(1)將敏感元件與信號處理,、校準(zhǔn),、補(bǔ)償,、微控制器等進(jìn)行單片集成,，研制智能化的壓力傳感器,。(2)進(jìn)一步提高壓力傳感器的靈敏度,，實現(xiàn)低量程的微壓傳感器,。(3)提高工作溫度,，研制高低溫壓力傳感器,。(4)開發(fā)諧振式壓力傳感器,。2,、微加速度傳感器硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進(jìn)入市場的微機(jī)械傳感器。其主要類型有壓阻式,、電容式,、力平衡式和諧振式。其中相當(dāng)有有吸引力的是力平衡加速度計,，其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報道的AGXL50型,。因此可以說，傳感器是人類五官的延長,，又稱之為電五官,。青浦區(qū)出口傳感器檢測

酸、堿,、鹽濃度傳感器主要由電導(dǎo)池,、電子模塊、顯示表頭和殼體組成,。電子模塊電路則由激勵電源,、電導(dǎo)池、電導(dǎo)放大器,、相敏整流器,、解調(diào)器、溫度補(bǔ)償,、過載保護(hù)和電流轉(zhuǎn)換等單元組成,。電導(dǎo)它是通過測量溶液的電導(dǎo)值來間接測量離子濃度的流程儀表（一體化傳感器），可在線連續(xù)檢測工業(yè)過程中水溶液的電導(dǎo)率,。由于電解質(zhì)溶液與金屬導(dǎo)體一樣的電的良導(dǎo)體,，因此電流流過電解質(zhì)溶液時必有電阻作用，且符合歐姆定律,。但液體的電阻溫度特性與金屬導(dǎo)體相反,，具有負(fù)向溫度特性。為區(qū)別于金屬導(dǎo)體,，電解質(zhì)溶液的導(dǎo)電能力用電導(dǎo)（電阻的倒數(shù)）或電導(dǎo)率（電阻率的倒數(shù)）來表示,。嘉定區(qū)質(zhì)量傳感器品牌熱電阻大都由純金屬材料制成，應(yīng)用多的是鉑和銅,，此外,，已開始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻,。

電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成,，它以兩線制4～20mA恒定電流輸出為基型，經(jīng)過轉(zhuǎn)換,，可以用三線或四線方式輸出,，輸出信號形成為 1～5V,、0～5V、0～10mA等標(biāo)準(zhǔn)信號,。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質(zhì)的圓柱形金屬容器組成,。當(dāng)料位上升時，因非導(dǎo)電物料的介電常數(shù)明顯小于空氣的介電常數(shù),，所以電容量隨著物料高度的變化而變化,。傳感器的模塊電路由基準(zhǔn)源、脈寬調(diào)制,、轉(zhuǎn)換,、恒流放大、反饋和限流等單元組成,。采用脈寬調(diào)特原理進(jìn)行測量的優(yōu)點是頻率較低,，對周圍元射頻干擾、穩(wěn)定性好,、線性好,、無明顯溫度漂移等。

諧振式氣敏傳感器不需要對器件進(jìn)行加熱,，且輸出信號為頻率量,，是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器,，由硅梁,、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成,。硅梁被置于被測氣體中后,，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加，使梁的諧振頻率減小,。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值,。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內(nèi)有較好的線性,，濃度檢測極限達(dá)到1×10,，當(dāng)工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10,。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體,，得到－0.099Hz/10的靈敏度。傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),，即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變,，從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化。

用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片，硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,，尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用**為普遍。熱電阻傳感器（圖6）熱電阻測溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來進(jìn)行溫度測量的,。熱電阻大都由純金屬材料制成,，應(yīng)用**多的是鉑和銅，此外,，已開始采用鎳,、錳和銠等材料制造熱電阻。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù),。在溫度檢測精度要求比較高的場合,，這種傳感器比較適用。較為***的熱電阻材料為鉑,、銅,、鎳等，它們具有電阻溫度系數(shù)大,、線性好,、性能穩(wěn)定、使用溫度范圍寬,、加工容易等特點,。用于測量-200℃～+500℃范圍內(nèi)的溫度。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時,，各電阻值將發(fā)生變化,，電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。黃浦區(qū)如何傳感器品牌

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4、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,，能達(dá)到很低的測量量級,，而且死區(qū)容量小，響應(yīng)時間短,，適合于微流體的精密測量和控制,。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式（包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時間式）、機(jī)械式和諧振式3種,。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,，再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,，在10ml～200ml/min的氣體流量下,，線性度優(yōu)于5%。5,、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,，微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器,。其中前者以硅為襯底，敏感層為非硅材料,，是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流,。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化,、多功能化等要求,。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān)，因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件,，以監(jiān)測和控制溫度,。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起，保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮,。青浦區(qū)出口傳感器檢測

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