正性光刻膠
YK-300：適用于半導(dǎo)體制造,，具備高分辨率（線寬≤10μm）、耐高溫（250℃）,、耐酸堿腐蝕特性,，主要用于28nm及以上制程的晶圓制造，適配UV光源（365nm/405nm）,。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：采用進(jìn)口樹脂及光引發(fā)劑,，絕緣阻抗高（>10^14Ω），滿足半導(dǎo)體器件對(duì)絕緣性的嚴(yán)苛要求,。
負(fù)性光刻膠
JT-1000：負(fù)性膠,，主打優(yōu)異抗深蝕刻性能，分辨率達(dá)3μm,，適用于功率半導(dǎo)體,、MEMS器件制造，可承受氫氟酸（HF）,、磷酸（H3PO4）等強(qiáng)腐蝕液處理,。
SU-3：經(jīng)濟(jì)型負(fù)性膠，性價(jià)比高,，適用于分立器件及低端邏輯芯片,，光源適應(yīng)性廣（248nm-436nm）,，曝光靈敏度≤200mJ/cm。
2. 顯示面板光刻膠
LCD正性光刻膠YK-200：專為TFT-LCD制程設(shè)計(jì),，具備高涂布均勻性（膜厚誤差±1%）,、良好的基板附著力，用于彩色濾光片（CF）和陣列基板（Array）制造,，支持8.5代線以上大規(guī)模生產(chǎn),。
水性感光膠JT-1200：環(huán)保型產(chǎn)品，VOC含量<50g/L,，符合歐盟RoHS標(biāo)準(zhǔn),，適用于柔性顯示基板，可制作20μm以下精細(xì)網(wǎng)點(diǎn),，主要供應(yīng)京東方,、TCL等面板廠商。
LCD 光刻膠供應(yīng)商哪家好?吉田半導(dǎo)體高分辨率+低 VOC 配方!吉林正性光刻膠價(jià)格
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,，主要涵蓋厚板,、負(fù)性、正性,、納米壓印及光刻膠等類別,，以滿足不同領(lǐng)域的需求。
UV 納米壓印光刻膠：JT-2000 型號(hào),，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿,，耐高溫達(dá) 250°C，長期可靠性高,，粘接強(qiáng)度高,，重量 100g。適用于需要在特殊化學(xué)和高溫環(huán)境下進(jìn)行納米壓印光刻的工藝,，如半導(dǎo)體器件制造,。
其他光刻膠
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水油光刻膠 JT-2001：屬于水油兩用光刻膠，具有工廠研發(fā),、可定制,、使用、品質(zhì)保障,、性能穩(wěn)定的特點(diǎn),，重量 1L。
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水油光刻膠 SR-3308：同樣為水油兩用光刻膠,，重量 5L,，具備上述通用優(yōu)勢(shì)，應(yīng)用場(chǎng)景,。
陜西3微米光刻膠感光膠光刻膠：半導(dǎo)體之路上的挑戰(zhàn)與突破,。
技術(shù)挑戰(zhàn)
光刻膠作為半導(dǎo)體,、顯示面板等高級(jí)制造的材料，其技術(shù)挑戰(zhàn)主要集中在材料性能優(yōu)化,、制程精度匹配,、復(fù)雜環(huán)境適應(yīng)性以及產(chǎn)業(yè)自主化突破等方面
高分辨率：隨著半導(dǎo)體制程向3nm、2nm推進(jìn),，需開發(fā)更高精度的EUV光刻膠,，解決光斑擴(kuò)散、線寬控制等問題,。
靈敏度與穩(wěn)定性：平衡感光速度和圖案抗蝕能力,，適應(yīng)極紫外光（13.5nm）的低能量曝光。
國產(chǎn)化替代：目前光刻膠（如EUV,、ArF浸沒式）長期被日本、美國企業(yè)壟斷,，國內(nèi)正加速研發(fā)突破,。
光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度，是支撐微電子產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”材料之一,。
依托自主研發(fā)與國產(chǎn)供應(yīng)鏈,，吉田半導(dǎo)體 LCD 光刻膠市占率達(dá) 15%，躋身國內(nèi)前段企業(yè),。吉田半導(dǎo)體 YK-200 LCD 正性光刻膠采用國產(chǎn)樹脂與單體,，實(shí)現(xiàn) 100% 國產(chǎn)化替代。其分辨率 0.35μm,，附著力 > 3N/cm,，性能優(yōu)于 JSR 的 AR-P310 系列。通過與國內(nèi)多家大型企業(yè)的深度合作,，產(chǎn)品覆蓋智能手機(jī),、電視等顯示終端，年供貨量超 200 噸,。公司建立國產(chǎn)原材料溯源體系,，確保每批次產(chǎn)品穩(wěn)定性，推動(dòng) LCD 面板材料國產(chǎn)化進(jìn)程,。
吉田半導(dǎo)體全流程解決方案,，賦能客戶提升生產(chǎn)效率。
廣東吉田半導(dǎo)體材料有限公司多種光刻膠產(chǎn)品,，各有特性與優(yōu)勢(shì),，適用于不同領(lǐng)域。
厚板光刻膠 JT - 3001：具有優(yōu)異的分辨率和感光度,，抗深蝕刻性能良好,。符合歐盟 ROHS 標(biāo)準(zhǔn),，保質(zhì)期 1 年，適用于對(duì)光刻精度和抗蝕刻要求較高的厚板加工場(chǎng)景,，如一些特殊的電路板制造,。
SU - 3 負(fù)性光刻膠：分辨率優(yōu)異，對(duì)比度良好,，曝光靈敏度高,，光源適應(yīng)。重量為 100g,，常用于對(duì)曝光精度和光源適應(yīng)性要求較高的微納加工,、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域。
液晶平板顯示器負(fù)性光刻膠 JT - 1000：有 1L 和 100g 兩種規(guī)格,，具有優(yōu)異的分辨率,，準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性好。主要應(yīng)用于液晶平板顯示器的制造,，能滿足其對(duì)光刻膠高精度和穩(wěn)定性的需求,。
JT - 2000 UV 納米壓印光刻膠：耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿，耐高溫達(dá) 250°C,，長期可靠性高,，粘接強(qiáng)度高。重量 100g,，適用于需要在特殊化學(xué)和高溫環(huán)境下進(jìn)行納米壓印光刻的工藝,，如一些半導(dǎo)體器件的制造。
吉田市場(chǎng)定位與未來布局,。廣州正性光刻膠工廠
吉田技術(shù)研發(fā)與生產(chǎn)能力,。吉林正性光刻膠價(jià)格
關(guān)鍵工藝流程
涂布：
在晶圓/基板表面旋涂光刻膠，厚度控制在0.1-5μm（依制程精度調(diào)整）,，需均勻無氣泡（旋涂轉(zhuǎn)速500-5000rpm）,。
前烘（Soft Bake）：
加熱（80-120℃）去除溶劑，固化膠膜,，增強(qiáng)附著力（避免顯影時(shí)邊緣剝離）,。
曝光：
光源匹配：
G/I線膠：汞燈（適用于≥1μm線寬，如PCB,、LCD）,。
DUV膠（248nm/193nm）：KrF/ArF準(zhǔn)分子激光（用于28nm-14nm制程，如存儲(chǔ)芯片）,。
EUV膠（13.5nm）：極紫外光源（用于7nm以下制程,，需控制納米級(jí)缺陷）。
曝光能量：需精確控制（如ArF膠約50mJ/cm）,，避免過曝或欠曝導(dǎo)致圖案失真,。
顯影：
采用堿性溶液（如0.262N四甲基氫氧化銨,，TMAH），曝光區(qū)域膠膜溶解,，未曝光區(qū)域保留,，形成三維立體圖案。
后烘（Post-Exposure Bake, PEB）：
化學(xué)增幅型膠需此步驟,，通過加熱（90-130℃）激發(fā)光酸催化反應(yīng),，提高分辨率和耐蝕刻性。
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