在微電子潔凈車間中,,靜電控制是非常重要的,因?yàn)殪o電可能會(huì)對(duì)微電子器件和工藝造成損害,。以下是合景凈化工程公司整理的微電子潔凈車間常見(jiàn)的靜電控制措施:微電子潔凈車間的設(shè)計(jì)和布局應(yīng)該考慮到靜電控制。地板,、墻壁和天花板應(yīng)該使用靜電耗散材料,,以防止靜電積累。此外,,車間內(nèi)應(yīng)該設(shè)置合適的防靜電工作臺(tái)和操作區(qū),,以便員工在操作微電子器件時(shí)能夠有效地控制靜電。工作人員在進(jìn)入微電子潔凈車間之前,應(yīng)該進(jìn)行防靜電培訓(xùn),,以了解如何避免靜電的產(chǎn)生和如何正確地操作防靜電設(shè)備和工具,。此外,工作人員也應(yīng)該穿著防靜電工作服和鞋子,,以防止靜電的產(chǎn)生,。微電子器件在生產(chǎn)過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生靜電,因此應(yīng)該采取一些措施來(lái)控制這種情況,。例如,可以使用防靜電包裝材料來(lái)儲(chǔ)存和運(yùn)輸微電子器件,,也可以使用防靜電噴涂材料來(lái)對(duì)器件進(jìn)行表面處理,。為了確保靜電控制的有效性,微電子潔凈車間應(yīng)該定期進(jìn)行靜電檢測(cè)和維護(hù),。這包括對(duì)車間內(nèi)的靜電耗散材料進(jìn)行檢測(cè)和維護(hù),,以及對(duì)防靜電設(shè)備和工具進(jìn)行檢查和維修。 地面鋪設(shè)防滑,、防靜電,、耐腐蝕的 PVC 地板或環(huán)氧樹(shù)脂地坪,有效避免滑倒事故與設(shè)備靜電損壞,。蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司
除對(duì)工藝有特殊要求的潔凈室,,如提取間、烘干間等,,潔凈室高度一般在2.6米到3.0米即可,,但有的企業(yè)不知何種原因整個(gè)車間統(tǒng)一建成4.0米高。應(yīng)根據(jù)不同生產(chǎn)工藝,、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,,該高則高,該低則低,,盡量縮小高潔凈度等級(jí)部分的面積,,以局部高等級(jí)凈化和全室較低等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級(jí)凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的要求,,又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用,。換氣次數(shù)、壓差,、懸浮粒子數(shù)是潔凈室三項(xiàng)基本的要求,,潔凈室不論是亂流時(shí)的稀釋作用,還是單相流時(shí)的置換作用,,都需靠潔凈空氣的量來(lái)控制和實(shí)現(xiàn)潔凈室的各種參數(shù),,因此潔凈室的換氣次數(shù)不能過(guò)低。過(guò)濾器的選用應(yīng)遵守以下要點(diǎn):末級(jí)過(guò)濾器的性能要可靠,預(yù)過(guò)濾器的效率規(guī)格要合理,,初級(jí)過(guò)濾器和預(yù)過(guò)濾器的維護(hù)要方便,。另外高效過(guò)濾器必須經(jīng)過(guò)逐臺(tái)檢驗(yàn)。如有可能盡可能選擇濾料面積大的過(guò)濾器,,過(guò)濾面積大,,容塵量大,使用壽命長(zhǎng),;過(guò)濾面積大,,氣流穿過(guò)材料的速度低,過(guò)濾器的阻力小,,還可以減少維護(hù)費(fèi)用和空調(diào)系統(tǒng)能耗費(fèi),。5.6浙江恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)公司采用環(huán)保型裝修材料,減少有害氣體釋放,,保障實(shí)驗(yàn)人員身體健康與實(shí)驗(yàn)環(huán)境安全,。
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的合理布局與安裝不僅關(guān)系到實(shí)驗(yàn)操作的便利性,還會(huì)影響實(shí)驗(yàn)室的潔凈度和氣流組織,。在進(jìn)行設(shè)備布局時(shí),,應(yīng)首先考慮實(shí)驗(yàn)流程的需要,將相關(guān)設(shè)備集中布置,,便于實(shí)驗(yàn)人員操作和管理,。例如,在化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室中,,可將樣品前處理設(shè)備,、分析儀器設(shè)備等按照實(shí)驗(yàn)流程依次排列。同時(shí),,要考慮設(shè)備的尺寸,、重量和發(fā)熱量等因素,合理安排設(shè)備的安裝位置,。對(duì)于大型設(shè)備,,應(yīng)確保其安裝基礎(chǔ)牢固,能夠承受設(shè)備的重量和運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng),;對(duì)于發(fā)熱量較大的設(shè)備,,如高溫爐、離心機(jī)等,,應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的位置,,并采取有效的散熱措施,防止熱量積聚影響實(shí)驗(yàn)室的溫濕度和潔凈度,。在設(shè)備安裝過(guò)程中,,要注意設(shè)備與圍護(hù)結(jié)構(gòu)之間的密封,,避免縫隙導(dǎo)致污染物進(jìn)入。設(shè)備的管道連接也應(yīng)嚴(yán)格按照規(guī)范進(jìn)行,,確保管道的密封性和清潔度,,防止氣體或液體泄漏對(duì)實(shí)驗(yàn)環(huán)境造成污染。此外,,還需為設(shè)備預(yù)留足夠的維護(hù)空間,,方便設(shè)備的日常維護(hù)和檢修。
實(shí)驗(yàn)室家具的選擇與布置直接影響實(shí)驗(yàn)操作的便利性和舒適度,。功能性是選擇家具的重要考量因素,,實(shí)驗(yàn)臺(tái)的尺寸和結(jié)構(gòu)要契合實(shí)驗(yàn)操作需求,比如進(jìn)行有機(jī)合成實(shí)驗(yàn),,需要較大操作臺(tái)面放置反應(yīng)裝置,,實(shí)驗(yàn)臺(tái)應(yīng)足夠?qū)挸ㄇ曳€(wěn)固;通風(fēng)柜要具備良好的通風(fēng)效果,,能迅速排出實(shí)驗(yàn)過(guò)程中產(chǎn)生的有害氣體,保障實(shí)驗(yàn)人員健康,;儲(chǔ)物柜要根據(jù)實(shí)驗(yàn)用品和試劑的種類,、數(shù)量,合理設(shè)計(jì)內(nèi)部結(jié)構(gòu),,便于分類存放,,提高存取效率。耐用性也是關(guān)鍵,,實(shí)驗(yàn)室家具使用頻繁,,實(shí)驗(yàn)臺(tái)面要有足夠強(qiáng)度和穩(wěn)定性,能承受實(shí)驗(yàn)設(shè)備的重壓和頻繁操作,;儲(chǔ)物柜的柜體和柜門要堅(jiān)固耐用,,不易變形,確保長(zhǎng)期使用,。同時(shí),,還要考慮實(shí)驗(yàn)人員的工作舒適度,選用符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的家具,。實(shí)驗(yàn)椅高度應(yīng)可調(diào)節(jié),,適應(yīng)不同身高的人員;靠背要能提供良好支撐,,減輕長(zhǎng)時(shí)間工作的疲勞感,。合理布置家具,使實(shí)驗(yàn)區(qū)域的工作流程順暢,,提高整體工作效率,。 建立實(shí)驗(yàn)室管理信息系統(tǒng),,對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備、試劑耗材,、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)等進(jìn)行信息化管理,。
對(duì)于一些對(duì)潔凈度要求極高的實(shí)驗(yàn)室,如半導(dǎo)體制造實(shí)驗(yàn)室,、生物制藥實(shí)驗(yàn)室,、醫(yī)院手術(shù)室等,潔凈度設(shè)計(jì)是**環(huán)節(jié),。首先要根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求確定潔凈等級(jí),,如ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室分為不同等級(jí),百級(jí),、千級(jí),、萬(wàn)級(jí)等,每個(gè)等級(jí)對(duì)空氣中懸浮粒子濃度有嚴(yán)格規(guī)定,。為達(dá)到相應(yīng)潔凈等級(jí),,要采用合理的氣流組織形式,如單向流,、非單向流,。單向流通過(guò)使空氣以均勻速度沿單一方向流動(dòng),將室內(nèi)污染物迅速排出,,適用于對(duì)潔凈度要求極高區(qū)域,;非單向流則通過(guò)混合室內(nèi)空氣,稀釋污染物濃度,,滿足一般潔凈度要求,。空氣凈化設(shè)備是保障潔凈度的關(guān)鍵,,需安裝高效過(guò)濾器,,如HEPA過(guò)濾器,能過(guò)濾掉空氣中微小粒子,,包括細(xì)菌,、病毒、塵埃等,。高效過(guò)濾器要定期更換,,確保過(guò)濾效果。實(shí)驗(yàn)室裝修材料要選擇不易產(chǎn)塵,、易清潔的材質(zhì),,墻面可采用彩鋼板,表面光滑平整,,不易積塵,;地面采用防靜電環(huán)氧自流平地坪,,既能防止靜電吸附灰塵,又便于清潔消毒,。同時(shí),,要嚴(yán)格控制人員和物品進(jìn)出,人員進(jìn)入需更換潔凈服,、鞋套,,經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋去除身上灰塵;物品進(jìn)入需進(jìn)行清潔,、消毒處理,,避免將污染物帶入潔凈實(shí)驗(yàn)室,維持實(shí)驗(yàn)環(huán)境的高潔凈度,。 配備緊急噴淋與洗眼器,,安裝位置應(yīng)顯眼且便于快速到達(dá),為實(shí)驗(yàn)人員提供應(yīng)急安全保障,。浦口區(qū)光學(xué)光電實(shí)驗(yàn)室氣體管道系統(tǒng)工程
為顯微鏡室提供穩(wěn)定的電源與良好的照明條件,,避免光線閃爍影響觀察效果。蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司
在送,、回風(fēng)管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上應(yīng)采取消聲措施以滿足潔凈室內(nèi)對(duì)噪聲的要求,;在凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上也應(yīng)采取消聲措施,以滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求,。消聲器一般布置在靠近機(jī)房的氣流穩(wěn)定的管段上。當(dāng)布置在機(jī)房?jī)?nèi)時(shí),,消聲器,、檢查門及消聲器后至機(jī)房隔墻的那段風(fēng)管必須有良好的隔聲措施;當(dāng)布置在機(jī)房外臨近房間內(nèi)時(shí),,應(yīng)盡量靠近機(jī)房隔墻,,而消聲器前至該隔墻的那段管(包括拐彎靜壓箱或彎頭)也應(yīng)有良好隔聲措施,以免機(jī)房?jī)?nèi)的噪聲通過(guò)消聲器本身,、檢查門及風(fēng)管的不嚴(yán)密處再次傳入系統(tǒng)中,,使消聲器輸出端口噪聲增高。凈化系統(tǒng)采用微穿空板消聲器,,空調(diào)系統(tǒng)采用阻抗復(fù)合型消聲器,,排風(fēng)系統(tǒng)采用管道式消聲器?消聲材料用不燃材料。 蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司