微泰，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥（gate valve）是一個(gè)啟閉件閘板，閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開(kāi)和全關(guān),。超高真空閘閥

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的三重保護(hù)保護(hù)環(huán)機(jī)能：采用鋁質(zhì)材料，減輕重量的同時(shí)提高保護(hù)環(huán)內(nèi)部粗糙度,，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附,；通過(guò)提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì)，且保護(hù)環(huán)逐步收窄，進(jìn)一步提升流速,，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈，確保保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定,，可保證 30 萬(wàn)次驅(qū)動(dòng),。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，能夠替代 HVA 閘閥,、VAT 閘閥,。此閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。UHV閘閥氣動(dòng)閥閘閥啟閉時(shí)較省力,。是與截止閥相比而言，因?yàn)闊o(wú)論是開(kāi)或閉,，閘板運(yùn)動(dòng)方向均與介質(zhì)流動(dòng)方向相垂直,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，一,、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén),。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。其特點(diǎn)之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門(mén)狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域。采用手動(dòng)調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。

微泰,，專門(mén)用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開(kāi)關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門(mén)用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 0.3 sec ~2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、Micron,Global Foundries,、英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績(jī),。

微泰,，高壓閘閥應(yīng)用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門(mén)在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維護(hù),。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn),，并且在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng),，對(duì)溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長(zhǎng)的使用壽命,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。蝕刻閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

關(guān)閉真空閥涉及將閘門(mén)移動(dòng)穿過(guò)流路以形成密封。超高真空閘閥

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門(mén)上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304、A5083~A7075,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。超高真空閘閥