MEMS具有以下幾個基本特點,，微型化,、智能化,、多功能,、高集成度和適于大批量生產(chǎn),。MEMS技術(shù)的目標是通過系統(tǒng)的微型化,、集成化來探索具有新原理,、新功能的元件和系統(tǒng),。 MEMS技術(shù)是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù),、機械技術(shù),、物理學、化學,、生物醫(yī)學,、材料科學、能源科學等,。MEMS是一個單獨的智能系統(tǒng),，可大批量生產(chǎn),，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級,。例如,，常見的MEMS產(chǎn)品尺寸一般都在3mm×3mm×1.5mm，甚至更小,。微機電系統(tǒng)在國民經(jīng)濟和更高級別的系統(tǒng)方面將有著廣泛的應(yīng)用前景,。主要民用領(lǐng)域是電子、醫(yī)學,、工業(yè),、汽車和航空航天系統(tǒng)。MEMS聲表面波（即SAW）器件是什么,？湖南發(fā)展MEMS微納米加工

通過MEMS技術(shù)制作的生物傳感器,，圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測,、人工聽覺微系統(tǒng)等方向,，突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選,、耳蝸內(nèi)聲電混合刺激,、高時空分辨率相位差分檢測等一批具有自主知識產(chǎn)權(quán)的關(guān)鍵技術(shù)，取得了一批原創(chuàng)性成果,，研制了具有世界很高水平的高通量原位細胞多模式檢測系統(tǒng),、流式細胞儀、系列流式細胞檢測芯片等檢測儀器,，打破了相關(guān)領(lǐng)域國際廠商的技術(shù)封鎖和壟斷,。總之,，面向醫(yī)療健康領(lǐng)域的重大需求,，經(jīng)過多年持續(xù)的努力，我們?nèi)〉靡幌盗芯哂袊H先進水平的科研成果,，部分技術(shù)處于國際前列地位，其中多項技術(shù)尚屬國際開創(chuàng),。中國香港MEMS微納米加工咨詢報價多圖拼接測量技術(shù)通過 SEM 圖像融合,，實現(xiàn)大尺寸微納結(jié)構(gòu)的亞微米級精度全景表征。

SU8微流控模具加工技術(shù)與精度控制：SU8作為負性光刻膠,，廣泛應(yīng)用于6英寸以下硅片,、石英片的單套或套刻微流控模具加工，可實現(xiàn)5-500μm高度的三維結(jié)構(gòu)制造,。加工流程包括：基板清洗→底涂處理→SU8涂膠（轉(zhuǎn)速500-5000rpm,，控制厚度1-500μm）→前烘→曝光（紫外光強度50-200mJ/cm2）→后烘→顯影（PGMEA溶液,，時間1-10分鐘）。通過優(yōu)化曝光劑量與顯影時間,，可實現(xiàn)側(cè)壁垂直度＞88°,，**小線寬10μm，高度誤差＜±2%,。在多層套刻加工中,，采用對準標記視覺識別系統(tǒng)（精度±1μm），確保上下層結(jié)構(gòu)偏差＜5μm,，適用于復(fù)雜三維流道模具制備,。該模具可用于PDMS模塑成型，復(fù)制精度達95%以上,，流道表面粗糙度Ra＜100nm,。典型應(yīng)用如細胞培養(yǎng)芯片模具，其微柱陣列（直徑50μm,，高度200μm,，間距100μm）可模擬細胞外基質(zhì)環(huán)境，促進干細胞定向分化,，細胞黏附率提升40%,。公司具備從模具設(shè)計、加工到復(fù)制成型的全鏈條能力,，支持SU8與硅,、玻璃等多種基板的復(fù)合加工，為微流控芯片開發(fā)者提供了高精度,、高性價比的模具解決方案,。

MEMS四種刻蝕工藝的不同需求：

1.體硅刻蝕：一些塊體蝕刻些微機電組件制造過程中需要蝕刻挖除較大量的Si基材，如壓力傳感器即為一例,，即通過蝕刻硅襯底背面形成深的孔洞,，但未蝕穿正面，在正面形成一層薄膜,。還有其他組件需蝕穿晶圓,，不是完全蝕透晶背而是直到停在晶背的鍍層上?；贐osch工藝的一項特點,，當要維持一個近乎于垂直且平滑的側(cè)壁輪廓時，是很難獲得高蝕刻率的,。因此通常為達到很高的蝕刻率,，一般避免不了伴隨產(chǎn)生具有輕微傾斜角度的側(cè)壁輪廓。不過當采用這類塊體蝕刻時,，工藝中很少需要垂直的側(cè)壁,。

2.準確刻蝕：精確蝕刻精確蝕刻工藝是專門為體積較小,、垂直度和側(cè)壁輪廓平滑性上升為關(guān)鍵因素的組件而設(shè)計的。就微機電組件而言,，需要該方法的組件包括微光機電系統(tǒng)及浮雕印模等,。一般說來，此類特性要求,，蝕刻率的均勻度控制是遠比蝕刻率重要得多,。由于蝕刻劑在蝕刻反應(yīng)區(qū)附近消耗率高，引發(fā)蝕刻劑密度相對降低,，而在晶圓邊緣蝕刻率會相應(yīng)地增加,，整片晶圓上的均勻度問題應(yīng)運而生。上述問題可憑借對等離子或離子轟擊的分布圖予以校正,，從而達到均鐘刻的目的,。 MEMS的主要材料是什么？

MEMS傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域有哪些,？

運動追蹤在運動員的日常訓(xùn)練中,，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，通過基于聲學TOF,，或者基于光學的TOF技術(shù),，對每一個動作進行記錄，教練們對結(jié)果分析,，反復(fù)比較,，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術(shù)的進一步發(fā)展,，MEMS傳感器的價格也會隨著降低,，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用。在滑雪方面,，3D運動追蹤中的壓力傳感器,、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,，除了可提供滑雪板的移動數(shù)據(jù)外,，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,，安裝在沖浪板上的3D運動追蹤,，可以記錄海浪高度、速度,、沖浪時間、漿板距離,、水溫以及消耗的熱量等信息,。 MEMS常見的產(chǎn)品-壓力傳感器,。陜西MEMS微納米加工設(shè)計

MEMS 微納米加工的成本效益隨著技術(shù)的成熟逐漸提高，為其大規(guī)模商業(yè)化應(yīng)用奠定了基礎(chǔ),。湖南發(fā)展MEMS微納米加工

MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW：

聲表面波是一種沿物體表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，它能夠在兼作傳聲介質(zhì)和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播。它是聲學和電子學相結(jié)合的一門邊緣學科,。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍,，而且在它的傳播路徑上容易取樣和進行處理。因此,，用聲表面波去模擬電子學的各種功能,，能使電子器件實現(xiàn)超小型化和多功能化。隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的發(fā)展進步,，聲表面波研究向諸多領(lǐng)域進行延伸研究,。上世紀90年代，已經(jīng)實現(xiàn)了利用聲表面波驅(qū)動固體,。進入二十一世紀,，聲表面波SAW在微流體應(yīng)用研究取得了巨大的發(fā)展。應(yīng)用聲表面波器件可以實現(xiàn)固體驅(qū)動,、液滴驅(qū)動,、微加熱、微粒集聚\混合,、霧化,。 湖南發(fā)展MEMS微納米加工