定義與特性
負性光刻膠是一種在曝光后,,未曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,形成與掩膜版(Mask)圖案相反的圖形,。與正性光刻膠相比,其主要特點是耐蝕刻性強,、工藝簡單,、成本低,但分辨率較低(通�,!�1μm),,主要應用于對精度要求相對較低、需要厚膠或高耐腐蝕性的場景,。
化學組成與工作原理
主要成分
基體樹脂:
早期以聚異戊二烯橡膠(天然或合成)為主,,目前常用環(huán)化橡膠(Cyclized Rubber)或聚乙烯醇肉桂酸酯,提供膠膜的機械強度和耐蝕刻性,。
光敏劑:
主要為雙疊氮化合物(如雙疊氮芪)或重氮醌類衍生物,,占比約5%-10%,吸收紫外光后引發(fā)交聯(lián)反應,。
交聯(lián)劑:
如六亞甲基四胺(烏洛托品),,在曝光后與樹脂發(fā)生交聯(lián),形成不溶性網(wǎng)狀結構,。
溶劑:
多為有機溶劑(如二甲苯,、環(huán)己酮),溶解樹脂和光敏劑,,涂布后揮發(fā)形成均勻膠膜,。
工作原理
曝光前:光敏劑和交聯(lián)劑均勻分散在樹脂中,膠膜可溶于顯影液(有機溶劑),。
曝光時:
光敏劑吸收紫外光(G線436nm為主)后產(chǎn)生活性自由基,,引發(fā)交聯(lián)劑與樹脂分子間的共價鍵交聯(lián),使曝光區(qū)域形成不溶于顯影液的三維網(wǎng)狀結構,。
顯影后:
未曝光區(qū)域的樹脂因未交聯(lián),,被顯影液溶解去除,曝光區(qū)域保留,,形成負性圖案(與掩膜版相反),。
吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造環(huán)保光刻膠,。吉林PCB光刻膠供應商
廣東吉田半導體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,主要涵蓋厚板,、負性,、正性、納米壓印及光刻膠等類別,,以滿足不同領域的需求,。
厚板光刻膠:JT-3001 型號,具有優(yōu)異的分辨率和感光度,,抗深蝕刻性能良好,,符合歐盟 ROHS 標準,保質(zhì)期 1 年,。適用于對精度和抗蝕刻要求高的厚板光刻工藝,,如特定電路板制造。
負性光刻膠
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SU-3 負性光刻膠:分辨率優(yōu)異,,對比度良好,,曝光靈敏度高,光源適應,,重量 100g,。常用于對曝光精度和光源適應性要求較高的微納加工、半導體制造等領域,。
正性光刻膠
吉林PCB光刻膠供應商松山湖半導體材料廠家吉田,,全系列產(chǎn)品支持小批量試產(chǎn)!
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LCD 正性光刻膠 YK-200:具有較大曝光、高分辨率,、良好涂布和附著力,,重量 100g。適用于液晶顯示領域的光刻工藝,,確保 LCD 生產(chǎn)中圖形精確轉移和良好涂布效果,。
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半導體正性光刻膠 YK-300:具備耐熱耐酸、耐溶劑性,、絕緣阻抗和緊密性,,重量 100g。主要用于半導體制造工藝,,滿足半導體器件對光刻膠在化學穩(wěn)定性和電氣性能方面的要求,。
企業(yè)定位與資質(zhì)
成立背景:深耕半導體材料行業(yè)23年,位于松山湖經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū),,注冊資本2000萬元,,是國家高新技術企業(yè)、廣東省專精特新企業(yè)及廣東省創(chuàng)新型中小企業(yè),。
質(zhì)量體系:通過ISO9001:2008認證,,嚴格執(zhí)行8S現(xiàn)場管理,,原材料源自美國、德國,、日本等國,,確保產(chǎn)品穩(wěn)定性。
市場布局:產(chǎn)品遠銷全球,,與世界500強企業(yè)及多家電子加工企業(yè)建立長期合作關系,,覆蓋集成電路、顯示面板,、先進封裝等領域,。
企業(yè)優(yōu)勢
研發(fā)能力:擁有多項專利證書,自主研發(fā)芯片光刻膠,、納米壓印光刻膠等產(chǎn)品,,配備全自動化生產(chǎn)設備,具備從材料合成到成品制造的全流程能力,。
產(chǎn)能與品控:采用進口原材料和嚴格制程管控,確保金屬雜質(zhì)含量低于行業(yè)標準(如半導體光刻膠金屬雜質(zhì)<5ppb),,良率達99%以上,。
市場與客戶優(yōu)勢:全球化布局與頭部客戶合作
全球客戶網(wǎng)絡
產(chǎn)品遠銷全球,與三星,、LG,、京東方等世界500強企業(yè)建立長期合作,在東南亞,、北美市場市占率超15%,。
區(qū)域市場深耕
依托東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,與華為,、OPPO等本土企業(yè)合作,,在消費電子、汽車電子領域快速響應客戶需求,。
產(chǎn)業(yè)鏈配套優(yōu)勢:原材料與設備協(xié)同
主要原材料自主化
公司自主生產(chǎn)光刻膠樹脂,、光引發(fā)劑,降低對進口依賴,,成本較國際競品低20%,。
設備與工藝協(xié)同
與國內(nèi)涂膠顯影設備廠商合作,開發(fā)適配國產(chǎn)設備的光刻膠配方,,提升工藝兼容性,。
負性光刻膠生產(chǎn)廠家。
客戶認證:從實驗室到產(chǎn)線的漫長“闖關”
驗證周期與試錯成本
半導體光刻膠需經(jīng)歷PRS(性能測試),、STR(小試),、MSTR(中批量驗證)等階段,,周期長達2-3年。南大光電的ArF光刻膠自2021年啟動驗證,,直至2025年才通過客戶50nm閃存平臺認證,。試錯成本極高,單次晶圓測試費用超百萬元,,且客戶為維持產(chǎn)線穩(wěn)定,,通常不愿更換供應商。
設備與工藝的協(xié)同難題
光刻膠需與光刻機,、涂膠顯影機等設備高度匹配,。國內(nèi)企業(yè)因缺乏ASML EUV光刻機測試資源,只能依賴二手設備或與晶圓廠合作驗證,,導致研發(fā)效率低下,。例如,華中科技大學團隊開發(fā)的EUV光刻膠因無法接入ASML原型機測試,,性能參數(shù)難以對標國際,。
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光刻膠生產(chǎn)工藝流程與應用,。吉林PCB光刻膠供應商
原料準備
主要成分:樹脂(成膜劑,,如酚醛樹脂、聚酰亞胺等),、感光劑(光引發(fā)劑或光敏化合物,,如重氮萘醌、光刻膠單體),、溶劑(溶解成分,,如丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA))、添加劑(調(diào)節(jié)粘度,、感光度,、穩(wěn)定性等,如表面活性劑,、穩(wěn)定劑),。
原料提純:對樹脂、感光劑等進行高純度精制(純度通常要求99.9%以上),,避免雜質(zhì)影響光刻精度,。
配料與混合
按配方比例精確稱量各組分,在潔凈環(huán)境,,如萬中通過攪拌機均勻混合,,形成膠狀溶液。
控制溫度(通常20-30℃)和攪拌速度,,避免氣泡產(chǎn)生或成分分解,。
過濾與純化
使用納米級濾膜(孔徑0.05-0.2μm)過濾,,去除顆粒雜質(zhì)(如金屬離子、灰塵),,確保膠液潔凈度,,避免光刻時產(chǎn)生缺陷。
性能檢測
物理指標:粘度,、固含量,、表面張力、分子量分布等,,影響涂布均勻性,。
化學指標:感光度、分辨率,、對比度,、耐蝕刻性,通過曝光實驗和顯影測試驗證,。
可靠性:存儲穩(wěn)定性(常溫/低溫保存下的性能變化),、耐溫性(烘烤過程中的抗降解能力)。
包裝與儲存
在惰性氣體(如氮氣)環(huán)境下分裝至避光容器(如棕色玻璃瓶或鋁罐),,防止感光劑氧化或光分解,。
儲存條件:低溫(5-10℃)、避光,、干燥,,部分產(chǎn)品需零下環(huán)境(如EUV光刻膠),。
吉林PCB光刻膠供應商