微泰,，屏蔽閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating（涂層）? Etch? Diffusion?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體（粉末）進入閥體內(nèi)部*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,，氣流中的高水平工藝,。屏蔽閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：2.5英寸~ 10英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：2.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 60 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門,、玻璃閥門、塑料閥門,?？刂崎l閥閘板閥

微泰,，三重防護閘閥,、三防閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD? 涂層? Etch? Diffusion?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰三重防護閘閥,、三防閘閥其特點是? 閥門控制器（1CH ~ 4CH）? 應(yīng)用：半導(dǎo)體生產(chǎn)線中粉末和氣體等副產(chǎn)品的處理,，防止回流,。三重防護閘閥,、三防閘閥規(guī)格如下：操作：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 2.5? ~ 10?,、法蘭類型ISO，KF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型環(huán)/Kalrez O型環(huán),、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時間：≤ 0.3 sec ~ 0.6 sec,、操作壓力范圍： 1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar 8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar,、閘門上的壓差； 1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10-10 mbar ?/sec,、維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。專門用閘閥Global Foundries閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve,，-產(chǎn)品范圍：2.5“~10”-壓力控制-使用步進電機Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,，用步進電機/控制器操作閥門-通過步進電機/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同，控制器可以安裝在客戶需要的地方,，微泰,，步進電機插板閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。微泰步進電機插板閥Stepper Motor Gate Valve有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。

微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成；3,、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：25萬次,，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門,、合金鋼閥門、不銹鋼閥門,、鑄鐵閥門、鈦合金閥門,、銅合金閥門等,。

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ,，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，保證高耐用性和長壽命,。二、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設(shè)計緊湊，易于維護,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長的使用壽命,。此外,，即使長時間使用柵極，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備。真空閘閥SHIELD GATE VALVE

當真空閥打開時,，閘門移出流路,，使氣體以高電導(dǎo)率通過?？刂崎l閥閘板閥

微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO、JIS,、ASA,、CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。控制閘閥閘板閥