硅基金屬電極加工工藝與生物相容性?xún)?yōu)化：在硅片,、LN（鈮酸鋰）,、LT（鉭酸鋰）、藍(lán)寶石,、石英等基板上加工金屬電極,，需兼顧電學(xué)性能與生物相容性。公司采用濺射沉積與剝離工藝,，首先在基板表面沉積50-200nm的鈦/金種子層,，增強(qiáng)金屬與基板的附著力；然后旋涂光刻膠并曝光顯影,，形成電極圖案,；再濺射1-5μm厚度的金/鉑金屬層，***通過(guò)**剝離得到完整電極結(jié)構(gòu),。電極線(xiàn)條寬度可控制在10-500μm,，邊緣粗糙度＜5μm，接觸電阻＜1Ω?cm2,。針對(duì)植入式醫(yī)療器件,，表面采用聚乙二醇（PEG）涂層處理，通過(guò)硅烷偶聯(lián)劑共價(jià)鍵合,，涂層厚度5-10nm,，可將蛋白吸附量降低90%以上，炎癥反應(yīng)發(fā)生率下降60%,。該技術(shù)應(yīng)用于神經(jīng)電極時(shí),，16通道電極陣列的信號(hào)噪聲比＞20dB，可穩(wěn)定記錄單個(gè)神經(jīng)元放電信號(hào)達(dá)3個(gè)月以上,。在傳感器領(lǐng)域,，硅基金電極對(duì)葡萄糖的檢測(cè)靈敏度達(dá)100μA?mM?1?cm?2，線(xiàn)性范圍0.01-10mM,，適用于血糖監(jiān)測(cè)芯片,。公司支持多種金屬材料（如鈦、鉑,、銥）與基板的組合加工,，滿(mǎn)足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)電極導(dǎo)電性、耐腐蝕性的需求,。磁傳感器和MEMS磁傳感器有什么區(qū)別,？浙江本地MEMS微納米加工

MEMS制作工藝-聲表面波器件的原理：聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個(gè)聲一電換能器一叉指換能器。所謂叉指換能器就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案,，它的作用是實(shí)現(xiàn)聲一電換能,。聲表面波SAW器件的工作原理是,，基片左端的換能器(輸入換能器)通過(guò)逆壓電效應(yīng)將愉入的電信號(hào)轉(zhuǎn)變成聲信號(hào)，此聲信號(hào)沿基片表面?zhèn)鞑?，然后由基片右邊的換能器(輸出換能器)將聲信號(hào)轉(zhuǎn)變成電信號(hào)輸出,。整個(gè)聲表面波器件的功能是通過(guò)對(duì)在壓電基片上傳播的聲信號(hào)進(jìn)行各種處理，并利用聲一電換能器的特性來(lái)完成的,。河南哪些是MEMS微納米加工128 像素視網(wǎng)膜假體芯片已批量交付,，臨床前實(shí)驗(yàn)針對(duì)視網(wǎng)膜病變患者重建基本視力。

MEMS制作工藝壓電器件的常用材料：

氧化鋅是一種眾所周知的寬帶隙半導(dǎo)體材料（室溫下3.4eV,，晶體）,，它有很多應(yīng)用,，如透明導(dǎo)體,，壓敏電阻，表面聲波,，氣體傳感器,，壓電傳感器和UV檢測(cè)器。并因?yàn)榭赡軕?yīng)用于薄膜晶體管方面正受到相當(dāng)?shù)年P(guān)注,。同時(shí)氧化鋅還具有相當(dāng)良好的生物相容性,，可降解性。E.Fortunato教授介紹了基于氧化鋅的新型薄膜晶體管所帶來(lái)的主要優(yōu)勢(shì),，這些薄膜晶體管在下一代柔性電子器件中非常有前途,。除此之外，還有眾多的二維材料被應(yīng)用于柔性電子領(lǐng)域,，包括石墨烯,、半導(dǎo)體氧化物，納米金等,。2014年發(fā)表在chemicalreview和naturenanotechnology上的兩篇經(jīng)典綜述詳盡闡述了二維材料在柔性電子的應(yīng)用,。

主要由傳感器、作動(dòng)器（執(zhí)行器）和微能源三大部分組成,，但現(xiàn)在其主要都是傳感器比較多,。

特點(diǎn)：1.和半導(dǎo)體電路相同，使用刻蝕,，光刻等微納米MEMS制造工藝,，不需要組裝，調(diào)整,；2.進(jìn)一步的將機(jī)械可動(dòng)部,，電子線(xiàn)路，傳感器等集成到一片硅板上,；3.它很少占用地方,，可以在一般的機(jī)器人到不了的狹窄場(chǎng)所或條件惡劣的地方使用4.由于工作部件的質(zhì)量小,，高速動(dòng)作可能；5.由于它的尺寸很小,，熱膨脹等的影響?。?.它產(chǎn)生的力和積蓄的能量很小,，本質(zhì)上比較安全,。 金屬流道 PDMS 芯片與 PET 基板鍵合，實(shí)現(xiàn)柔性微流控芯片與剛性電路的高效集成,。

MEMS技術(shù)的主要分類(lèi)：生物MEMS技術(shù)是用MEMS技術(shù)制造的化學(xué)/生物微型分析和檢測(cè)芯片或儀器,，統(tǒng)稱(chēng)為Bio-sensor技術(shù)，是一類(lèi)在襯底上制造出的微型驅(qū)動(dòng)泵,、微控制閥,、通道網(wǎng)絡(luò)、樣品處理器,、混合池,、計(jì)量、增擴(kuò)器,、反應(yīng)器,、分離器以及檢測(cè)器等元器件并集成為多功能芯片?？梢詫?shí)現(xiàn)樣品的進(jìn)樣,、稀釋、加試劑,、混合,、增擴(kuò)、反應(yīng),、分離,、檢測(cè)和后處理等分析全過(guò)程。它把傳統(tǒng)的分析實(shí)驗(yàn)室功能微縮在一個(gè)芯片上,。生物MEMS系統(tǒng)具有微型化,、集成化、智能化,、成本低的特點(diǎn),。功能上有獲取信息量大、分析效率高,、系統(tǒng)與外部連接少,、實(shí)時(shí)通信、連續(xù)檢測(cè)的特點(diǎn)。國(guó)際上生物MEMS的研究已成為熱點(diǎn),，不久將為生物,、化學(xué)分析系統(tǒng)帶來(lái)一場(chǎng)重大的革新。超透鏡的電子束直寫(xiě)和刻蝕工藝其實(shí)并不復(fù)雜,。中國(guó)香港MEMS微納米加工組成

MEMS的超透鏡是什么,？浙江本地MEMS微納米加工

MEMS制作工藝-微流控芯片：

微流控芯片技術(shù)(Microfluidics)是把生物、化學(xué),、醫(yī)學(xué)分析過(guò)程的樣品制備,、反應(yīng)、分離,、檢測(cè)等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上,，自動(dòng)完成分析全過(guò)程。微流控芯片（microfluidicchip）是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)（MiniaturizedTotalAnalysisSystems）發(fā)展的熱點(diǎn)領(lǐng)域,。

微流控芯片分析以芯片為操作平臺(tái),同時(shí)以分析化學(xué)為基礎(chǔ),以微機(jī)電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學(xué)為目前主要應(yīng)用對(duì)象,，是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn)。它的目標(biāo)是把整個(gè)化驗(yàn)室的功能,包括采樣,、稀釋,、加試劑,、反應(yīng),、分離、檢測(cè)等集成在微芯片上,且可以多次使用,。 浙江本地MEMS微納米加工