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所以滲透率也隨溫度改變而改變,。因此,在測(cè)定滲透率時(shí),必須將干燥瓶放入恒溫水浴中,溫度控制精度要達(dá)到±011℃,。在恒溫放置過程中,每隔一定的時(shí)間(至少12小時(shí))用精密天平快速稱量滲透管一次(必須在10分鐘內(nèi)稱完),相鄰兩次的重量差就是滲透管在該時(shí)間段的滲透量。測(cè)出滲透量后,就可用下式求出該滲透管的滲透率,。740)">式中:G:滲透率(Lg?min);△G:相鄰兩次稱量的重量差(mg);△S:相鄰兩次稱量的時(shí)間間隔(min);實(shí)際測(cè)定時(shí),記錄一系列稱量和時(shí)間數(shù)據(jù),用上式計(jì)算滲透率并求其平均值?;蛞苑Q量數(shù)據(jù)為縱坐標(biāo),時(shí)間為橫坐標(biāo),繪制滲透率的特性曲線,所得直線的斜率即為滲透率,。(2)滲透管動(dòng)態(tài)配氣裝置用已知滲透率的滲透管配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的裝置如圖6所示。740)">將滲透管放在氣體發(fā)生瓶中,再將氣體發(fā)生瓶放入恒溫水浴中,恒溫水浴的溫度要與測(cè)定滲透率時(shí)的溫度相同(一般為25±1℃),這樣就可不作溫度校正,。稀釋氣(壓縮空氣)經(jīng)**,、活性炭和氫氧化鈉凈化器2除去水分和雜質(zhì)后,再經(jīng)流量控制閥和流量計(jì)3進(jìn)入氣體發(fā)生瓶7(即混合器)中,將滲透出來的氣體分子帶出,就得到標(biāo)準(zhǔn)氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度可由下式求出(在25℃和一個(gè)大氣壓下),。740)">式中:z:所配標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度(ppm),。四川便攜式氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。重慶甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家有哪些
CVD)的方法生長(zhǎng)一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體,。硅外延氣體有4種,即硅烷,、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積,。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過程,。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases):蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜,、金屬膜等蝕刻掉,而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來,這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形,。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對(duì)光刻膠膜及其掩蔽保護(hù)的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻,。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳,、三氟化氮、六氟乙烷,、全氟丙烷,、三氟甲烷等,。干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng)、工藝控制精確,、方便,、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污,所以其應(yīng)用范圍日益***,。6.摻雜氣體(DopantGases):在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi),以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率,用來制造PN結(jié),、電阻、埋層等,。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體,。甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體供應(yīng)乙烷標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
標(biāo)氣,、標(biāo)準(zhǔn)氣體標(biāo)準(zhǔn)氣體(標(biāo)氣)(Standardgases)引氣體工業(yè)名詞,,標(biāo)準(zhǔn)氣體(標(biāo)氣)屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的,,良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn),,它們具有復(fù)現(xiàn),保存和傳遞量值的基本作用,,在物理,,化學(xué),生物與工程測(cè)量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x器和測(cè)量過程,,評(píng)價(jià)測(cè)量方法的準(zhǔn)確度和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力,,確定材料或產(chǎn)品的特性量值,進(jìn)行量值仲裁等,??频墓緲?biāo)準(zhǔn)氣體(標(biāo)氣)優(yōu)勢(shì):擁有11項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書;《多組分低濃度高活性氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研發(fā)》項(xiàng)目獲**科技創(chuàng)新基金支持,。僑源氣體股份有限公司有著有長(zhǎng)期服務(wù)于石油石化等大型企業(yè)的經(jīng)驗(yàn),;長(zhǎng)期為各地質(zhì)檢、環(huán)監(jiān),、計(jì)量第三方認(rèn)證機(jī)構(gòu)供應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì),。齊全的檢測(cè)生產(chǎn)設(shè)備:德國(guó)賽多利斯高精度稱、氣體純化凈化設(shè)備,,氣瓶處理設(shè)備,、氣相色譜儀、紅外分析儀,、氧分析儀,、露點(diǎn)儀、氮氧化物分析儀,、氯氣分析儀等,。保障配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度及穩(wěn)定性,。有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的氣體的合成與凈化技術(shù),保障配制標(biāo)準(zhǔn)氣體(標(biāo)氣)的原料氣的純度,。同時(shí)也可提供電子級(jí)純度的高純氣體,,提供給半導(dǎo)體及光伏行業(yè)應(yīng)用。
RareGases):元素周期表**后一族的六種惰性氣體中的任何一種氣體,即氦,、氖,、氬、氪,、氙,、氡。**種氣體均可以空氣分離方法從空氣中提取,。13.低壓液化氣體(LowPressureLiquefiedGases):臨界溫度大于70℃的氣體,。區(qū)分為不燃無毒和不燃**、酸性腐蝕性氣體;可燃無毒和可燃**,、酸性腐蝕性氣體;易分解或聚合的可燃?xì)怏w,。此類氣體在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下貯運(yùn)和使用過程中均為液態(tài)。包括的氣體品種有一氟二氯甲烷,、二氟氯甲烷,、二氟二氯甲烷、二氟溴氯甲烷,、三氟氯乙烷、四氟二氯乙烷,、五氟氯乙烷,、八氟環(huán)丁烷、六氟丙烯,、氯,、三氯化硼、光氣,、氟化氫,、溴化氫、二氧化硫,、硫酰氟,、二氧化氮、液壓石油氣,、丙烷,、環(huán)丙烷、丙烯,、正丁烷,、異丁烷,、1-丁烯、異丁烯,、順-2-丁烯,、反-2-丁烯、R142b,、R143a,、R152a、氯乙烷,、二甲醚,、氨、乙胺,、一甲胺,、二甲胺、三甲胺,、甲硫醇,、硫化氫、氯甲烷,、溴甲烷,、砷烷、1,3—丁二烯,、氯乙烯,、環(huán)氧乙烷、乙烯基甲醚,、溴乙烯,。14.高壓液化氣體(HighPressureLiquefiedGases):臨界溫度大于或等于-10℃且小于或等于70℃的氣體。區(qū)分為不燃無毒和不燃**氣體;可燃無毒和自燃**氣體;易分解或聚合的可燃?xì)怏w,。此類氣體充裝時(shí)為液態(tài),。四川二氧化氮標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
容器選擇盛裝標(biāo)準(zhǔn)氣體的容器應(yīng)由耐腐蝕,、抗壓,、吸附少、不生銹,、化學(xué)特性穩(wěn)定,、機(jī)械強(qiáng)度高的材料制成,通常使用的高壓容器是鋁合金瓶,而碳鋼瓶因其內(nèi)壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰,。預(yù)處理盛裝標(biāo)準(zhǔn)氣體的鋼瓶使用前應(yīng)進(jìn)行表面清潔,、涂漆處理,然后,將鋼瓶加溫至100℃左右,同時(shí)抽真空處理約4h。鋼瓶處理完畢后,必須分析其H2O,、O2等雜質(zhì)含量,合格后方可使用,。氣體要求配制10%的CH4/Ar四瓶,進(jìn)行為期一年的穩(wěn)定性考察,見表1,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,由于鋁合金鋼瓶?jī)?nèi)壁比較光滑,因此在盛裝一般長(zhǎng)久氣體時(shí)性質(zhì)穩(wěn)定,變化不大,鋼瓶不用特殊處理,即可滿足此類標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性的要求,。在配制COS、H2S,、SO2等氣體時(shí),必須對(duì)鋼瓶進(jìn)行KG或CM處理,即為了防止容器內(nèi)壁因吸附或解吸等帶來的影響,。先對(duì)容器內(nèi)壁進(jìn)行鏡面研磨,涂上防氧化漆,然后把高濃度氣體充入容器內(nèi)并放置10d左右,從而提高標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性。用未經(jīng)KG或CM處理的鋼瓶配制mg/m3,COS/N2一瓶,實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖1,。用經(jīng)KG處理的鋼瓶配制mg/m3COS/N2一瓶,實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖2,。以上實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明。配制易吸附標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),鋼瓶必須經(jīng)KG或CM處理,才能保證其穩(wěn)定性可靠,否則,組分氣的含量變化很大,不宜作為標(biāo)準(zhǔn)氣體來使用,。福建標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司,。福建醫(yī)用氣體現(xiàn)貨經(jīng)營(yíng)
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動(dòng)態(tài)配氣技術(shù)就是能連續(xù)不斷的配制和供給一定濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體,。用動(dòng)態(tài)配氣技術(shù)配制標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),首先需要一個(gè)能連續(xù)不斷供給原料氣的氣源,作為這種配氣方法的氣源有鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣和滲透管等,。1.鋼瓶氣動(dòng)態(tài)配氣法在消防實(shí)際工作中,所用標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度有時(shí)需要大,有時(shí)需要小。鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣雖有不同濃度的規(guī)格供應(yīng),但購置各種濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體,不僅代價(jià)太高,而且不一定能及時(shí)辦到,。較好的辦法是購置一個(gè)濃度較高的標(biāo)準(zhǔn)氣瓶,需要低濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),用鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣作原料氣,壓縮空氣(由低壓空氣鋼瓶或空壓機(jī)供給)作稀釋氣,將它們按圖4連接,就可從取氣口得到所需濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體,。740)">所配制的標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度,可用改變?cè)蠚饧跋♂寶獾牧髁勘冗M(jìn)行調(diào)節(jié),并可按下式計(jì)算:740)">式中:z:所配標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度(ppm);L:鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度(ppm);Qs:鋼瓶標(biāo)準(zhǔn)氣的流量(L?min);Qa:壓縮空氣的流量(L?min;用此法配氣時(shí),在壓縮空氣的管路中應(yīng)安裝選擇性過濾器(凈化器),以除去空氣中影響配氣純度的雜質(zhì)。此外配氣出口的總流量應(yīng)略大于用氣口的流量,以保證所配氣體的濃度與純度,。2.滲透管動(dòng)態(tài)配氣法(1)滲透管及滲透率的測(cè)定滲透管是動(dòng)態(tài)配氣法中的另一種氣源,其結(jié)構(gòu)見圖5,。740)">。重慶甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體廠家有哪些