陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,,不易阻塞真空力大,,部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺,,普遍應(yīng)用半導(dǎo)體,、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌,。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸,,裝置應(yīng)用只限用于平坦,無孔表面的工作平臺,。使用者通常是機器操作員,。在金屬加工領(lǐng)域,這是一項安全可靠的工件傳輸,。自動化移載,、物件吸取、定位,、精密網(wǎng)板印刷用工作臺,,利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,將工作物(包括晶圓,、玻璃,、PET 膜或其它薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,,利用真空吸力使工作物固定,,進行清洗、切割,、研磨,、網(wǎng)版印刷及其它加工程序。微孔陶瓷吸盤的熱容量小,,它本身不蓄熱,,可以直接散熱,。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
在天然物質(zhì)和人造物質(zhì)中,多孔體特別多,,比如:水成巖,、水鋁英石、粘土,、木材等建筑材料,,無機和有機保溫材料,天然纖維等都是多孔體,。工業(yè)材料中的催化劑,、硅膠、活性炭等吸附劑,,過濾劑,,絕熱材料等都利用了多孔性質(zhì)。因此,,我們認為,,掌握多孔材料的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)是非常重要的。為了正確地分析出材料孔容孔徑,,就需要對材料孔結(jié)構(gòu)有著清楚的認識,,選擇正確的預(yù)處理方式(溫度、氛圍,、真空度等)及合適的分析模型,,進而得到準確科學(xué)的實驗結(jié)果。多孔陶瓷材料由于其特殊的結(jié)構(gòu),,使其具有高比表面積,,高孔隙率,高吸附性等諸多優(yōu)異的理化性能,,因而在半導(dǎo)體,、化工、環(huán)保,、功能材料等領(lǐng)域均有普遍應(yīng)用,,氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結(jié)構(gòu)特性重要的方法之一。廈門多孔陶瓷吸盤廠商陶瓷吸盤的優(yōu)點:防止吸收軌跡,。
良好的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點:①潔凈度:避免硅片在加工的過程中被Na+,、Al+等雜質(zhì)污染;②通透性強:均勻透氣和透水,,保證了硅片的均勻受力和牢固吸附,,在磨削過程中不滑動;③結(jié)構(gòu)致密均勻:不易吸附硅粉磨屑,吸盤易于清洗,;④強度高:在磨削時無形變,,保證硅片在磨削時各點受力均勻,不易產(chǎn)生崩邊,、碎片等現(xiàn)象,;⑤易于修整:修整時不會出現(xiàn)破裂、碎塊,、脫粒等現(xiàn)象,;⑥絕緣性高:絕緣性材質(zhì),消除靜電,。陶瓷吸盤的耐用性也是很重要的考慮因素,。
多孔陶瓷真空吸盤的孔徑可以制作在小于1微米大到幾百個微米的范圍內(nèi),通過微小的氣孔把空氣吸出,,便加工物緊貼在陶瓷面上,,能夠減少吸附面對高精度材料的應(yīng)力磨損,其穩(wěn)定均勻的吸附力適合固定很薄的加工物,,如晶圓片,、玻璃和柔性屏等;傳統(tǒng)的孔陶瓷真空吸盤不能根據(jù)吸附物的直徑大小進行更換合適的孔陶瓷真空吸盤,,吸附不夠穩(wěn)定,,吸附物容易掉落損壞,增加生產(chǎn)成本,,因此,,本實用新型提出一種多孔陶瓷真空吸盤以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。多孔陶瓷真空吸盤通過安裝機構(gòu),,安裝機構(gòu)具有更換陶瓷吸盤的功能,,使用者可以根據(jù)吸附物的直徑大小進行更換合適的陶瓷吸盤,提高了吸附的穩(wěn)定性,,防止吸附物掉落損壞,,降低了生產(chǎn)成本。陶瓷吸盤具有優(yōu)異的材料性能,,電阻值可以達到105~109Ω/sq,。
在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導(dǎo)體晶圓,此項工藝作業(yè)時會將鍵合粘結(jié)劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上,。殘留的有機粘結(jié)劑雜質(zhì)在溫度120℃時處于完全液態(tài),,易被吸附進多孔吸盤的孔洞內(nèi),而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層,。有機粘結(jié)劑在加熱狀態(tài)下液化,,受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內(nèi),,金屬顆粒會在此加熱狀態(tài)下進行一定程度延展拉伸式的合金化,,合金化金屬結(jié)合力會增強,,從而造成有機粘結(jié)劑在多孔吸盤的孔洞內(nèi)和表面存在,合金化金屬覆蓋在有機粘結(jié)劑表面并將有機粘結(jié)劑進行包裹,。如果陶瓷吸盤出現(xiàn)老化時應(yīng)該及時更換,。西安碳化硅多孔陶瓷吸盤現(xiàn)價
陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
目前,,陶瓷吸盤已走進了各個工廠,,成為了龍門銑床,磨床不可或缺的一部分,,所以在選型上也下了不少功夫,。那么正常使用時又要注意哪些事項呢?陶瓷吸盤出廠后,,一般有60小時左右的磨合期,,這是制造工廠根據(jù)陶瓷吸盤使用初期的技術(shù)特點而劃定的。磨合期主要是保證陶瓷吸盤正常運轉(zhuǎn),,降低故障率,,延長使用壽命的重要環(huán)節(jié)。但由于部分用戶因缺乏這方面的常識或是工期緊,,在機器的磨合期內(nèi)就超長時間,,超長負荷的使用,忽視了新機器的磨合期的特殊技術(shù)要求,,導(dǎo)致機器早期故障頻繁發(fā)生,。對陶瓷吸盤的磨合期的使用與保養(yǎng)要充分的重視。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
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