FSM 8018 VITE測試系列設(shè)備

VITE技術(shù)介紹：

VITE是傅里葉頻域技術(shù),，利用近紅外光源的相位剪切技術(shù)（Phase shear technology）

設(shè)備介紹

適用于所有可讓近紅外線通過的材料：硅,、藍寶石,、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅,、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

當(dāng)測量斑點只有1微米（μm）時，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng),。襯底膜厚儀試用

測量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色,，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

測量范例：

F10-AR系統(tǒng)配備HC升級選擇通過反射率信息進行硬涂層厚度測量。這款儀器儀器采用接觸探頭,，從而降低背面反射影響,，并可測凹凸表面。接觸探頭安置在鏡頭表面,。FILMeasure軟件自動分析采集的光譜信息以確定鏡頭是否滿足指定的反射規(guī)格,。可測平均反射率,，指定點**小比較大反射率,，以抵消硬涂層的存在。如果這個鏡頭符合要求,，系統(tǒng)操作人員將得到清晰的“很好”指示,。 Filmetrics F-HC膜厚儀當(dāng)?shù)貎r格F40測量范圍；20nm-40μm;波長：400-850nm,。

硬涂層厚度測量Filmetrics 系統(tǒng)在汽車和航空工業(yè)得到廣泛應(yīng)用,，用于測量硬涂層和其他保護性薄膜的厚度。F10-HC 是為彎曲表面和多層薄膜 (例如,， 底涂/硬涂層) 而專門設(shè)計的,。

汽車前燈在汽車前燈組件的制造中需要進行多點測量，因為涂層厚度對于品質(zhì)至關(guān)重要,。 外側(cè)硬涂層和聚碳酸酯鏡頭內(nèi)側(cè)的防霧層以及反射器上的涂層的厚度都是很重要的,。 這些用途中的每一項是特殊的挑戰(zhàn)，而 Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出軟件,、硬件和應(yīng)用知識以便為用戶提供正確的解決方案,。

測量范例帶HC選項的F10-AR收集測量厚度的反射率信息。這款儀器采用光學(xué)接觸探頭,，它的設(shè)計降低了背面反射,。接觸探頭安置在亞克力表明。FILMeature軟件自動分析收集的光譜信息,，給出涂層厚度,。在這個例子中，亞克力板上還有一層與硬涂層折射率非常近似的底漆,。

F10-ARc

獲得**精確的測量.自動基準(zhǔn)功能**增加基準(zhǔn)間隔時間, 量測準(zhǔn)確性優(yōu)於其他光纖探頭反射測量系統(tǒng)5倍可選擇UPG - F10-AR - HC軟件升級 測量0.25-15μm硬涂層的厚度. 即使在防反射涂層存在時仍可測量硬涂層厚度我們***探頭設(shè)計可排除98％背面反射,當(dāng)鏡片比1.5mm 更厚時, 可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現(xiàn)象,。

F10-ARc：200nm - 15μm** 380-1050nm

當(dāng)您需要技術(shù)支援致電我們的應(yīng)用工程師，提供即時的24小時援助（週一至週五）網(wǎng)上的 “手把手” 

支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 F50-NIR測厚范圍：100nm-250μm,；波長：950-1700nm,。

    更可加裝至三個探頭，同時測量三個樣品,，具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇,。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外,，可提供*小5um光點(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品。F50:這型號配備全自動XY工作臺,，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping),。F70:*通過在F20基本平臺上增加鏡頭,，使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法（CTM），把設(shè)備的測量范圍極大的拓展至,。F10-RT：在F20實現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量,，特殊光源設(shè)計特別適用于透明基底樣品的測量。PARTS：在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,，特別適用于超薄膜層厚度和n,、k值測量。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學(xué)參數(shù)（n和k）,。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度,、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個桌面系統(tǒng)組裝起來,。F20包括所有測量需要的部件：分光計,、光源、光纖導(dǎo)線,、鏡頭**和Windows下運行的軟件,。您需要的只是接上您的電腦。膜層實例幾乎任何光滑,、半透明,、低吸收的膜都能測。包括：sio2（二氧化硅）sinx（氮化硅）dlc（類金剛石碳）photoresist,。應(yīng)用：襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響),，平整度,。福建膜厚儀樣機試用

可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。襯底膜厚儀試用

    光纖紫外線,、可見光譜和近紅外備用光纖。接觸探頭是相當(dāng)堅固的,，但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過,。該套件包括指令，以及簡單的維修工具,，新的和舊風(fēng)格的探頭,。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,，直徑200um的光纖，兩端配備SMA接頭,。米長,，分叉反射探頭。

通用附件攜帶箱等,。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件。

電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat,、雙出入孔SMA，并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙,，用于保護面朝下的樣品，5本各100張,。 襯底膜厚儀試用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，是一家集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。公司自創(chuàng)立以來,，投身于磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時代,，對自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。