在半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,,圓晶減薄是其中一個關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié),。實際上,由于芯片已在圓晶上成形,減薄操作的任何失誤都可能影響芯片成品率和成本,。在減薄加工中,可用接觸式或非接觸式傳感器測量,,甚至可在去離子水中測量,,進行嚴(yán)格在線控制。馬波斯傳感器甚至可檢測到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過載,。另外,,馬波斯傳感器可控制的厚度從4μm到900μm(單側(cè)測量),智能處理厚度數(shù)據(jù),,可正??刂瞥『穸群陀涗洈?shù)據(jù)(黑盒功能)。20多年的經(jīng)驗和安裝的多個系統(tǒng),,使e.d.c.能夠100%識別缺陷,,甚至是潛在缺陷。主軸監(jiān)控
MARPOSS可以用累積室中的氦氣對電池PACK進行泄漏測試,,待測零件在環(huán)境壓力下被放入密封室,,然后充入氦氣,通過氦質(zhì)譜儀檢測是否有示蹤氣體從待測零件流到密封室里,。這種零部件半成品和pack成品的泄漏測試技術(shù)是一種非??煽康姆椒ǎ梢源_保產(chǎn)品整體密封性良好,,從而防止水進入電池pack內(nèi)部,。使用示蹤氣體的泄漏測試方法可確保比較大的測試靈敏度,其可以識別極低的泄漏情況,,適用于大容積部件和任何環(huán)境條件,。我們在累積室氦氣泄漏測試方案可以測量10-2-10-4SCC/sec的泄漏。主軸監(jiān)控馬波斯可根據(jù)需要定制解決方案,,將傳感器安裝在檢測設(shè)備的可控軸上,,可自動測量或更換工裝,。
在零件層級評估NVH比在裝配層級評估更有利。因其可在裝配前及時識別零件的缺陷(如幾何尺寸偏差),避免裝配完成后想要改善零件質(zhì)量可能為時已晚,??紤]到變速箱和減速機的高精度要求,在產(chǎn)品裝配前檢查各零件的尺寸、外觀顯然是明智之舉,。本質(zhì)上NVH檢測的原理是通過施加與實際工況相似(甚至更高)的轉(zhuǎn)速和扭矩值來對齒輪進行檢測,。由于機器的底座結(jié)構(gòu)由花崗巖制成,Marposs設(shè)備堅固耐用,不會受到外界的干擾和噪音的影響。待測齒輪(工件)與標(biāo)準(zhǔn)齒輪嚙合,其嚙合狀態(tài)可參考單嚙工況(中心距固定),。輸出測試參數(shù)是零件(或標(biāo)準(zhǔn)件)的角加速度,使用編碼器(TE檢查)和扭矩加速計(TAC檢查)進行即時評估和長期評估,。
Optoflash是世界上軸向可以采用多個光學(xué)傳感器的測量系統(tǒng)。這意味著可以通過不同的光學(xué)傳感器分別獲取圖像,,然后將所有圖像完美地結(jié)合在一起,,從而生成一幅單一的工件合成圖像,并可確保合成邊緣毫無任何斷點和缺口,。得益于這一獨特的設(shè)計,,Optoflash測量系統(tǒng)無需光學(xué)系統(tǒng)或工件本身進行任何軸向運動,就可以覆蓋長度達300mm的測量范圍。當(dāng)前,,作為世界上前列的軸向可以采用多個光學(xué)傳感器的測量系統(tǒng),。Optoflash的總測量時間可達5.6秒!馬波斯為電動馬達及其組件開發(fā)生產(chǎn)的所有階段的所有電氣測試和絕緣問題檢測提供定制的在線和離線解決方案。
馬波斯(半)自動測量系統(tǒng)Visiquick馬波斯半自動測量系統(tǒng)基于接觸或光學(xué)技術(shù),。被測容器采用人工裝卸,,測量周期自動進行?;诠鈱W(xué)技術(shù)的系統(tǒng)柔性很高,,可以測量許多不同的物品,無論其大小,、形狀和顏色,,且無需任何操作調(diào)整。2.而在馬波斯自動測量系統(tǒng)中,,玻璃容器的裝卸和測量操作可完全自動進行,,無需任何人為干預(yù)。它們主要基于非接觸式技術(shù),,除了外形尺寸外,,還可以測量其他特征,如口內(nèi)徑和輪廓,、壁厚,、重量、瓶底高度、貼標(biāo)區(qū)域輪廓等,。與半自動測量系統(tǒng)相比,,自動測量系統(tǒng)的優(yōu)勢在于***降低人力成本。使用半自動和自動測量系統(tǒng)執(zhí)行的測量結(jié)果被發(fā)送到MES(制造執(zhí)行軟件),,并被決策者用于實時微調(diào)和監(jiān)控制造過程,。本質(zhì)上NVH檢測的原理是通過施加與實際工況相似(甚至更高)的轉(zhuǎn)速和扭矩值來對齒輪進行檢測,。主軸監(jiān)控
非接觸式測量系統(tǒng),,能夠?qū)Πl(fā)卡的主要幾何特征進行尺寸測量。主軸監(jiān)控
對于光學(xué)測量不到的特征,,G25是一個完美的互補,。這些測量特征通常包括:?鍵槽深度,角度,,對稱度?孔?平面的形位特征?軸向跳動,。接觸式軸向測頭通過智能集成的軸向接觸式測頭,可進一步拓展Optoquick的功能,。這使得Optoquick能夠?qū)崿F(xiàn)以下附加功能:?小公差的軸向跳動度?用戶定義半徑處的軸向長度?穿過工件軸線的測量?光學(xué)測量不到的區(qū)域,。通過將光學(xué)與接觸式技術(shù),以及完整的馬波斯設(shè)計結(jié)合起來,,Optoquick可提供高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的擴展測量功能,。通過此獨特的技術(shù)集成,Optoquick可快速測量規(guī)定半徑處的軸向單跳動和全跳動,。主軸監(jiān)控