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4,、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,,能達(dá)到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,,響應(yīng)時(shí)間短,,適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式)、機(jī)械式和諧振式3種,。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,,在10ml~200ml/min的氣體流量下,,線性度優(yōu)于5%,。5,、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器,。其中前者以硅為襯底,,敏感層為非硅材料,是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流,。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化,、智能化、多功能化等要求,。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),,因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度,。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起,,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。物理類,,基于力,、熱、光,、電,、磁和聲等物理效應(yīng)。楊浦區(qū)如何傳感器聯(lián)系方式
利用激光的高方向性,、高單色性和高亮度等特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)無接觸遠(yuǎn)距離測量,。激光傳感器常用于長度(ZLS-Px)、距離(LDM4x),、振動(ZLDS10X),、速度(LDM30x)、方位等物理量的測量,,還可用于探傷和大氣污染物的監(jiān)測等,。霍爾傳感器(圖8)霍爾傳感器是根據(jù)霍爾效應(yīng)制作的一種磁場傳感器,,***地應(yīng)用于工業(yè)自動化技術(shù),、檢測技術(shù)及信息處理等方面?;魻栃?yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法,。通過霍爾效應(yīng)實(shí)驗(yàn)測定的霍爾系數(shù),,能夠判斷半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電類型、載流子濃度及載流子遷移率等重要參數(shù),。崇明區(qū)如何傳感器廠家現(xiàn)貨霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法,。
電阻應(yīng)變式傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變,,從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化,。電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,金屬應(yīng)變片有金屬絲式,、箔式,、薄膜式之分。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高(通常是絲式,、箔式的幾十倍),、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)。壓阻式壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件,。其基片可直接作為測量傳感元件,,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),,各電阻值將發(fā)生變化,,電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。
用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,,硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用**為普遍。熱電阻傳感器(圖6)熱電阻測溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來進(jìn)行溫度測量的,。熱電阻大都由純金屬材料制成,,應(yīng)用**多的是鉑和銅,此外,,已開始采用鎳,、錳和銠等材料制造熱電阻。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù),。在溫度檢測精度要求比較高的場合,,這種傳感器比較適用。較為***的熱電阻材料為鉑,、銅,、鎳等,它們具有電阻溫度系數(shù)大,、線性好,、性能穩(wěn)定、使用溫度范圍寬、加工容易等特點(diǎn),。用于測量-200℃~+500℃范圍內(nèi)的溫度,。微型化是建立在微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)基礎(chǔ)上的,已成功應(yīng)用在硅器件上做成硅壓力傳感器,。
光傳感器不只局限于對光的探測,,它還可以作為探測元件組成其他傳感器,對許多非電量進(jìn)行檢測,,只要將這些非電量轉(zhuǎn)換為光信號的變化即可,。光傳感器是產(chǎn)量**多、應(yīng)用**廣的傳感器之一,,它在自動控制和非電量電測技術(shù)引中占有非常重要的地位,。**簡單的光敏傳感器是光敏電阻,,當(dāng)光子沖擊接合處就會產(chǎn)生電流,。生物生物傳感器的概念傳感器(圖11)生物傳感器是用生物活性材料(酶、蛋白質(zhì),、DNA,、抗體、抗原,、生物膜等)與物理化學(xué)換能器有機(jī)結(jié)合的一門交叉學(xué)科,,是發(fā)展生物技術(shù)必不可少的一種先進(jìn)的檢測方法與監(jiān)控方法,也是物質(zhì)分子水平的快速,、微量分析方法,。霍爾傳感器分為線性型霍爾傳感器和開關(guān)型霍爾傳感器兩種,。楊浦區(qū)如何傳感器聯(lián)系方式
生物類,,基于酶、抗體,、等分子識別功能,。楊浦區(qū)如何傳感器聯(lián)系方式
在藥品包裝生產(chǎn)線,檢驗(yàn)阿斯匹林藥片的泡罩式包裝中是否有破損或缺失的藥片,;在金屬沖壓公司,,以每分鐘逾150片的速度檢驗(yàn)沖壓部件,比人工檢驗(yàn)快13倍以上,。位移傳感器(圖13)位移傳感器又稱為線性傳感器,,把位移轉(zhuǎn)換為電量的傳感器。位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,,傳感器的作用是把各種被測物理量轉(zhuǎn)換為電量它分為電感式位移傳感器,,電容式位移傳感器,光電式位移傳感器,超聲波式位移傳感器,,霍爾式位移傳感器,。在這種轉(zhuǎn)換過程中有許多物理量(例如壓力、流量,、加速度等)常常需要先變換為位移,,然后再將位移變換成電量。因此位移傳感器是一類重要的基本傳感器,。楊浦區(qū)如何傳感器聯(lián)系方式
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