通過(guò)上述說(shuō)明可知,,溫控管40的設(shè)置形式多種多樣,本實(shí)用新型并不限制溫控管40的具體設(shè)置形式,,例如可以按照上述溫控管40纏繞并固定的形式,,也可以按照在第二側(cè)壁22或第二底板21上安裝水套或設(shè)通道的形式,只要求保證使用時(shí)溫控管40可耐壓耐溫不出現(xiàn)滲漏或漏電現(xiàn)象即可,。另一方面,,本實(shí)用新型一種實(shí)施方式的真空鍍膜設(shè)備,包括機(jī)械模塊部件,、工藝模塊部件和實(shí)施例一的真空反應(yīng)腔室,,所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi),,部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體10內(nèi),。該真空鍍膜設(shè)備包括本實(shí)用新型的真空反應(yīng)腔室,,因此,該真空鍍膜設(shè)備具有上述真空反應(yīng)腔室的全部***,,在此不再贅述,。其中,設(shè)置于外腔體10內(nèi)的部分機(jī)械模塊部件為與工藝反應(yīng)無(wú)關(guān)的一些傳動(dòng)機(jī)械部件,、升降機(jī)械部件等等,,另一部與工藝反應(yīng)相關(guān)的機(jī)械部件,如鍍膜靶材的轉(zhuǎn)動(dòng)部件等等則設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔20中,。具體的,,可以根據(jù)真空鍍膜設(shè)備的具體結(jié)構(gòu)而定。該真空鍍膜設(shè)備中,,由于真空反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)成內(nèi)外腔結(jié)構(gòu),,同時(shí),通過(guò)設(shè)置溫控裝置,,可以有效地保證工藝環(huán)境封閉,、恒溫、外部污染源少,,為工藝反應(yīng)提供了更為穩(wěn)定,、純凈的環(huán)境。通過(guò)實(shí)際實(shí)驗(yàn)證明,,反應(yīng)區(qū)域溫度環(huán)境更均勻,。品質(zhì)真空鍍膜機(jī)工藝成熟,請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,,有需要可以來(lái)咨詢考察,!浙江光伏真空鍍膜機(jī)定制
因此,即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通,,但外腔體10中的污染物也很難進(jìn)入到內(nèi)反應(yīng)腔20中,,從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此,,外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng),。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境,因此,,當(dāng)對(duì)外腔體10進(jìn)行抽真空處理時(shí),,內(nèi)反應(yīng)腔20也同時(shí)進(jìn)行抽真空處理。本實(shí)施方式中,,自動(dòng)門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上,,所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13,所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動(dòng)門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動(dòng)門控制器控制自動(dòng)門的啟閉,。抽真空完成后,,自動(dòng)門控制器檢測(cè)傳送裝置上是否有工件存在,經(jīng)檢測(cè)若有工件存在,,則控制自動(dòng)門打開(kāi),,工件在傳送裝置的作用下進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動(dòng)門控制器再控制自動(dòng)門關(guān)閉??梢岳斫獾氖?,傳送裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的傳送帶,以及驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),,例如電機(jī),。其中,傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺(tái)相對(duì)應(yīng),。繼續(xù)參照?qǐng)D2,,為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控,第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對(duì)所述內(nèi)反應(yīng)腔20進(jìn)行控溫的溫控裝置,,以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi),。上海金屬涂層真空鍍膜機(jī)設(shè)備廠家寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,,細(xì)膩有光澤,,有需要可以來(lái)咨詢!
所述雙向螺紋桿遠(yuǎn)離電機(jī)的一端貫穿腔體并延伸至腔體的內(nèi)部,,所述雙向螺紋桿位于腔體內(nèi)部的一端與腔體內(nèi)壁的右側(cè)通過(guò)軸承轉(zhuǎn)動(dòng)連接,。推薦的,所述雙向螺紋桿表面的兩側(cè)且位于腔體的內(nèi)部均螺紋連接有活動(dòng)塊,,兩個(gè)所述活動(dòng)塊的底部均固定連接有限位板,,并且兩個(gè)活動(dòng)塊的頂部均通過(guò)第二滑軌與腔體內(nèi)壁的頂部滑動(dòng)連接。推薦的,,所述腔體左側(cè)的底部固定連接有抽風(fēng)機(jī),,并且抽風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口的一端連通有風(fēng)管,所述風(fēng)管遠(yuǎn)離抽風(fēng)機(jī)的一端貫穿腔體并延伸至腔體的內(nèi)部,。有益效果本實(shí)用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果:(1)、該高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備,,通過(guò)兩個(gè)寶來(lái)利真空滑軌相對(duì)的一側(cè)之間滑動(dòng)連接有活動(dòng)板,,寶來(lái)利真空伸縮桿輸出軸的一端且位于防護(hù)框的內(nèi)部與活動(dòng)板的底部固定連接,防護(hù)框頂部的兩側(cè)分別滑動(dòng)連接有寶來(lái)利真空密封蓋和第二密封蓋,,并且寶來(lái)利真空密封蓋和第二密封蓋相背離的一側(cè)分別與兩個(gè)第二伸縮桿的輸出軸固定連接,,坩堝放置在加熱板上,通過(guò)寶來(lái)利真空伸縮桿工作可以使坩堝運(yùn)動(dòng)至防護(hù)框內(nèi),兩個(gè)第二伸縮桿工作能夠控制密封蓋將防護(hù)框密封,,當(dāng)鍍膜工作完成后,,可以將坩堝密封在防護(hù)框內(nèi)。
電磁鐵122頂出磁片223,,頂蓋22離開(kāi)出氣管11口,空氣及粉塵從出氣管11排出,,當(dāng)頂蓋22的動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123接觸時(shí),,氣缸53通電,伸出伸縮軸,,利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出,,粉塵遇水沉降落入沉降管51底部,鍍膜機(jī)1內(nèi)達(dá)到相應(yīng)的真空度時(shí),,反方向按下開(kāi)關(guān)13,,電磁鐵122在換向器的作用下電流改變,磁極改變,,產(chǎn)生與磁片223相反的磁極,,電磁鐵122與磁片223相吸,此時(shí)真空泵4斷電,,動(dòng),、靜觸點(diǎn)斷開(kāi),氣缸53斷電,,頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上,。上述實(shí)施例中,開(kāi)關(guān)13為雙向開(kāi)關(guān),,往一方向按下時(shí),,真空泵4與電磁鐵122均通電,往另一方向按下時(shí),,真空泵4斷電,,電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變,產(chǎn)生相反的磁極,。在進(jìn)一步的實(shí)施例中,,結(jié)合圖2可得,寶來(lái)利真空連接套12遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有寶來(lái)利真空安裝位121,;寶來(lái)利真空安裝位121位于出氣管11兩側(cè),;寶來(lái)利真空安裝位121內(nèi)固定有電磁鐵122;頂蓋22靠近鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有第二安裝位222,;第二安裝位222與寶來(lái)利真空安裝位121位置相對(duì)應(yīng),;第二安裝位222內(nèi)固定有磁片223;電磁鐵122與磁片223分別通過(guò)膠水固定在寶來(lái)利真空安裝位121以及第二安裝位222中;利用磁鐵“同極相斥,、異極相吸”的原理,,控制頂蓋22的關(guān)閉和打開(kāi)。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定,,膜層均勻耐磨,,化合物膜層,有需要可以咨詢,!
本實(shí)用新型涉及真空鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,,具體為一種磁控濺射真空鍍膜機(jī)。背景技術(shù):真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,,需要鍍膜的被稱為基片,,鍍的材料被稱為靶材,基片與靶材同在真空腔中,,濺射類鍍膜,,可以簡(jiǎn)單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來(lái),,并且**終沉積在基片表面,,經(jīng)歷成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng)),**終形成薄膜,。目前市場(chǎng)上類似的磁控濺射真空鍍膜機(jī)在長(zhǎng)時(shí)間使用后,,會(huì)在鍍膜機(jī)腔體的內(nèi)壁粘黏有靶材和雜質(zhì),通常需要裝卸內(nèi)部的轉(zhuǎn)動(dòng)架,,用人工的方式對(duì)腔體內(nèi)壁進(jìn)行定時(shí)維護(hù),,手動(dòng)清理擦拭,費(fèi)時(shí)費(fèi)力,,清理效率低,,為了解決上述問(wèn)題,我們提出一種磁控濺射真空鍍膜機(jī),。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供一種磁控濺射真空鍍膜機(jī),,以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種磁控濺射真空鍍膜機(jī),,包括控制箱,所述控制箱的上表面后側(cè)固定安裝后罐體,,所述后罐體的前表面鉸接有前罐體,,所述后罐體的前表面上側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)裝置,所述驅(qū)動(dòng)裝置,,所述驅(qū)動(dòng)裝置的下側(cè)安裝有清理裝置,,所述清理裝置包括u形架,。品質(zhì)真空鍍膜機(jī),請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司,,有需要可以來(lái)咨詢,!風(fēng)鏡真空鍍膜機(jī)工廠直銷
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通過(guò)定期維護(hù)和保養(yǎng),,可以確保真空鍍膜機(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行和高效生產(chǎn),,提高膜層的質(zhì)量和均勻性。同時(shí),,這也有助于延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命,,減少故障率和維修成本,。真空鍍膜機(jī)在哪些領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用,?在這些領(lǐng)域中,真空鍍膜機(jī)的主要作用是什么,?真空鍍膜機(jī)在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用,,主要包括但不限于以下幾個(gè)領(lǐng)域:光學(xué)領(lǐng)域:在光學(xué)領(lǐng)域,真空鍍膜機(jī)被用于制造各種光學(xué)元件,,如鏡頭,、濾光片、反射鏡等,。通過(guò)鍍膜技術(shù),,可以在這些元件表面形成具有特定光學(xué)性能的薄膜,如增透膜,、反射膜,、濾光膜等,從而改善元件的光學(xué)性能,。電子領(lǐng)域:在電子領(lǐng)域,,真空鍍膜機(jī)被用于制造半導(dǎo)體器件、集成電路等電子產(chǎn)品的關(guān)鍵部件,。通過(guò)鍍膜技術(shù),,可以在這些部件表面形成導(dǎo)電膜、絕緣膜等功能性薄膜,,以滿足電子產(chǎn)品的性能需求,。浙江光伏真空鍍膜機(jī)定制