綠色制造與循環(huán)經(jīng)濟(jì)
公司采用水性光刻膠技術(shù),,溶劑揮發(fā)量較傳統(tǒng)產(chǎn)品降低60%,符合歐盟REACH法規(guī)和國內(nèi)環(huán)保標(biāo)準(zhǔn),。同時,,其光刻膠廢液回收項目已投產(chǎn),通過膜分離+精餾技術(shù)實現(xiàn)90%溶劑循環(huán)利用,,年減排VOCs(揮發(fā)性有機(jī)物)超100噸,。
低碳供應(yīng)鏈管理
吉田半導(dǎo)體與上游供應(yīng)商合作開發(fā)生物基樹脂,部分產(chǎn)品采用可再生原料(如植物基丙烯酸酯),,碳排放強(qiáng)度較傳統(tǒng)工藝降低30%,。這一舉措使其在光伏電池和新能源汽車領(lǐng)域獲得客戶青睞,相關(guān)訂單占比從2022年的15%提升至2023年的25%,。
光刻膠的技術(shù)挑戰(zhàn)現(xiàn)在就是需要突破難關(guān)!蘇州制版光刻膠工廠
工藝流程
目的:去除基板表面油污,、顆粒,,增強(qiáng)感光膠附著力。
方法:
化學(xué)清洗(硫酸/雙氧水,、去離子水),;
表面處理(硅基板用六甲基二硅氮烷HMDS疏水化,PCB基板用粗化處理),。
涂布(Coating)
方式:
旋涂:半導(dǎo)體/顯示領(lǐng)域,,厚度控制精確(納米至微米級),轉(zhuǎn)速500-5000rpm,;
噴涂/輥涂:PCB/MEMS領(lǐng)域,,適合大面積或厚膠(微米至百微米級,如負(fù)性膠可達(dá)100μm),。
關(guān)鍵參數(shù):膠液黏度,、涂布速度、基板溫度(影響厚度均勻性),。
前烘(Soft Bake)
目的:揮發(fā)溶劑,,固化膠膜,增強(qiáng)附著力和穩(wěn)定性,。
條件:
溫度:60-120℃(正性膠通常更低,,如90℃;負(fù)性膠可至100℃以上),;
時間:5-30分鐘(根據(jù)膠厚調(diào)整,,厚膠需更長時間)。
曝光(Exposure)
光源:
紫外光(UV):G線(436nm)、I線(365nm)用于傳統(tǒng)光刻(分辨率≥1μm),;
深紫外(DUV):248nm(KrF),、193nm(ArF)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程(分辨率至20nm);
極紫外(EUV):13.5nm,,用于7nm以下制程(只能正性膠適用),。
曝光方式:
接觸式/接近式:掩膜版與膠膜直接接觸(PCB、MEMS,,低成本但精度低),;
投影式:通過物鏡聚焦(半導(dǎo)體,分辨率高,,如ArF光刻機(jī)精度達(dá)22nm),。
武漢網(wǎng)版光刻膠感光膠PCB廠商必看!這款G-line光刻膠讓生產(chǎn)成本直降30%,。
LCD顯示
彩色濾光片(CF):
黑色矩陣(BM)光刻膠:隔離像素,,線寬精度±2μm,透光率<0.1%,。
RGB色阻光刻膠:形成紅/綠/藍(lán)像素,,需高色純度(NTSC≥95%)和耐光性。
陣列基板(Array):
柵極絕緣層光刻膠:用于TFT-LCD的柵極圖案化,,分辨率≤3μm,。
OLED顯示(柔性/剛性)
像素定義層(PDL)光刻膠:在基板上形成有機(jī)發(fā)光材料的 confinement 結(jié)構(gòu),線寬精度±1μm,,需耐溶劑侵蝕(適應(yīng)蒸鍍工藝),。
觸控電極(如ITO/PET):通過光刻膠圖形化實現(xiàn)透明導(dǎo)電線路,線寬≤5μm,。
Mini/Micro LED
巨量轉(zhuǎn)移前的芯片制備:使用高分辨率光刻膠(分辨率≤5μm)定義微米級LED陣列,,良率要求>99.99%。
在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,,廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司憑借 23 年技術(shù)沉淀,,已成為國內(nèi)光刻膠行業(yè)的企業(yè)。公司產(chǎn)品線覆蓋正性,、負(fù)性,、厚膜、納米壓印等多類型光刻膠,,廣泛應(yīng)用于芯片制造,、LCD 顯示、PCB 電路板等領(lǐng)域,。
-
技術(shù):自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品具備高分辨率(如 JT-3001 厚板光刻膠),、高感光度(如 JT-1000 負(fù)性光刻膠)及抗深蝕刻性能,,部分指標(biāo)達(dá)到水平。
-
嚴(yán)苛品控:生產(chǎn)過程嚴(yán)格遵循 ISO9001 體系,,材料進(jìn)口率 100%,,并通過 8S 現(xiàn)場管理確保制程穩(wěn)定性。
-
定制化服務(wù):支持客戶需求定制,,例如為特殊工藝開發(fā)光刻膠,,滿足多樣化場景需求。
公司位于松山湖開發(fā)區(qū),,依托產(chǎn)業(yè)園區(qū)資源,,持續(xù)加大研發(fā),與科研機(jī)構(gòu)合作推動技術(shù)升級,。目前,,吉田半導(dǎo)體已服務(wù)全球數(shù)千家客戶,以 “匠心品質(zhì),、售后無憂” 的理念贏得市場口碑,。
PCB光刻膠國產(chǎn)化率超50%。
吉田半導(dǎo)體 YK-300 正性光刻膠:半導(dǎo)體芯片制造的材料
YK-300 正性光刻膠以高分辨率與耐蝕刻性,,成為 45nm 及以上制程的理想選擇,。
YK-300 正性光刻膠分辨率達(dá) 0.35μm,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,,適用于半導(dǎo)體芯片前道工藝。其耐溶劑性與絕緣阻抗性能突出,,在顯影與蝕刻過程中保持圖形穩(wěn)定性,。產(chǎn)品已通過中芯國際量產(chǎn)驗證,良率達(dá) 98% 以上,,生產(chǎn)過程執(zhí)行 ISO9001 標(biāo)準(zhǔn),,幫助客戶降低封裝成本 20% 以上。支持小批量試產(chǎn)與定制化需求,,為國產(chǎn)芯片制造提供穩(wěn)定材料支撐,。
光刻膠廠家推薦吉田半導(dǎo)體,23 年研發(fā)經(jīng)驗,,全自動化生產(chǎn)保障品質(zhì)!南京油墨光刻膠工廠
松山湖光刻膠廠家吉田,,2000 萬級產(chǎn)能,48 小時極速交付!蘇州制版光刻膠工廠
全品類覆蓋與定制化能力
吉田半導(dǎo)體的光刻膠產(chǎn)品覆蓋芯片光刻膠,、納米壓印光刻膠,、LCD光刻膠等全品類,適用于半導(dǎo)體,、顯示面板,、MEMS等多個領(lǐng)域,。例如,其LCD正性光刻膠YK-200和水油光刻膠JT-2001可滿足0.45μm及以上線寬需求,,支持客戶定制化工藝參數(shù),,尤其在柔性顯示(OLED)和Mini/Micro LED等新興領(lǐng)域表現(xiàn)突出。
技術(shù)亮點:通過自主研發(fā)的樹脂配方和光敏劑體系,,實現(xiàn)了高分辨率(120nm)和高抗蝕性的平衡,,部分指標(biāo)(如線寬粗糙度LWR<3nm)接近國際主流產(chǎn)品水平。
國產(chǎn)化材料與工藝適配
公司采用進(jìn)口原材料+本地化生產(chǎn)模式,,關(guān)鍵樹脂單體,、光敏劑等主要成分通過德國默克、日本信越等供應(yīng)商采購,,同時建立了超純提純工藝(雜質(zhì)含量<1ppm),,確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。此外,,其光刻膠與國內(nèi)主流光刻機(jī)(如上海微電子SSA800),、勻膠顯影機(jī)(如盛美上海)的兼容性已通過驗證,縮短客戶工藝調(diào)試周期,。
蘇州制版光刻膠工廠