微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3,、三位閥：半開功能的壓力控制閥。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭,，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒；有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥（gate valve）是一個啟閉件閘板，閘板的運動方向與流體方向相垂直,，閘閥只能作全開和全關(guān),。屏蔽閘閥手動閥

微泰，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）、執(zhí)行器：步進電機,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar ,、開啟壓差：≤ 30 mbar、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °、控制器≤ 35 °C,、材料：閥體STS304/機制STS304,、安裝位置：任意、接口：RS232,、RS485,、Devicenet、Profibus,、EtherCat,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。電動閘閥Micron真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造,、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?/p>

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｕ婵臻l閥由一個滑動門或板組成,，可以移動以阻止或允許通過真空閥體,，從而有效地將腔室與外部環(huán)境隔離。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。介質(zhì)可向兩側(cè)任意方向流動，易于安裝,。閘閥通道兩側(cè)是對稱的,。CVD閘閥蝶形控制閥

微泰，高壓閘閥能應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD,。屏蔽閘閥手動閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，控制系統(tǒng)閘閥，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥,、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。屏蔽閘閥手動閥