AlN陶瓷金屬化的方法主要有:薄膜金屬化(如Ti/Pd/Au),、厚膜金屬化(低溫金屬化、高溫金屬化),、化學鍍金屬化(如Ni)、直接覆銅法(DBC)及激光金屬化,。薄膜金屬化法采用濺射鍍膜等真空鍍膜法使膜材料和基板結(jié)合在一起,,通常在多層結(jié)構(gòu)基板中,基板內(nèi)部金屬和表層金屬不盡相同,陶瓷基板相接觸的薄膜金屬應該具有反應性好,、與基板結(jié)合力強的特性,,表面金屬層多選擇電導率高、不易氧化的金屬,。由于是氣相沉積,,原則上任何金屬都可以成膜,任何基板都可以金屬化,,而且沉積的金屬層均勻,,結(jié)合強度高。但薄膜金屬化需要后續(xù)圖形化工藝實現(xiàn)金屬引線的圖形制備,,成本較高,。提高氮化鋁粉末的純度,理想的氮化鋁粉料應含適量的氧,。蘇州單晶氮化硼品牌
氮化鋁陶瓷是一種高技術(shù)新型陶瓷,。氮化鋁基板具有極高的熱導率,無毒,、耐腐蝕,、耐高溫,熱化學穩(wěn)定性好等特點,是大規(guī)模集成電路,,半導體模塊電路和大功率器件的理想封裝材料,、散熱材料、電路元件及互連線承載體,。也是提高高分子材料熱導率和力學性能的很佳添加料,,氮化鋁陶瓷還可用作熔煉有色金屬和半導體材料砷化鎵的坩堝、熱電偶的保護管,、高溫絕緣件,、微波介電材料、耐高溫,、耐腐蝕結(jié)構(gòu)陶瓷及透明氮化鋁微波陶瓷制品,,用作高導熱陶瓷生產(chǎn)原料及樹脂填料等。氮化鋁是電絕緣體,,介電性能良好,。砷化鎵表面的氮化鋁涂層,能保護它在退火時免受離子的注入,。氮化鋁可用作高導熱陶瓷生產(chǎn)原料,、AlN陶瓷基片原料、樹脂填料等,。舟山微米氮化鋁商家陶瓷注射成型技術(shù)在制備復雜小部件方面有著其不可比擬的獨特優(yōu)勢,。
氮化鋁陶瓷具有優(yōu)良的熱、電、力學性能,,所以它的應用范圍比較廣,。可以制成氮化鋁陶瓷基片,,熱導率高,,膨脹系數(shù)低,強度高,,耐高溫,,耐化學腐蝕,電阻率高,,介電耗損小,,是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料。氮化鋁陶瓷硬度高,,超過氧化鋁陶瓷,,也可用于磨損嚴重的部位。利用氮化鋁陶瓷耐熱耐熔體侵蝕和熱震性,,可制作GaAs晶體坩堝,、Al蒸發(fā)皿、磁流體發(fā)電裝置及高溫透平機耐蝕部件,,利用其光學性能可作紅外線窗口,。氮化鋁薄膜可制成高頻壓電元件、超大規(guī)模集成電路基片等,。氮化鋁耐熱,、耐熔融金屬的侵蝕,對酸穩(wěn)定,,但在堿性溶液中易被侵蝕,。氮化鋁新生表面暴露在濕空氣中會反應生成極薄的氧化膜。利用此特性,,可用作鋁,、銅、銀,、鉛等金屬熔煉的坩堝和燒鑄模具材料,。氮化鋁陶瓷的金屬化性能較好,可替代有毒性的氧化鈹瓷在電子工業(yè)中較廣應用,。
直接覆銅陶瓷基板是基于氧化鋁陶瓷基板的一種金屬化技術(shù),,利用銅的含氧共晶液直接將銅敷接在陶瓷上,在銅與陶瓷之間存在很薄的過渡層,。由于AlN陶瓷對銅幾乎沒有浸潤性能,,所以在敷接前必須要對其表面進行氧化處理,。由于DBC基板的界面靠很薄的一層共晶層粘接,實際生產(chǎn)中很難控制界面層的狀態(tài),,導致界面出現(xiàn)空洞。界面孔洞率不易控制,,在承受大電流時,,界面空洞周圍會產(chǎn)生較大的熱應力,導致陶瓷開裂失效,,因此還有必要進行相關(guān)基礎理論研究和工藝條件的優(yōu)化,。活性金屬釬焊陶瓷基板是利用釬料中含有的少量活性元素,,與陶瓷反應形成界面反應層,,實現(xiàn)陶瓷金屬化的一種方法?;钚遭F焊時,,通過釬料的潤濕性和界面反應可使陶瓷和金屬形成致密的界面,但殘余熱應力大是陶瓷金屬化中普遍存在的問題,。氮化鋁陶瓷基片是理想的大規(guī)模集成電路散熱基板和封裝材料,。
氮化鋁化鋁陶瓷是以氮化鋁(AlN)為主晶相的陶瓷,氮化鋁晶體以四面體為結(jié)構(gòu)單元共價鍵化合物,,具有纖鋅礦型結(jié)構(gòu),,屬六方晶系?;瘜W組成Al(65.81%),、N(34.19%),比重3.261g/cm3,,白色或灰白色,,單晶無色透明,常壓下的升華分解溫度為2450°C,,為一種高溫耐熱材料,。熱膨脹系數(shù)(4.0-6.0)*10-6/℃。多晶氮化鋁熱導率達260W/(m.k),,比氧化鋁高5-8倍,,所以耐熱沖擊好,能耐2200℃的高溫,。此外,,氮化鋁具有不受鋁液和其它熔融金屬及砷化鎵侵蝕的特性,特別是對熔融鋁液具有極好的耐侵蝕性,。氮化鋁陶瓷有很多優(yōu)良特性,,但是其難加工屬性限制了氮化鋁陶瓷的發(fā)揮,。氮化鋁陶瓷用普通CNC不能很好的加工,主要是因為氮化鋁陶瓷材料較硬,,普通CNC不適合加工硬度過高的材料,,并且機床內(nèi)部的精密零件也容易受到陶瓷粉末的侵蝕,加工氮化鋁陶瓷可以用鑫騰輝陶瓷CNC,,剛性強,,防護等級高,專門加工氮化鋁陶瓷等特種陶瓷材料,。制約氮化鋁商品化的主要因素就是價格問題,。湖州納米氮化硼生產(chǎn)商
提高氮化鋁陶瓷熱導率的途徑:加入適當?shù)臒Y(jié)助劑,可促進氮化鋁陶瓷致密化,。蘇州單晶氮化硼品牌
機械連接法的特點是采取合理的結(jié)構(gòu)設計將AlN基板與金屬連接在一起,,主要有熱套連接和螺栓連接兩種。機械連接方法具有工藝簡單,,可行性好等特點,,但它常常會產(chǎn)生應力集中,并且不適用于高溫環(huán)境,。厚膜法是通過絲網(wǎng)印刷在AlN基板表面涂刷一層導體漿料,,經(jīng)燒結(jié)形成引線接點及電路。厚膜導體漿料一般由導電金屬粉末(Au,、Ag,、Cu等,粒度為1-5μm),、玻璃粘結(jié)劑和有機載體(包括表面活性劑,、有機溶劑和增稠劑等)經(jīng)混合球磨而成。其中導電金屬粉末決定了漿料成膜后的電學性能和機械性能,,玻璃粘結(jié)劑的作用是粘結(jié)導電金屬粉末與基體材料并決定了兩者之的粘結(jié)強度,,有機載體作為溶劑將金屬粉末與粘結(jié)劑混合在一起。蘇州單晶氮化硼品牌
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