MEA柔性電極的MEMS制造工藝：公司開發(fā)的腦機接口用MEA（微電極陣列）柔性電極,，采用聚酰亞胺或PDMS作為柔性基底,，通過光刻、金屬蒸鍍與電化學(xué)沉積工藝,，構(gòu)建高密度“觸凸”式電極陣列。電極點直徑可縮至20微米，間距50微米,，表面修飾PEDOT:PSS導(dǎo)電聚合物，電荷注入容量（CIC）達2mC/cm2,，信噪比（SNR）提升至25dB以上,。制造過程中，通過激光切割與等離子體鍵合技術(shù),，實現(xiàn)電極與柔性電路的可靠封裝,。該工藝支持定制化設(shè)計，例如針對癲癇監(jiān)測的16通道電極,，植入后機械應(yīng)力降低70%,，使用壽命延長至3年。此外,，電極陣列可集成于類***培養(yǎng)芯片,，實時監(jiān)測神經(jīng)元放電頻率與網(wǎng)絡(luò)同步性，為神經(jīng)退行性疾病研究提供動態(tài)數(shù)據(jù)支持,?；?0.35/0.18μm 高壓工藝的神經(jīng)電刺激 SoC 芯片，實現(xiàn)多通道控制與生物相容性優(yōu)化,。陜西特殊MEMS微納米加工

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料-PI：

柔性PI膜是一種由聚酰亞胺（PI）構(gòu)成的薄膜材料,，它是通過將均苯四甲酸二酐（PMDA）與二胺基二苯醚（ODA）在強極性溶劑中進行縮聚反應(yīng)，然后流延成膜,，然后經(jīng)過亞胺化處理得到的高分子絕緣材料,。柔性PI膜擁有許多獨特的優(yōu)點，如高絕緣性,、良好的粘結(jié)性,、強的耐輻射性和耐高溫性能，使其成為一種綜合性能很好的有機高分子材料,。

柔性PI膜的應(yīng)用非常廣,，尤其在電子,、液晶顯示、機械,、航空航天,、計算機、光伏電池等領(lǐng)域有著重要的用途,。特別是在液晶顯示行業(yè)中,，柔性PI膜因其優(yōu)越的性能而被用作新型材料，用于制造折疊屏手機的基板,、蓋板和觸控材料,。由于OLED顯示技術(shù)的快速發(fā)展，柔性PI膜已成為替代傳統(tǒng)ITO玻璃的新材料之一,，廣泛應(yīng)用于智能手機和其他可折疊設(shè)備的制造,。 貴州MEMS微納米加工扣件可降解聚合物加工工藝儲備，為體內(nèi)短期植入檢測芯片提供生物相容性材料解決方案,。

MEMS具有以下幾個基本特點,，微型化、智能化,、多功能,、高集成度和適于大批量生產(chǎn)。MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化,、集成化來探索具有新原理,、新功能的元件和系統(tǒng)。 MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,，幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,，如電子技術(shù)、機械技術(shù),、物理學(xué),、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)、能源科學(xué)等,。MEMS是一個單獨的智能系統(tǒng),，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小,，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,。例如，常見的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm,，甚至更小,。微機電系統(tǒng)在國民經(jīng)濟和更高級別的系統(tǒng)方面將有著廣泛的應(yīng)用前景。主要民用領(lǐng)域是電子、醫(yī)學(xué),、工業(yè),、汽車和航空航天系統(tǒng)。

在MEMS微納加工領(lǐng)域,，公司通過“材料創(chuàng)新+工藝突破”雙輪驅(qū)動,，為醫(yī)療健康、生物傳感等場景提供高精度,、定制化的微納器件解決方案,。公司依托逾700平米的6英寸MEMS產(chǎn)線，可加工玻璃,、硅片,、PDMS、硬質(zhì)塑料等多種基材的微納結(jié)構(gòu),，覆蓋從納米級（0.5-5μm）到百微米級（10-100μm）的尺度需求,。其**技術(shù)包括深硅刻蝕、親疏水改性,、多重轉(zhuǎn)印工藝等,，能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜三維微流道、高深寬比微孔陣列及柔性電極的精密成型,，滿足腦機接口,、類***電生理研究、微針給藥等前沿醫(yī)療應(yīng)用的嚴(yán)苛要求,。自動化檢測系統(tǒng)基于機器視覺,，實現(xiàn)微流控芯片尺寸測量、缺陷識別與統(tǒng)計分析一體化,。

MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型,，而是指加速度傳感器、陀螺儀,、磁傳感器等的組合,，利用各種慣性傳感器的特性，立體運動的檢測,。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應(yīng)用領(lǐng)域就是慣性導(dǎo)航,，比如飛機/導(dǎo)彈飛行控制、姿態(tài)控制,、偏航阻尼等控制應(yīng)用,、以及中程導(dǎo)彈制導(dǎo)、慣性GPS導(dǎo)航等制導(dǎo)應(yīng)用,。

慣性傳感器分為兩大類：一類是角速率陀螺,；另一類是線加速度計,。角速率陀螺又分為：機械式干式﹑液浮﹑半液浮﹑氣浮角速率陀螺；撓性角速率陀螺,；MEMS硅﹑石英角速率陀螺（含半球諧振角速率陀螺等）,；光纖角速率陀螺；激光角速率陀螺等,。線加速度計又分為：機械式線加速度計,；撓性線加速度計；MEMS硅﹑石英線加速度計（含壓阻﹑壓電線加速度計）,；石英撓性線加速度計等,。 MEMS的光學(xué)超表面是什么？重慶MEMS微納米加工之超表面制作

超聲芯片封裝采用三維堆疊技術(shù),，縮小尺寸 40% 并提升信噪比至 73.5dB,，優(yōu)化成像質(zhì)量。陜西特殊MEMS微納米加工

射頻MEMS器件分為MEMS濾波器,、MEMS開關(guān),、MEMS諧振器等。射頻前端模組主要由濾波器,、低噪聲放大器,、功率放大器、射頻開關(guān)等器件組成,，其中濾波器是射頻前端中重要的分立器件,，濾波器的工藝就是MEMS，在射頻前端模組中占比超過50%,，主要由村田制作所等國外公司生產(chǎn),。因為沒有適用的國產(chǎn)5GMEMS濾波器，因此華為手機只能用4G,，也是這個原因,，可見MEMS濾波器的重要性。濾波器（SAW,、BAW,、FBAR等），負(fù)責(zé)接收通道的射頻信號濾波,，將接收的多種射頻信號中特定頻率的信號輸出,，將其他頻率信號濾除。以SAW聲表面波為例,，通過電磁信號-聲波-電磁信號的兩次轉(zhuǎn)換，將不受歡迎的頻率信號濾除,。陜西特殊MEMS微納米加工