智能手機迎5G換機潮，傳感器及RFMEMS用量逐年提升,。一方面,，5G加速滲透，拉動智能手機市場恢復(fù)增長：今年10月份國內(nèi)5G手機出貨量占比已達(dá)64%,；智能手機整體出貨量方面,，在5G的帶動下，根據(jù)IDC今年的預(yù)測,，2021年智能手機出貨量相比2020年將增長11.6%,，2020-2024年CAGR達(dá)5.2%。另一方面,，單機傳感器和RFMEMS用量不斷提升,，以iPhone為例,，2007年的iPhone2G到2020年的iPhone12，手機智能化程度不斷升,，功能不斷豐富,，指紋識別、3Dtouch,、ToF,、麥克風(fēng)組合、深度感知（LiDAR）等功能的加入,，使得傳感器數(shù)量（包含非MEMS傳感器）由當(dāng)初的5個增加為原來的4倍至20個以上,；5G升級帶來的頻段增加也有望明顯提升單機RF MEMS價值量。深反應(yīng)離子刻蝕是 MEMS 微納米加工中常用的刻蝕工藝,，可用于制造高深寬比的微結(jié)構(gòu),。安徽MEMS微納米加工私人定做

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI：

柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構(gòu)成的薄膜材料，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應(yīng),，然后流延成膜,，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料。柔性PI膜擁有許多獨特的優(yōu)點,，如高絕緣性,、良好的粘結(jié)性、強的耐輻射性和耐高溫性能,，使其成為一種綜合性能很好的有機高分子材料,。

柔性PI膜的應(yīng)用非常廣，尤其在電子,、液晶顯示,、機械、航空航天,、計算機,、光伏電池等領(lǐng)域有著重要的用途。特別是在液晶顯示行業(yè)中,，柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料,，用于制造折疊屏手機的基板、蓋板和觸控材料,。由于OLED顯示技術(shù)的快速發(fā)展,，柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一，廣泛應(yīng)用于智能手機和其他可折疊設(shè)備的制造,。 中國臺灣MEMS微納米加工廠家自研超聲收發(fā)芯片輸出電壓達(dá) ±100V,、電流 1A，部分性能指標(biāo)超越國際品牌 TI,。

MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW：

聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播,。它是聲學(xué)和電子學(xué)相結(jié)合的一門邊緣學(xué)科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍,，而且在它的傳播路徑上容易取樣和進行處理,。因此，用聲表面波去模擬電子學(xué)的各種功能,，能使電子器件實現(xiàn)超小型化和多功能化,。隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的發(fā)展進步，聲表面波研究向諸多領(lǐng)域進行延伸研究,。上世紀(jì)90年代,，已經(jīng)實現(xiàn)了利用聲表面波驅(qū)動固體。進入二十一世紀(jì),，聲表面波SAW在微流體應(yīng)用研究取得了巨大的發(fā)展,。應(yīng)用聲表面波器件可以實現(xiàn)固體驅(qū)動、液滴驅(qū)動,、微加熱,、微粒集聚\混合、霧化,。

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器：

超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復(fù)合型電磁材料,通過合理的設(shè)計單元結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身、完美吸和負(fù)折射等特性,。目前,隨著太赫茲技術(shù)的快速發(fā)展,太赫茲超材料器件已成為當(dāng)前科研的研究熱點,在濾波器,、吸收器、偏振器,、太赫茲成像,、光譜和生物傳感器等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。

這項研究提出了一種全光學(xué),、端到端的衍射傳感器,，用于快速探測隱藏結(jié)構(gòu)。這種衍射太赫茲傳感器具有獨特的架構(gòu),，由一對編碼器和解碼器構(gòu)成的衍射網(wǎng)絡(luò)組成,，每個網(wǎng)絡(luò)都承擔(dān)著結(jié)構(gòu)化照明和空間光譜編碼的獨特職責(zé)，這種設(shè)計較為新穎,?；谶@種獨特的架構(gòu)，研究人員展示了概念驗證的隱藏缺陷探測傳感器,。實驗結(jié)果和分析成功證實了該單像素衍射太赫茲傳感器的可行性,，該傳感器使用脈沖照明來識別測試樣品內(nèi)各種未知形狀和位置的隱藏缺陷，具有誤報率極低,、無需圖像形成和采集以及數(shù)字處理步驟等特點,。 微納加工產(chǎn)業(yè)化能力覆蓋設(shè)計,、工藝、量產(chǎn)全鏈條,，月產(chǎn)能達(dá) 50,000 片并持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新,。

柔性電極的生物相容性表面改性技術(shù)：柔性電極的長期植入性能依賴于表面生物相容性改性，公司采用多層涂層工藝解決蛋白吸附與炎癥反應(yīng)問題,。以PI基柔性電極為基底,，首先通過等離子體處理引入羥基基團，然后接枝硅烷偶聯(lián)劑（如APTES）形成活性界面,，再通過層層自組裝技術(shù)沉積PEG（聚乙二醇）與殼聚糖復(fù)合層,，**終涂層厚度5-15nm。該涂層可使水接觸角從85°降至50°,，蛋白吸附量從100ng/cm2降至＜10ng/cm2,，中性粒細(xì)胞黏附率下降80%。在動物植入實驗中,，改性后的電極在體內(nèi)留置3個月,，周圍組織纖維化程度較未處理組減輕60%，信號衰減＜15%,，而對照組衰減達(dá)40%,。該技術(shù)適用于神經(jīng)電極、心臟起搏電極等植入器件,，結(jié)合MEMS加工的超薄化設(shè)計（電極厚度＜10μm）,，降低手術(shù)創(chuàng)傷與長期植入風(fēng)險。公司支持定制化涂層配方,，可根據(jù)應(yīng)用場景調(diào)整親疏水性,、電荷性質(zhì)及生物活性分子（如生長因子）接枝，為植入式醫(yī)療設(shè)備提供個性化表面改性解決方案,。MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測,。吉林MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)

MEMS常見的產(chǎn)品-壓力傳感器。安徽MEMS微納米加工私人定做

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點：

1.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導(dǎo)體平面工藝制作的,，所以它具有很好的一致性和重復(fù)性,，易于大量生產(chǎn)，而且當(dāng)使用某些單晶材料或復(fù)合材料時,，聲表面波器件具有極高的溫度穩(wěn)定性,。

2.聲表面波器件的抗輻射能力強，動態(tài)范圍很大,，可達(dá)100dB,。這是因為它利用的是晶體表面的彈性波而不涉及電子的遷移過程此外，在很多情況下，聲表面波器件的性能還遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了很好的電磁波器件所能達(dá)到的水平,。比如用聲表面波可以作成時間-帶寬乘積大于五千的脈沖壓縮濾波器,，在UHF頻段內(nèi)可以作成Q值超過五萬的諧振腔，以及可以作成帶外抑制達(dá)70dB,、頻率達(dá)1低Hz的帶通濾波器 安徽MEMS微納米加工私人定做