技術(shù)優(yōu)勢:23年研發(fā)沉淀與細(xì)分領(lǐng)域突破
全流程自主化能力
吉田在光刻膠研發(fā)中實現(xiàn)了從樹脂合成、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化,。例如,,其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系,實現(xiàn)了3μm的分辨率,,適用于MEMS傳感器,、光學(xué)器件等領(lǐng)域。
技術(shù)壁壘:公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗,掌握光刻膠主要原材料(如樹脂,、光酸)的合成技術(shù),,部分原材料純度達(dá)PPT級。
細(xì)分領(lǐng)域技術(shù)先進(jìn)
納米壓印光刻膠:在納米級圖案化領(lǐng)域(如量子點顯示,、生物芯片)實現(xiàn)技術(shù)突破,,分辨率達(dá)3μm,填補國內(nèi)空缺,。
LCD光刻膠:針對顯示面板行業(yè)需求,,開發(fā)出高感光度、高對比度的光刻膠,,適配AMOLED,、Micro LED等新型顯示技術(shù)。
研發(fā)投入與合作
公司2018年獲高新技術(shù)性企業(yè)認(rèn)證,,與新材料領(lǐng)域同伴們合作開發(fā)半導(dǎo)體光刻膠,,計劃2025年啟動半導(dǎo)體用KrF光刻膠研發(fā)。
負(fù)性光刻膠生產(chǎn)廠家,。北京光刻膠廠家
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司成立于 2023 年,,總部位于東莞松山湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū),注冊資本 2000 萬元,。作為高新企業(yè)和廣東省專精特新企業(yè),,公司專注于半導(dǎo)體材料的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售,,產(chǎn)品線覆蓋芯片光刻膠,、LCD 光刻膠、納米壓印光刻膠,、半導(dǎo)體錫膏,、焊片及靶材等領(lǐng)域。其光刻膠產(chǎn)品以高分辨率,、耐蝕刻性和環(huán)保特性著稱,,廣泛應(yīng)用于芯片制造、顯示面板及精密電子元件生產(chǎn),。
公司依托 23 年行業(yè)經(jīng)驗積累,,構(gòu)建了完整的技術(shù)研發(fā)體系,擁有全自動化生產(chǎn)設(shè)備及多項技術(shù),。原材料均選用美國,、德國、日本進(jìn)口的材料,,并通過 ISO9001:2008 質(zhì)量管理體系認(rèn)證,,生產(chǎn)流程嚴(yán)格執(zhí)行 8S 現(xiàn)場管理標(biāo)準(zhǔn),確保產(chǎn)品穩(wěn)定性與一致性。目前,,吉田半導(dǎo)體已與多家世界 500 強企業(yè)及電子加工企業(yè)建立長期合作,,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球市場,致力于成為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域的企業(yè),。
青島阻焊油墨光刻膠國產(chǎn)廠商松山湖光刻膠廠家吉田,,2000 萬級產(chǎn)能,,48 小時極速交付,!
吉田半導(dǎo)體水性感光膠 JT-1200:水油兼容,鋼片加工精度 ±5μm
JT-1200 水性感光膠解決鋼片加工難題,,提升汽車電子部件制造精度,。
針對汽車電子鋼片加工需求,,吉田半導(dǎo)體研發(fā)的 JT-1200 水性感光膠實現(xiàn)水油兼容性達(dá) 100%,加工精度 ±5μm,。其高粘接強度與耐強酸強堿特性,,確保復(fù)雜結(jié)構(gòu)的長期可靠性。其涂布性能優(yōu)良,,易做精細(xì)網(wǎng)點,,適用于安全氣囊傳感器、車載攝像頭模組等精密部件,。產(chǎn)品通過 IATF 16949 汽車行業(yè)認(rèn)證,,生產(chǎn)過程嚴(yán)格控制金屬離子含量,確保電子產(chǎn)品可靠性,。
吉田半導(dǎo)體 SU-3 負(fù)性光刻膠:國產(chǎn)技術(shù)賦能 5G 芯片封裝
自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠支持 3 微米厚膜加工,,成為 5G 芯片高密度封裝材料。
針對 5G 芯片封裝需求,,吉田半導(dǎo)體自主研發(fā) SU-3 負(fù)性光刻膠,,分辨率達(dá) 1.5μm,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,。其超高感光度與耐化學(xué)性確保復(fù)雜圖形的完整性,,已應(yīng)用于高通 5G 基帶芯片量產(chǎn),。產(chǎn)品采用國產(chǎn)原材料與工藝,,不采用國外材料,成本較進(jìn)口產(chǎn)品降低 40%,,幫助客戶提升封裝良率至 98.5%,,為國產(chǎn) 5G 芯片制造提供關(guān)鍵材料支撐。
光刻膠解決方案找吉田,,ISO 認(rèn)證 +8S 管理,,良率達(dá) 98%!
關(guān)鍵工藝流程
涂布:
在晶圓/基板表面旋涂光刻膠,厚度控制在0.1-5μm(依制程精度調(diào)整),需均勻無氣泡(旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm),。
前烘(Soft Bake):
加熱(80-120℃)去除溶劑,,固化膠膜,增強附著力(避免顯影時邊緣剝離),。
曝光:
光源匹配:
G/I線膠:汞燈(適用于≥1μm線寬,,如PCB、LCD),。
DUV膠(248nm/193nm):KrF/ArF準(zhǔn)分子激光(用于28nm-14nm制程,,如存儲芯片)。
EUV膠(13.5nm):極紫外光源(用于7nm以下制程,,需控制納米級缺陷),。
曝光能量:需精確控制(如ArF膠約50mJ/cm),避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真,。
顯影:
采用堿性溶液(如0.262N四甲基氫氧化銨,,TMAH),曝光區(qū)域膠膜溶解,,未曝光區(qū)域保留,,形成三維立體圖案。
后烘(Post-Exposure Bake, PEB):
化學(xué)增幅型膠需此步驟,,通過加熱(90-130℃)激發(fā)光酸催化反應(yīng),,提高分辨率和耐蝕刻性。
納米壓印光刻膠哪家強?吉田半導(dǎo)體附著力提升 30%!青島阻焊油墨光刻膠國產(chǎn)廠商
吉田半導(dǎo)體強化研發(fā),,布局下一代光刻技術(shù),。北京光刻膠廠家
定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后,曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形,。與負(fù)性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,其優(yōu)勢是分辨率高,、圖案邊緣清晰,,是半導(dǎo)體制造(尤其是制程)的主流選擇。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
樹脂(成膜劑):
傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,,光敏劑)**的復(fù)合體系(PAC體系),,占比約80%-90%。
化學(xué)增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,,搭配光酸發(fā)生器(PAG),,通過酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率。
溶劑:溶解樹脂和感光劑,,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯,。
添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性),、穩(wěn)定劑(防止暗反應(yīng))、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等,。
工作原理
曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹脂結(jié)合,,形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物。
曝光時:
傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm,、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,,生成羧酸,使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強,。
化學(xué)增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,,催化樹脂發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng),大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上),。
顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,,未曝光區(qū)域保留,形成正性圖案,。
北京光刻膠廠家