應(yīng)用場景
半導(dǎo)體集成電路(IC)制造:
邏輯芯片(CPU/GPU):在28nm以下制程中,,正性DUV/EUV膠用于晶體管、互連布線的精細(xì)圖案化(如10nm節(jié)點(diǎn)線寬只有100nm),。
存儲(chǔ)芯片(DRAM/NAND):3D堆疊結(jié)構(gòu)中,,正性膠用于層間接觸孔(Contact)和柵極(Gate)的高深寬比圖形(深寬比>10:1)。
平板顯示(LCD/OLED):
彩色濾光片(CF):制作黑矩陣(BM)和彩色層(R/G/B),,要求高透光率和邊緣銳利度(線寬5-10μm),。
OLED電極:在柔性基板上形成微米級(jí)透明電極,需低應(yīng)力膠膜防止基板彎曲變形,。
印刷電路板(PCB):
高密度互連(HDI):用于細(xì)線路(線寬/線距≤50μm),,如智能手機(jī)主板,相比負(fù)性膠,,正性膠可實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的線路邊緣,。
微納加工與科研:
MEMS傳感器:制作微米級(jí)懸臂梁、齒輪等結(jié)構(gòu),,需耐干法蝕刻的正性膠(如含硅樹脂膠),。
納米光刻:電子束光刻膠(正性為主)用于研發(fā)級(jí)納米圖案(分辨率<10nm)。
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定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后,曝光區(qū)域會(huì)溶解于顯影液的光敏材料,,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形,。與負(fù)性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,其優(yōu)勢是分辨率高,、圖案邊緣清晰,,是半導(dǎo)體制造(尤其是制程)的主流選擇。
化學(xué)組成與工作原理
主要成分
樹脂(成膜劑):
傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,,光敏劑)**的復(fù)合體系(PAC體系),,占比約80%-90%。
化學(xué)增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,,搭配光酸發(fā)生器(PAG),,通過酸催化反應(yīng)提高感光度和分辨率。
溶劑:溶解樹脂和感光劑,,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯,。
添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性),、穩(wěn)定劑(防止暗反應(yīng))、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等,。
工作原理
曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹脂結(jié)合,,形成不溶于堿性顯影液的復(fù)合物。
曝光時(shí):
傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm,、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,,生成羧酸,使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強(qiáng),。
化學(xué)增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,,催化樹脂發(fā)生脫保護(hù)反應(yīng),大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上),。
顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,未曝光區(qū)域保留,,形成正性圖案,。
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正性光刻膠(如 YK-300)
應(yīng)用場景:用于芯片的精細(xì)圖案化,,如集成電路(IC),、分立器件(二極管、三極管)的制造,。
特點(diǎn):高分辨率(可達(dá)亞微米級(jí)),,適用于多層光刻工藝,確保芯片電路的高精度與可靠性,。
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負(fù)性光刻膠(如 JT-1000)
應(yīng)用場景:用于功率半導(dǎo)體(如 MOSFET,、IGBT)的制造,,以及傳感器(如 MEMS)的微結(jié)構(gòu)成型。
特點(diǎn):抗蝕刻能力強(qiáng),,適合復(fù)雜圖形的轉(zhuǎn)移,,尤其在深寬比要求較高的工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。
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納米壓印光刻膠(JT-2000)
應(yīng)用場景:第三代半導(dǎo)體(GaN,、SiC)芯片,、量子點(diǎn)器件及微流控芯片的制造。特點(diǎn):耐高溫(250℃),、耐酸堿,,支持納米級(jí)精度圖案復(fù)制,降低芯片的制造成本,。
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市場與客戶優(yōu)勢:全球化布局與頭部客戶合作
全球客戶網(wǎng)絡(luò)
產(chǎn)品遠(yuǎn)銷全球,與三星,、LG,、京東方等世界500強(qiáng)企業(yè)建立長期合作,在東南亞,、北美市場市占率超15%,。
區(qū)域市場深耕
依托東莞松山湖產(chǎn)業(yè)集群,與華為,、OPPO等本土企業(yè)合作,,在消費(fèi)電子,、汽車電子領(lǐng)域快速響應(yīng)客戶需求。
產(chǎn)業(yè)鏈配套優(yōu)勢:原材料與設(shè)備協(xié)同
主要原材料自主化
公司自主生產(chǎn)光刻膠樹脂,、光引發(fā)劑,,降低對(duì)進(jìn)口依賴,成本較國際競品低20%,。
設(shè)備與工藝協(xié)同
與國內(nèi)涂膠顯影設(shè)備廠商合作,,開發(fā)適配國產(chǎn)設(shè)備的光刻膠配方,提升工藝兼容性,。
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