GB16163-1996)中,，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶?jī)?nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類,，并按其化學(xué)性能，燃燒性,、毒性,、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類為長(zhǎng)久氣體,，其臨界溫度〈-10℃,，在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過(guò)程中均為氣態(tài)，分為a,、b兩組：a組為不燃無(wú)毒和不燃**氣體(包括氧,、氮,、氬等),，b組為可燃無(wú)毒和可燃**氣體(包括氫等)。第2類為液化氣體,，其臨界溫度≥-10℃,，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃,、且≤70℃,，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過(guò)程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài),，分為a,、b、c三組：a組為不燃無(wú)毒和不燃**氣體(包括二氧化碳),；b組為可燃無(wú)毒和自燃**氣體,；c組為易分解或聚合的可燃?xì)怏w。低壓液化氣體臨界溫度〉70℃,，在充裝時(shí)以及在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過(guò)程中均為液態(tài),，也分為a、b,、c三組：a組為不燃無(wú)毒和不燃**及酸性腐蝕氣體(包括氯),；b組為可燃無(wú)毒和可燃**及堿性腐蝕氣體(包括氨)；c組為易分解或聚合的可燃?xì)怏w,。第3類為溶解乙炔,。在壓力下溶解于氣瓶?jī)?nèi)溶劑的氣體，*有a組：易分解或聚合的可燃?xì)怏w(包括乙炔),。此分類是混合氣配制的基礎(chǔ),。工業(yè)混合氣是近二十年來(lái)出現(xiàn)的新品種。重慶乙炔標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司,。重慶乙炔標(biāo)準(zhǔn)氣體采購(gòu)

    CVD)的方法生長(zhǎng)一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體,。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅,、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽(yáng)電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積,。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過(guò)程。此外延層的電阻率往往與襯底不同,。5.蝕刻氣體(Etchinggases)：蝕刻就是把基片上無(wú)光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜,、金屬膜等蝕刻掉,而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來(lái),這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對(duì)光刻膠膜及其掩蔽保護(hù)的表面無(wú)損傷和鉆蝕,。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻,。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳、三氟化氮,、六氟乙烷,、全氟丙烷、三氟甲烷等,。干法蝕刻由于蝕刻方向性強(qiáng),、工藝控制精確,、方便、無(wú)脫膠現(xiàn)象,、無(wú)基片損傷和沾污,所以其應(yīng)用范圍日益***,。6.摻雜氣體(DopantGases)：在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi),以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率,用來(lái)制造PN結(jié)、電阻,、埋層等,。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。重慶氣體批發(fā)廠家成都一氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司,。

    混合罐,。標(biāo)準(zhǔn)氣體分壓法1、適用范圍分壓法適用于制備常溫下是氣體,，含量在1~60%的標(biāo)準(zhǔn)混合氣體2,、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶匯流排，壓力表,，閥門(mén),，真空泵，管道,，氣瓶卡具,。標(biāo)準(zhǔn)氣體擴(kuò)散法1、適用范圍擴(kuò)散法適用于制備常溫下是液體的有機(jī)氣體2,、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶,，閥門(mén)，流量控制閥,，流量計(jì),，液體組分，分析儀表氣瓶,，卡具,。標(biāo)準(zhǔn)氣體容積法1、適用范圍靜態(tài)容積法適用于實(shí)驗(yàn)室制備多種小,、少量的標(biāo)準(zhǔn)氣體,，壓力接近大氣壓力。2,、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶,，氣瓶減壓閥門(mén)，定體積管,，壓力計(jì),，真空泵。標(biāo)準(zhǔn)氣體飽和法1,、適用范圍飽和法法適用于易于冷凝的氣體和蒸汽,。2,、所需設(shè)備配氣設(shè)備：氣瓶,，氣瓶減壓閥門(mén),，冷凝器，飽和器,，恒溫控制器,，壓力計(jì)，循環(huán)風(fēng)機(jī),。標(biāo)準(zhǔn)氣體流量法1,、適用范圍流量比法法是動(dòng)態(tài)配氣方法，是嚴(yán)格控制一定比例的組分氣體和釋稀釋氣體的流量,，經(jīng)混合而得到的標(biāo)準(zhǔn)氣體,。2、所需設(shè)備氣瓶,，氣瓶減壓閥門(mén),，單向閥，流量控制器,，壓力表,，管道，機(jī)箱,。標(biāo)準(zhǔn)氣體稀釋法1,、適用范圍稀釋法法法是制備低含量標(biāo)準(zhǔn)氣體的方法之一。2,、所需設(shè)備氣瓶,，氣瓶減壓閥門(mén)，流量控制器,，壓力表,，管道。標(biāo)準(zhǔn)氣體體積法1,、適用范圍體積比法是簡(jiǎn)單的配氣方法,。

    建議根據(jù)不同的氣體性質(zhì)采用銅管、不銹鋼管,、四氟管而對(duì)于含硫的標(biāo)準(zhǔn)氣和樣品氣**好采用內(nèi)涂石英的不銹鋼管,。2、樣品氣的置換,，由于標(biāo)準(zhǔn)氣都要經(jīng)過(guò)減壓器和管線后才能取樣,，要準(zhǔn)確取樣必須將減壓器和管線進(jìn)行充分的置換，這種置換不是簡(jiǎn)單意義上的吹掃,。因?yàn)闇p壓器的死體積很大,，不斷將鋼瓶閥打開(kāi)關(guān)閉反復(fù)3次以上,，每次將減壓器里的氣體排盡，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣,。3,、進(jìn)樣管線的氣密性，進(jìn)樣管線的泄漏,，對(duì)樣品的數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性有很大影響,，對(duì)低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴(yán)格檢查取樣管線的氣密性,。4,、試圖從標(biāo)準(zhǔn)氣體鋼瓶中把標(biāo)準(zhǔn)氣取到取樣袋或其他容器中，然后再?gòu)娜萜髦腥臃治?，?*不可取的,，這樣造成了二次污染。使得樣品氣的數(shù)據(jù)不能真實(shí)的表現(xiàn)出來(lái),。成都工業(yè)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司,。

    標(biāo)準(zhǔn)氣體靜態(tài)配氣靜態(tài)配氣[4]是把一定量的液體或原料氣加到已知容積的稀釋氣體的容器中,混合均勻。根據(jù)所加入的液體或原料氣的量和容器的容積,即可計(jì)算出所配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度,。常用的靜態(tài)配氣技術(shù)有以下幾種,。1.大瓶子配氣法將大容積的玻璃瓶或聚乙烯塑料瓶洗凈、烘干,充入干凈空氣代替瓶中原有氣體后,抽成負(fù)壓,再充入一定量的液體或原料氣,。若原料在常溫下是氣體,用氣體定量管加入(見(jiàn)圖1),充入干凈空氣至常壓,。若原料是揮發(fā)性液體,可在一個(gè)小安培瓶中稱取一定量的液體,放入大瓶中,抽氣使成負(fù)壓,再搖碎安瓶,待液體揮發(fā)后,再充入干凈空氣到常壓。大瓶子配氣法所制得的標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度,可根據(jù)加入原料氣的濃度或液體的量及大瓶子的容積求得:當(dāng)加入瓶中的是原料氣時(shí),按下式計(jì)算:740)">式中:V1:原料氣的體積(mL);L:原料氣的濃度(ppm);V0:大瓶子的容積(L);Z:所配氣體的濃度(ppm);當(dāng)加入瓶中的是揮發(fā)性的液體時(shí):740)">式中:t:氣體的溫度(℃);m:加入液體的量(g);M:液體的摩爾質(zhì)量(g?mol);Z和V0同上式,。740)">用大瓶子配氣時(shí),由于器壁的吸附作用,配成的標(biāo)準(zhǔn)氣體的實(shí)際濃度往往比計(jì)算值低,。為避免這種影響,可以將***次配好的氣體放置一段時(shí)間后抽掉,再進(jìn)行第二次配氣。甲烷標(biāo)準(zhǔn)氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司,。重慶氣體批發(fā)廠家

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    氣體分子本身的體積可以忽略不計(jì)，溫度又不低,，導(dǎo)致分子的平均動(dòng)能較大,，分子之間的吸引力相比之下可以忽略不計(jì)，實(shí)際氣體的行為就十分接近理想氣體的行為,，可當(dāng)作理想氣體來(lái)處理,。以下內(nèi)容中討論的全部為理想氣體，但不應(yīng)忘記,，實(shí)際氣體與之有差別,，用理想氣體討論得到的結(jié)論只適用于壓力不高，溫度不低的實(shí)際氣體,。標(biāo)準(zhǔn)氣體理想氣體方程pv=nRT標(biāo)準(zhǔn)氣體遵從理想氣體狀態(tài)方程是理想氣體的基本特征,。理想氣體狀態(tài)方程有四個(gè)變量——?dú)怏w的壓力P,、氣體的體積V、氣體的物質(zhì)的量N以及溫度T和一個(gè)常量（氣體常為R）,只要其中三個(gè)變量確定,，理想氣體就處于一個(gè)狀態(tài),，因而該方程叫做理想氣體裝態(tài)方程。標(biāo)準(zhǔn)氣體溫度T和物質(zhì)的量N的單位是固定不變的,，分別為K和MOL,，而氣體的壓力P和體積V的單位卻有多種取法,，這時(shí),，狀態(tài)方程中的常量R的取值（包括單位）也就跟著改變，在進(jìn)行運(yùn)算時(shí),，千萬(wàn)要注意正確取用R值：P的單位V的單位R的取值（包括單位）標(biāo)準(zhǔn)氣體不確定度定義編輯標(biāo)準(zhǔn)氣體在研制過(guò)程中的質(zhì)量如何,，在分析比對(duì)方法中分析誤差如何．標(biāo)準(zhǔn)氣體在有效期內(nèi)穩(wěn)定性如何以及瓶?jī)?nèi)壓力降低后的影響如何．均需要用不確定度來(lái)評(píng)價(jià)。由于不確定度是評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)氣體研制水平的指標(biāo),。重慶乙炔標(biāo)準(zhǔn)氣體采購(gòu)