微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝技術(shù)：微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝實現(xiàn)了流體通道與固態(tài)電極的無縫集成，適用于電化學(xué)檢測,、電滲流驅(qū)動等場景,。加工過程中，首先在硅片或玻璃基板上制備微流道（深度50-200μm,，寬度100-500μm）,，然后將預(yù)加工的金屬片電極（如不銹鋼、金箔）嵌入流道側(cè)壁,，通過導(dǎo)電膠（銀膠或碳膠）固定,，確保電極與流道內(nèi)壁齊平，間隙＜5μm,。鍵合采用熱壓或紫外固化膠密封,，耐壓＞100kPa，漏電流＜1nA,。金屬片電極的表面積可根據(jù)需求設(shè)計,，如5mm×5mm的金電極,，電化學(xué)活性面積達(dá)20mm2，適用于痕量物質(zhì)檢測,。在水質(zhì)監(jiān)測芯片中,，鑲嵌的鉑電極可實時檢測溶解氧濃度，響應(yīng)時間＜10秒,，檢測范圍0-20ppm,，精度±0.5ppm。該工藝解決了傳統(tǒng)微流控芯片與外置電極連接的接觸電阻問題,，實現(xiàn)了芯片內(nèi)原位檢測,，縮短信號傳輸路徑，提升檢測速度與穩(wěn)定性,。公司開發(fā)的自動化鑲嵌設(shè)備,，定位精度±10μm，單芯片加工時間＜5分鐘,，支持批量生產(chǎn),，為環(huán)境監(jiān)測、食品安全檢測等領(lǐng)域提供了集成化的傳感解決方案,。微流控與金屬片電極鑲嵌工藝,，解決流道與電極集成的接觸電阻問題并提升檢測穩(wěn)定性。福建MEMS微納米加工性能

玻璃與硅片微流道精密加工：深圳市勃望初芯半導(dǎo)體科技有限公司依托深硅反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）技術(shù),，實現(xiàn)玻璃與硅片基材的高精度微流道加工,。針對玻璃芯片，通過光刻掩膜與氫氟酸濕法刻蝕工藝,，可制備深寬比達(dá)10:1,、表面粗糙度低于50nm的微通道網(wǎng)絡(luò)，適用于高通量單細(xì)胞操控與生化反應(yīng)腔構(gòu)建,。硅片加工則采用干法刻蝕結(jié)合等離子體表面改性技術(shù),，形成親疏水交替的微流道結(jié)構(gòu)，提升毛細(xì)力驅(qū)動效率,。例如,，在核酸檢測芯片中，硅基微流道通過自驅(qū)動流體設(shè)計,，無需外接泵閥即可完成樣本裂解,、擴(kuò)增與檢測全流程，檢測時間縮短至1小時以內(nèi),，靈敏度達(dá)1拷貝/μL,。此類芯片還可集成微加熱元件，實現(xiàn)PCR溫控精度±0.1℃，為分子診斷提供高效硬件平臺,。江蘇MEMS微納米加工互惠互利SU8 硅片 / 石英片微流控模具加工技術(shù),，支持 6 英寸以下基板單套或套刻的高精度結(jié)構(gòu)復(fù)制。

MEMS制作工藝柔性電子的定義：

柔性電子可概括為是將有機/無機材料電子器件制作在柔性/可延性塑料或薄金屬基板上的新興電子技術(shù),，以其獨特的柔性/延展性以及高效,、低成本制造工藝，在信息,、能源,、醫(yī)療等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景，如柔性電子顯示器,、有機發(fā)光二極管OLED,、印刷RFID、薄膜太陽能電池板,、電子用表面粘貼(SkinPatches)等,。與傳統(tǒng)IC技術(shù)一樣，制造工藝和裝備也是柔性電子技術(shù)發(fā)展的主要驅(qū)動力,。柔性電子制造技術(shù)水平指標(biāo)包括芯片特征尺寸和基板面積大小,，其關(guān)鍵是如何在更大幅面的基板上以更低的成本制造出特征尺寸更小的柔性電子器件。

熱壓印技術(shù)在硬質(zhì)塑料微流控芯片中的應(yīng)用：熱壓印技術(shù)是實現(xiàn)PMMA,、PS,、COC、COP等硬質(zhì)塑料微結(jié)構(gòu)快速成型的**工藝,，較傳統(tǒng)注塑工藝具有成本低,、周期短,、圖紙變更靈活等優(yōu)勢,。工藝流程包括：首先利用光刻膠在硅片上制備高精度模具，微結(jié)構(gòu)高度5-100μm,，側(cè)壁垂直度＞89°,；然后將塑料基板加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上（如PMMA為110℃），在5-10MPa壓力下將模具結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印至基板,，冷卻后脫模,。該技術(shù)可實現(xiàn)0.5μm的特征尺寸分辨率，流道尺寸誤差＜±1%,，適用于微流道,、微孔陣列、透鏡陣列等結(jié)構(gòu)加工,。以數(shù)字PCR芯片為例,，熱壓印制備的50μm直徑微腔陣列，單芯片可容納20,000個反應(yīng)單元，配合熒光檢測實現(xiàn)核酸分子的***定量,，檢測靈敏度達(dá)0.1%突變頻率,。公司開發(fā)的快速換模系統(tǒng)可在30分鐘內(nèi)完成模具更換，支持小批量生產(chǎn)（100-10,000片）,，從設(shè)計圖紙到樣品交付**短*需10個工作日,，較注塑縮短70%周期。此外,，通過表面涂層處理（如疏水化,、親水化），可定制芯片表面潤濕性,，滿足不同檢測場景的流體控制需求,，成為研發(fā)階段快速迭代與中小批量生產(chǎn)的優(yōu)先工藝。超薄 PDMS（100μm 以上）與光學(xué)玻璃鍵合工藝,，兼顧柔性流道與高透光性檢測需求,。

金屬流道PDMS芯片與PET基板的鍵合工藝：金屬流道PDMS芯片通過與帶有金屬結(jié)構(gòu)的PET基板鍵合，實現(xiàn)柔性微流控芯片與剛性電路的集成,，兼具流體處理與電信號控制功能,。鍵合前，PDMS流道采用氧等離子體活化處理（功率100W,，時間30秒）,，使表面羥基化；PET基板通過電暈處理提升表面能,，濺射1μm厚度的銅層并蝕刻形成電極圖案,。鍵合過程在真空環(huán)境下進(jìn)行，施加0.5MPa壓力并保持30分鐘,，形成化學(xué)共價鍵,，剝離強度＞5N/cm。金屬流道內(nèi)的電解液與外部電路通過鍵合區(qū)的Pad連接,，接觸電阻＜100mΩ,，確保信號穩(wěn)定傳輸。該技術(shù)應(yīng)用于微流控電化學(xué)檢測芯片時,，可在10μL的反應(yīng)體系內(nèi)實現(xiàn)多參數(shù)同步檢測,，如pH、離子濃度與氧化還原電位,，檢測精度均優(yōu)于±1%,。公司優(yōu)化了鍵合設(shè)備的溫度與壓力控制算法，將鍵合缺陷率（如氣泡,、邊緣溢膠）降至0.5%以下,，支持大規(guī)模量產(chǎn),。此外，PET基板的可裁剪性與低成本特性,，使得該芯片適用于一次性檢測試劑盒,，單芯片成本較玻璃/硅基方案降低60%，為POCT設(shè)備廠商提供了高性價比的集成方案,。MEMS常見的產(chǎn)品-聲學(xué)傳感器,。北京MEMS微納米加工一體化

MEMS超表面對光電場特性的調(diào)控是怎樣的？福建MEMS微納米加工性能

MEMS發(fā)展的目標(biāo)在于,，通過微型化,、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),，開辟一個新技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中,，把自動化,、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀(jì)MEMS將逐步從實驗室走向?qū)嵱没?，對工農(nóng)業(yè),、信息、環(huán)境,、生物工程,、醫(yī)療、空間技術(shù)和科學(xué)發(fā)展產(chǎn)生重大影響,。MEMS(微機電系統(tǒng))大量用于汽車安全氣囊,，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,，以及應(yīng)用終端“輕,、薄、短,、小”的特點,，對小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢迅猛,，消費電子,、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影。福建MEMS微納米加工性能