超薄HfO2薄膜XRR測(cè)試引言隨著晶體管節(jié)點(diǎn)技術(shù)的發(fā)展,，薄膜厚度越來(lái)越薄,。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術(shù)節(jié)點(diǎn)的a20范圍內(nèi),。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一,。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,，XRR是的測(cè)量技術(shù)。由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE,，您就可對(duì)所有類型的樣品進(jìn)行測(cè)量：從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物,。無(wú)論是新手用戶還是專業(yè)用戶,，都可簡(jiǎn)單快捷、不出錯(cuò)地對(duì)配置進(jìn)行更改,。這都是通過(guò)布魯克獨(dú)特的DAVINCI設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)的：配置儀器時(shí),，免工具、免準(zhǔn)直,，同時(shí)還受到自動(dòng)化的實(shí)時(shí)組件識(shí)別與驗(yàn)證的支持,。不止如此——布魯克提供基于NIST標(biāo)樣剛玉（SRM1976）的準(zhǔn)直保證。目前,，在峰位,、強(qiáng)度和分辨率方面，市面上尚無(wú)其他粉末衍射儀的精度超過(guò)D8ADVANCE,。樣品臺(tái)的卡口座允許在測(cè)角儀上快速準(zhǔn)確地更換整個(gè)樣品臺(tái),，較大限度地提高實(shí)驗(yàn)靈活性。廣東點(diǎn)陣參數(shù)精確測(cè)量XRD衍射儀

X射線衍射（XRD）和反射率是對(duì)薄層結(jié)構(gòu)樣品進(jìn)行無(wú)損表征的重要方法,。D8DISCOVER和DIFFRAC.SUITE軟件將有助于您使用常見的XRD方法輕松進(jìn)行薄膜分析：掠入射衍射（GID）：晶相表面靈敏識(shí)別及結(jié)構(gòu)性質(zhì)測(cè)定,，包括微晶尺寸和應(yīng)變。X射線反射率測(cè)量（XRR）：用于提取從簡(jiǎn)單的基底到高度復(fù)雜的超晶格結(jié)構(gòu)等多層樣品的厚度,、材料密度和界面結(jié)構(gòu)信息,。高分辨率X射線衍射（HRXRD）：用于分析外延生長(zhǎng)結(jié)構(gòu)：層厚度、應(yīng)變,、弛豫、鑲嵌,、混合晶體的成分分析,。應(yīng)力和織構(gòu)（擇優(yōu)取向）分析,。蘇州組分檢測(cè)分析在DIFFRAC.TEXTURE中，使用球諧函數(shù)和分量方法,，生成極圖,、取向分布函數(shù)（ODF）和體積定量分析。

石墨化度分析引言石墨及其復(fù)合材料具有高溫下不熔融,、導(dǎo)電導(dǎo)熱性能好以及化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異等特點(diǎn),，應(yīng)用于冶金、化工,、航空航天等行業(yè),。特別是近年來(lái)鋰電池的快速發(fā)展，進(jìn)一步加大了石墨材料的需求,。工業(yè)上常將碳原料經(jīng)過(guò)煅燒破碎,、焙燒、高溫石墨化處理來(lái)獲取高性能人造石墨材料,。石墨的質(zhì)量對(duì)電池的性能有很大影響,，石墨化度是一種從結(jié)構(gòu)上表征石墨質(zhì)量的方法之一。石墨化度碳原子形成密排六方石墨晶體結(jié)構(gòu)的程度,其晶格尺寸愈接近理想石墨的點(diǎn)陣參數(shù),石墨化度就愈高,。

X射線粉末衍射（XRPD）技術(shù)是重要的材料表征工具之一,。粉末衍射圖中的許多信息，直接源于物相的原子排列,。在D8ADVANCE和DIFFRAC.SUITE軟件的支持下,，您將能簡(jiǎn)單地實(shí)施常見的XRPD方法：鑒別晶相和非晶相，并測(cè)定樣品純度對(duì)多相混合物的晶相和非晶相進(jìn)行定量分析微觀結(jié)構(gòu)分析（微晶尺寸,、微應(yīng)變,、無(wú)序…）熱處理或加工制造組件產(chǎn)生的大量殘余應(yīng)力織構(gòu)（擇優(yōu)取向）分析指標(biāo)化、從頭晶體結(jié)構(gòu)測(cè)定和晶體結(jié)構(gòu)精修,，由于具有出色的適應(yīng)能力,，使用D8ADVANCE，您就可對(duì)所有類型的樣品進(jìn)行測(cè)量：從液體到粉末,、從薄膜到固體塊狀物,。從過(guò)程開發(fā)到質(zhì)量控制，D8 DISCOVER可以對(duì)亞毫米至300mm大小的樣品進(jìn)行結(jié)構(gòu)表征,。

獲得的TRIO光路簡(jiǎn)化了D8ADVANCE的操作,，使之適用于多種應(yīng)用和樣品類型。為便于用戶使用,，該系統(tǒng)提供了自動(dòng)化電動(dòng)切換功能,，可在多達(dá)6種不同的光束幾何之間進(jìn)行自動(dòng)切換。系統(tǒng)無(wú)需人工干預(yù),，即可在三個(gè)光路之間切換：用于粉末分析的Bragg-Brentano聚焦幾何用于毛細(xì)管,、GID和XRR的平行光束Kα1,2幾何用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何它非常適合在環(huán)境條件或非環(huán)境條件下對(duì)所有樣品類型進(jìn)行分析,，其中包括粉末、塊狀材料,、纖維,、片材和薄膜（非晶、多晶和外延）,。使用DIFFRAC.EVA,測(cè)定小區(qū)域結(jié)構(gòu)特性,。通過(guò)積分2D圖像，進(jìn)行1D掃描,，來(lái)進(jìn)行定性相分析和微觀結(jié)構(gòu)分析,。蘇州組分檢測(cè)分析

孔板和沉積樣品在反射和透射中的高通量篩選。廣東點(diǎn)陣參數(shù)精確測(cè)量XRD衍射儀

D8ADVANCEECO是市面上環(huán)保的X射線衍射儀,，其應(yīng)用范圍,、數(shù)據(jù)質(zhì)量、靈活性和可升級(jí)性毫不打折扣,。D8ADVANCEECO是功能齊全的D8ADVANCE版本,，適用于所有X射線粉末衍射和散射應(yīng)用。與D8ADVANCE完全兼容,，它具有面向未來(lái)的所有靈活性,。面對(duì)新應(yīng)用，您隨時(shí)都能對(duì)它輕松完成升級(jí),，從而適應(yīng)未來(lái)實(shí)驗(yàn)室可能出現(xiàn)的任何X射線衍射和散射應(yīng)用需求：相鑒定定量相分析微觀結(jié)構(gòu)分析結(jié)構(gòu)測(cè)定和精修殘余應(yīng)力織構(gòu)掠入射衍射（GID）X射線反射分析（XRR）小角X射線散射（SAXS）對(duì)分布函數(shù)（PDF）分析廣東點(diǎn)陣參數(shù)精確測(cè)量XRD衍射儀