微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染,，確保高耐用性-采用LM導(dǎo)軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動方式,，使其具有簡單的運動,、耐用性和高精度,。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）,。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種?？刂崎l閥SHIELD GATE VALVE

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,，主要作用是控制氣體的流動，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu),，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿足半導(dǎo)體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格,，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。UHV閘閥法蘭閘閥閘閥通過閥座和閘板接觸進行密封,，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性。

微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負責門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,，如 32 x 222,、46 x 236、50 x 336,、56 x 500 等,。維護前使用周期可達 100 萬次，響應(yīng)時間為 2 秒,，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。I 型的特點是葉片能在垂直方向上快速移動,，保證腔室壓力完美維持，它采用具有 LM 導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，確保高耐用性和長壽命。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計緊湊,，易于維護,。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門開啟和關(guān)閉過程中能極大限度地減少振動，且對溫度變化非常穩(wěn)定,，能確保較長的使用壽命,。此外，它們即使長時間使用,，產(chǎn)生的顆粒也很少,，能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力,，專注于真空閘閥的研發(fā),。

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。其特點是葉片在垂直方向上快速移動,，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設(shè)計緊湊,，易于維護。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動,，以確保完美的腔室壓力維護,。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動,，對溫度變化也非常穩(wěn)定,，以確保較長的使用壽命。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽Ｎ⑻╅l閥可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。

微泰，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方,。控制系統(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS304,、STS420,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通、執(zhí)行器：步進電機,、氦泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1.4 bar、閘門上的壓差≤1.4bar,、維護前可用次數(shù)：100,000次,、閥體溫度≤ 150 °、控制器≤35°C,、安裝位置：任意,、接口RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，三重防護閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備。全真空可嵌入閘閥手動閥

控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制,。控制閘閥SHIELD GATE VALVE

微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負責門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥,。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，保證高耐用性和長壽命,。二、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設(shè)計緊湊，易于維護,。L型轉(zhuǎn)移閥的特點是閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動,，確保完美的腔室壓力維護。它的內(nèi)部機構(gòu),，包括一個LM導(dǎo)向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營地結(jié)構(gòu),，保證了高耐用性和長壽命，同時提供穩(wěn)定和精確的運動,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長的使用壽命,。此外,，即使長時間使用柵極，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,?？刂崎l閥SHIELD GATE VALVE