光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,，其成本約占IC制造工藝的20-30%，光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,，去膠效果太強容易造成基底損傷,，影響整個產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,，成本低效率高,，但隨著技術(shù)不斷選代更新，越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,，干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,，它不需要浸泡化學(xué)溶劑，也不用烘干,，去膠過程更容易控制,，避免過多算上基底，提高產(chǎn)品成品率,。干法式去膠又被稱為等離子去膠,，其原理同等離子清洗類似，主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻膠,，由于光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C物,，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),，生成一氧化碳,，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走,，完成光刻膠的去除,。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進(jìn)行轟擊達(dá)到去膠的目的,，主要的氣體為氧氣、氬氣等,，通過射頻產(chǎn)生氧離子,，轟擊清洗物件，以獲得表面光滑的較大化,，并且結(jié)果是親水性增大。等離子清洗機屬于干式工藝,，無需添加化學(xué)藥劑,，無廢水排放，對環(huán)境無污染,，完全符合節(jié)能和環(huán)保的需求,。吉林國產(chǎn)等離子清洗機技術(shù)指導(dǎo)

等離子清洗機通過使用物理或化學(xué)方法，可以有效地清潔,、活化或改性材料表面,。對于陶瓷基板，等離子清洗的主要作用是去除表面的污垢,、氧化物,、層間介質(zhì)等雜質(zhì)，同時通過活化表面,，提高其潤濕性和粘合性,。陶瓷基板處理后的主要優(yōu)勢：1.提高附著力：通過等離子清洗，陶瓷基板的表面可以得到明顯改善,，其粗糙度和清潔度均提高,。這不僅可以提高基板與涂層或貼片的附著力，還能有效防止由于附著力不足導(dǎo)致的涂層脫落或翹曲等問題,。2.增強潤濕性：等離子清洗處理能夠提高陶瓷基板的表面潤濕性,。對于需要液態(tài)材料覆蓋或浸潤的場合，如封接,、焊接等,，這種改善將極大地提高生產(chǎn)效率和良品率。3.改性表面：等離子清洗還可以對陶瓷基板表面進(jìn)行改性,。例如,，通過引入特定的官能團(tuán)或改變表面的化學(xué)組成，可以提高基板的耐腐蝕性,、耐磨性等關(guān)鍵性能,。上海晟鼎等離子清洗機售后服務(wù)plasma等離子清洗機活化可確保對塑料、金屬,、紡織品,、玻璃,、再生材料和復(fù)合材料進(jìn)行特別有效的表面改性。

汽車外飾件由各種材料組成:從定制的金屬坯件到SMC復(fù)合材料和玻璃纖維增強塑料(GFRP)再到復(fù)合塑料,。這些原材料具有極為不同的表面性質(zhì),。利用等離子體預(yù)處理可以取得穩(wěn)定的材料結(jié)合和具有牢固粘接力的高質(zhì)量面層。具體應(yīng)用如下：在對由 PP/EPDM 復(fù)合物制成的保險杠進(jìn)行噴漆之前的表面活化,；對由 SMC 制成的翼子板進(jìn)行等離子表面處理,；嵌裝玻璃之前對陶瓷涂層進(jìn)行等離子體超精細(xì)清洗；對鋁制框架進(jìn)行等離子體超精細(xì)清洗以便對玻璃天窗進(jìn)行防水粘接,。

等離子清洗工藝具有效果明顯,、操作簡單的優(yōu)點，在電子封裝(包括半導(dǎo)體封裝,、LED封裝等)中得到了廣泛的應(yīng)用,。LED封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會降低產(chǎn)品質(zhì)量,如果在封裝工藝過程中的點膠前、引線鍵合前及封裝固化前進(jìn)行等離子清洗,則可有效去除這些污染物,。LED封裝工藝在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,上游為襯底晶片生產(chǎn),中游為芯片設(shè)計及制造生產(chǎn),下游為封裝與測試,。研發(fā)低熱阻、優(yōu)異光學(xué)特性,、高可靠的封裝技術(shù)是新型LED走向?qū)嵱?、走向市場的必?jīng)之路,從某種意義上講封裝是連接產(chǎn)業(yè)與市場之間的紐帶,只有封裝好才能成為終端產(chǎn)品,從而投入實際應(yīng)用。LED封裝技術(shù)大都是在分立器件封裝技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展與演變而來的,但卻與一般分立器件不同,它具有很強的特殊性,不但完成輸出電信號,、保護(hù)管芯正常工作及輸出可見光的功能,還要有電參數(shù)及光參數(shù)的設(shè)計及技術(shù)要求,所以無法簡單地將分立器件的封裝用于LED,。等離子清洗機可以用于活化不銹鋼片表面，提高材料表面活性,，提高潤濕性和表面附著力,，解決粘接不良的問題。

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),，通常物質(zhì)以固態(tài),、液態(tài)、氣態(tài)3種狀態(tài)存在,，但在一些特殊的情況下可以以第四中狀態(tài)存在,，如太陽表面的物質(zhì)和地球大氣中電離層中的物質(zhì)。這類物質(zhì)所處的狀態(tài)稱為等離子體狀態(tài),，又稱為物質(zhì)的第四態(tài),。等離子體中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子;處于jihuo狀態(tài)的中性原子、分子,、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子,、分子；分子解離反應(yīng)過程中生成的紫外線;未反應(yīng)的分子,、原子等,，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài),。等離子表面處理也叫等離子清洗機(plasma cleaner)，或者等離子表面處理儀,，是一種全新的高科技技術(shù),。天津晟鼎等離子清洗機量大從優(yōu)

使用大腔體真空等離子可高效、均勻進(jìn)行表面活化處理,，提高潤濕性,，從而提高粘接強度。吉林國產(chǎn)等離子清洗機技術(shù)指導(dǎo)

什么是等離子體,？等離子體（plasma）是由自由電子和帶電離子為主要成分的物資狀態(tài),。被稱為物資的第四態(tài)。如何產(chǎn)生等離子體,？通常我們接觸到的等離子有三種方式：高溫（燃燒）、高壓（閃電）或者高頻,、高壓源（等離子電源）下產(chǎn)生,。等離子體在處理固體物質(zhì)的時候，會有固體物質(zhì)發(fā)生兩種發(fā)應(yīng)：物理反應(yīng),、化學(xué)反應(yīng),。物理反應(yīng)：活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面被帶走,?；瘜W(xué)反應(yīng)：大氣中的氧氣等離子的活性基團(tuán)可以和處理物表面的有機物反應(yīng)產(chǎn)生二氧化碳和水，達(dá)到深度清潔作用,。吉林國產(chǎn)等離子清洗機技術(shù)指導(dǎo)