微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作,。一、控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力。二,、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu)，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力,。三、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況。高壓閘閥結(jié)構(gòu)簡單，制造和維修比較方便,。工作行程小,，啟閉時間短。密封性好,，密封面間磨擦力小,，壽命較長。轉(zhuǎn)移閘閥蝶閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染,，確保高耐用性-采用LM導(dǎo)軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動方式，使其具有簡單的運動,、耐用性和高精度,。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。手動閘閥HV GATE VALVE閘閥流動阻力小。閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,，介質(zhì)成直線流動,，流動阻力小。

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工,，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉(zhuǎn)換閥、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式：焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、開啟時壓差： ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護前可用次數(shù)： ≥1,000,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨特的特點：其插板閥主滑閥采用球機構(gòu)方式，并且在量產(chǎn)工藝設(shè)備上經(jīng)過了性能驗證,。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷與金屬接觸驅(qū)動時不會產(chǎn)生顆粒。目前已向中國臺灣的 Micron,、UMC,、AKT，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認可,，同時也完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅(qū)動會產(chǎn)生大量顆粒不同,，微泰半導(dǎo)體閘閥采用鋼陶瓷球,，在與金屬摩擦?xí)r不會損壞，且金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生 Particle,。半永久板簧（SUS 鋼板）的應(yīng)用確保了閥門驅(qū)動的同步性,，同時還采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽?dǎo)體閘閥廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVIA閘閥,、VAT 閘閥。此外,，該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁８邏洪l閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式,、內(nèi)螺紋式,、法蘭、焊接等,。按介質(zhì)的流向分,，有直通式、直流式和角式,。

微泰,，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上,。期特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：銅墊圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 150 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。微泰高壓閘閥的特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,。轉(zhuǎn)移閘閥蝶閥

為特定的真空系統(tǒng)和工藝選擇適當(dāng)尺寸和類型的真空閘閥對于確保高效運行和可靠的真空完整性至關(guān)重要。轉(zhuǎn)移閘閥蝶閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁、氣動,、緊湊設(shè)計,、重量輕。閘門,，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護，低顆粒（陶瓷球機構(gòu)）,。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism),，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。轉(zhuǎn)移閘閥蝶閥