寬精度±2%,用于工業(yè)級(jí)MEMS制造,。
光刻膠新興及擴(kuò)展應(yīng)用,。湖南低溫光刻膠供應(yīng)商
技術(shù)優(yōu)勢(shì):23年研發(fā)沉淀與細(xì)分領(lǐng)域突破
全流程自主化能力
吉田在光刻膠研發(fā)中實(shí)現(xiàn)了從樹(shù)脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化,。例如,,其納米壓印光刻膠通過(guò)自主開(kāi)發(fā)的樹(shù)脂體系,,實(shí)現(xiàn)了3μm的分辨率,適用于MEMS傳感器,、光學(xué)器件等領(lǐng)域,。
技術(shù)壁壘:公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn),掌握光刻膠主要原材料(如樹(shù)脂,、光酸)的合成技術(shù),,部分原材料純度達(dá)PPT級(jí),。
細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)先進(jìn)
納米壓印光刻膠:在納米級(jí)圖案化領(lǐng)域(如量子點(diǎn)顯示,、生物芯片)實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破,分辨率達(dá)3μm,,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空缺,。
LCD光刻膠:針對(duì)顯示面板行業(yè)需求,開(kāi)發(fā)出高感光度,、高對(duì)比度的光刻膠,,適配AMOLED、Micro LED等新型顯示技術(shù),。
研發(fā)投入與合作
公司2018年獲高新技術(shù)性企業(yè)認(rèn)證,,與新材料領(lǐng)域同伴們合作開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體光刻膠,計(jì)劃2025年啟動(dòng)半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā),。
重慶納米壓印光刻膠國(guó)產(chǎn)廠商光刻膠解決方案找吉田,,ISO 認(rèn)證 +8S 管理,良率達(dá) 98%!
光刻膠系列:
厚板光刻膠 JT - 3001,,具備優(yōu)異分辨率,、感光度和抗深蝕刻性能,符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),,保質(zhì)期 1 年,;
水油光刻膠 SR - 3308,容量 5L,;SU - 3 負(fù)性光刻膠,,分辨率優(yōu)異,對(duì)比度良好,,曝光靈敏度高,,光源適應(yīng),重量 100g,;
液晶平板顯示器負(fù)性光刻膠 JT - 1000,,有 1L 裝和 100g 裝兩種規(guī)格,分辨率高,,準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性好,;
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠,耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,耐高溫達(dá) 250°C,,長(zhǎng)期可靠性高,,粘接強(qiáng)度高,重量 100g,;
LCD 正性光刻膠 YK - 200,,具有較大曝光、高分辨率,、良好涂布和附著力,,重量 100g;
半導(dǎo)體正性光刻膠 YK - 300,,具備耐熱耐酸,、耐溶劑性、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g,;
耐腐蝕負(fù)性光刻膠 JT - NF100,重量 1L,。
晶圓制造(前道工藝)
功能:在硅片表面形成高精度電路圖形,,是光刻工藝的主要材料。
細(xì)分場(chǎng)景:
邏輯/存儲(chǔ)芯片:用于28nm及以上成熟制程的KrF光刻膠(分辨率0.25-1μm),、14nm以下先進(jìn)制程的ArF浸沒(méi)式光刻膠(分辨率≤45nm),,以及極紫外(EUV)光刻膠(目標(biāo)7nm以下,研發(fā)中),。
功率半導(dǎo)體(如IGBT):使用厚膜光刻膠(膜厚5-50μm),,滿足深溝槽刻蝕需求。
MEMS傳感器:通過(guò)高深寬比光刻膠(如SU-8)實(shí)現(xiàn)微米級(jí)結(jié)構(gòu)(如加速度計(jì),、陀螺儀的懸臂梁),。
芯片封裝(后道工藝)
先進(jìn)封裝技術(shù):
Flip Chip(倒裝芯片):用光刻膠形成凸點(diǎn)(Bump)下的 Redistribution Layer(RDL),線寬精度要求≤10μm,。
2.5D/3D封裝:在硅通孔(TSV)工藝中,,光刻膠用于定義通孔開(kāi)口(直徑5-50μm)。
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“設(shè)備-材料-工藝”閉環(huán)驗(yàn)證
吉田半導(dǎo)體與中芯國(guó)際,、華虹半導(dǎo)體等晶圓廠建立了聯(lián)合研發(fā)機(jī)制,,針對(duì)28nm及以上成熟制程開(kāi)發(fā)專門使用光刻膠,例如其KrF光刻膠已通過(guò)中芯國(guó)際北京廠的產(chǎn)線驗(yàn)證,,良率達(dá)95%以上,。此外,公司參與國(guó)家重大專項(xiàng)(如02專項(xiàng)),,與中科院微電子所合作開(kāi)發(fā)EUV光刻膠基礎(chǔ)材料,,雖未實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),,但在酸擴(kuò)散控制和靈敏度優(yōu)化方面取得階段性突破。
政策支持與成本優(yōu)勢(shì)
作為廣東省專精特新企業(yè),,吉田半導(dǎo)體享受稅收優(yōu)惠(如15%企業(yè)所得稅)和研發(fā)補(bǔ)貼(2023年獲得國(guó)家補(bǔ)助超2000萬(wàn)元),,比較明顯降低產(chǎn)品研發(fā)成本。同時(shí),,其本地化生產(chǎn)(東莞松山湖基地)可將物流成本壓縮至進(jìn)口產(chǎn)品的1/3,,并實(shí)現(xiàn)48小時(shí)緊急訂單響應(yīng),這對(duì)中小客戶具有吸引力,。
光刻膠技術(shù)突破加速,,對(duì)芯片制造行業(yè)有哪些影響?湖南低溫光刻膠供應(yīng)商
光刻膠半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用,。湖南低溫光刻膠供應(yīng)商
作為中國(guó)半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的企業(yè),,吉田半導(dǎo)體材料有限公司始終以自研自產(chǎn)為戰(zhàn)略,,通過(guò) 23 年技術(shù)沉淀與持續(xù)創(chuàng)新,,成功突破多項(xiàng) “卡脖子” 技術(shù),構(gòu)建起從原材料到成品的全鏈條國(guó)產(chǎn)化能力,。其自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品已覆蓋芯片制造,、顯示面板、精密電子等領(lǐng)域,,為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化提供關(guān)鍵支撐,。
吉田半導(dǎo)體依托自主研發(fā)中心與產(chǎn)學(xué)研合作,在光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)多項(xiàng)技術(shù)突破:
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YK-300 正性光刻膠:分辨率達(dá) 0.35μm,,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,,適用于 45nm 及以上制程,良率達(dá) 98% 以上,,成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%,,已通過(guò)中芯國(guó)際量產(chǎn)驗(yàn)證。
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SU-3 負(fù)性光刻膠:支持 3μm 厚膜加工,,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,,成功應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片封裝,良率提升至 98.5%,。
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JT-2000 納米壓印光刻膠:突破 250℃耐高溫極限,,圖形保真度 > 95%,性能對(duì)標(biāo)德國(guó) MicroResist 系列,,已應(yīng)用于國(guó)產(chǎn) EUV 光刻機(jī)前道工藝,。
湖南低溫光刻膠供應(yīng)商
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),,在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己,,要求自己,,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,,在廣東省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及客戶資源,,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是最好的前進(jìn)動(dòng)力,,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同吉田半導(dǎo)體供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái),,創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,,更飽滿的精力去創(chuàng)造,,去拼搏,去努力,,讓我們一起更好更快的成長(zhǎng),!