超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術(shù)的發(fā)展，薄膜厚度越來越薄,。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm,。在該技術(shù)節(jié)點的a20范圍內(nèi)。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一,。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,，XRR是的測量技術(shù)。由于具有出色的適應能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進行測量：從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是**用戶,，都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改,。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設(shè)計實現(xiàn)的：配置儀器時,，免工具、免準直,，同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持,。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉（SRM1976）的準直保證。目前,，在峰位,、強度和分辨率方面，市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE,。MONTEL光學器件可優(yōu)化光束形狀和發(fā)散度,，與布魯克大量組件、光學器件和探測器完全兼容,。浙江微觀應變分析XRD衍射儀配件

EIGER2R具有多模式功能（0D-1D-2D,、快照和掃描模式），覆蓋了從粉末研究到材料研究的多種測量方法,。EIGER2并非傳統(tǒng)意義上的萬金油,，而是所有分析應用領(lǐng)域的**。其可實現(xiàn)無吸收測量的動態(tài)范圍,、用于超快粉末測量和快速倒易空間掃描的1D大尺寸以及超過500k像素的2D大覆蓋范圍,，都為多模式探測器樹立了新標準。EIGER2采用了DECTRIS公司研發(fā)的光束探測器技術(shù),，整合了布魯克的軟件和硬件,，可為您帶來無縫易用的解決方案,。由于具有出色的適應能力，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物。浙江微觀應變分析XRD衍射儀配件在DIFFRAC.SAXS中,，對EIGER2 R 500K通過2D模式手機的NIST SRM 8011 9nm金納米顆粒進行粒度分析,。

所有維度都非常好的數(shù)據(jù)質(zhì)量不論在何種應用場合,，它都是您的可選的探測器：高的計數(shù)率,、動態(tài)范圍和能量分辨率，峰位精度布魯克提供基于NIST標樣剛玉（SRM1976c）整個角度范圍內(nèi)的準直保證,，面向未來的多用途采用了開放式設(shè)計并具有不受約束的模塊化特性的同時,，將用戶友好性、操作便利性以及安全操作性發(fā)揮得淋漓盡致,，這就是布魯克DAVINCI設(shè)計,，布魯克獲得的TWIN-TWIN光路設(shè)計極大地簡化了D8ADVANCE的操作，使之適用于多種應用和樣品類型,。為便于用戶使用,，該系統(tǒng)可在4種不同的光束幾何之間進行自動切換。該系統(tǒng)無需人工干預,，即可在Bragg-Brentano粉末衍射幾何和不良形狀的樣品,、涂層和薄膜的平行光束幾何以及它們之間進行切換，且無需人工干預,，是在環(huán)境下和非環(huán)境下對包括粉末,、塊狀物體、纖維,、片材和薄膜（非晶,、多晶和外延）在內(nèi)的所有類型的樣品進行分析的理想選擇。

X射線粉末衍射（XRPD）技術(shù)是重要的材料表征工具之一,。粉末衍射圖中的許多信息,，直接源于物相的原子排列。在D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件的支持下,，您將能簡單地實施常見的XRPD方法：鑒別晶相和非晶相,，并測定樣品純度對多相混合物的晶相和非晶相進行定量分析微觀結(jié)構(gòu)分析（微晶尺寸、微應變,、無序…）熱處理或加工制造組件產(chǎn)生的大量殘余應力織構(gòu)（擇優(yōu)取向）分析指標化,、從頭晶體結(jié)構(gòu)測定和晶體結(jié)構(gòu)精修，由于具有出色的適應能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對所有類型的樣品進行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物。使用D8D,，您將能在原位循環(huán)條件下測試電池材料,，直截了當?shù)孬@取不斷變化的儲能材料和晶體結(jié)構(gòu)和相位信息。

對分布函數(shù)（PDF）分析是一種分析技術(shù),，它基于Bragg以及漫散射（“總散射”）,，提供無序材料的結(jié)構(gòu)信息。其中,，您可以通過Bragg衍射峰,，了解材料的平均晶體結(jié)構(gòu)的信息（即長程有序），通過漫散射,，表征其局部結(jié)構(gòu)（即短程有序）,。就分析速度、數(shù)據(jù)質(zhì)量以及對非晶,、弱晶型,、納米晶或納米結(jié)構(gòu)材料的分析結(jié)果而言，D8ADVANCE和TOPAS軟件市面上性能好的PDF分析解決方案：相鑒定結(jié)構(gòu)測定和精修納米粒度和形狀,。由于具有出色的適應能力,，使用D8ADVANCE，您就可對所有類型的樣品進行測量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。無論是新手用戶還是**用戶，都可簡單快捷,、不出錯地對配置進行更改,。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設(shè)計實現(xiàn)的：配置儀器時，免工具,、免準直,，同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持?？偵⑸浞治觯築ragg衍射,、對分布函數(shù)（PDF）、小角X射線散射（SAXS）,。北京檢測實驗室XRD衍射儀

全能運動概念確保當樣品在移動時,，感興趣區(qū)域始終在測角儀中心，從φ旋轉(zhuǎn)到XYZ平移和ψ傾斜,，有5個自由度,。浙江微觀應變分析XRD衍射儀配件

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