帶間級聯(lián)激光器(ICL)是實現(xiàn)3~5μm波段中紅外激光器的重要前沿,其在半導體光電器件技術,、氣體檢測、醫(yī)學醫(yī)療以及自由空間光通信等領域具有重要科學意義和應用價值,。近年來,,半導體帶間級聯(lián)激光器的量子阱能帶理論設計方法和激光器制備**技術得到迅速提升。帶間級聯(lián)激光器是一種以?族體系為主,,通過量子工程的能帶設計及其材料外延,、工藝制作而成的可以工作于中紅外波段的激光器。由于結合了傳統(tǒng)的量子阱激光器較長的上能級載流子復合壽命,,以及量子級聯(lián)激光器(QCL)通過級聯(lián)結構實現(xiàn)較高內(nèi)量子效率的優(yōu)點,,在中紅外波段具有較大的優(yōu)勢。研究背景中紅外波段包含了許多氣體分子的吸收峰,,對于氣體分子而言,,在中紅外波段的中心吸收截面一般比其在近紅外區(qū)的中心吸收截面高幾個數(shù)量級。因此,,為了獲得更高的靈敏度和更低的檢測限,,利用中紅外的可調(diào)諧半導體激光器吸收光譜技術(TDLAS)可以實現(xiàn)對特殊或有毒氣體的檢測。常見的位于中紅外波段的氣體分子如圖1所示,,諸如礦井氣體甲烷(CH4)分子吸收峰位于3260nm,,一氧化碳(CO)分子吸收峰位于4610nm,二氧化碳(CO2)分子吸收峰位于4230nm,,氯化氫(HCl)分子吸收峰位于3395nm,,溴化氫(HBr)分子吸收峰位于4020nm。 基于光譜學原理的氣體檢測技術,,有非接觸,、快響應,、高靈敏、大范圍監(jiān)測等優(yōu)點,,是監(jiān)測技術的主流研究方向,。云南SF6QCL激光器多少錢
直接吸收光譜技術是通過調(diào)諧激光頻率到選擇吸收譜線透過率和譜線形狀進行分析,并獲取一些重要信息,,如吸收譜線強度和增寬系數(shù),。從這些光譜測量得到信息可以推斷出氣體溫度、濃度,、氣流速度以及壓力等參數(shù)值,。信號發(fā)生器發(fā)生鋸齒波或三角波掃描信號給激光驅(qū)動器驅(qū)動DFB激光器,激光器輸出激光通過待測氣體,,光電探測器接收到透射光,,并通過對光強信號進行分析,從而測量得到氣體濃度值,。實現(xiàn)直接吸收光譜檢測透射光容易受到背景噪聲的干擾,、激光器光強波動等因素的影響,為了減小噪聲的干擾,,通常會使用高靈敏光譜技術,,如采用波長調(diào)制技術對目標信號進行高頻調(diào)制,實現(xiàn)抑制高頻背景噪聲,,從而極大提高探測靈敏度和精度,。信號發(fā)生器發(fā)生鋸齒波或三角波掃描信號疊加快速正弦頻率f的調(diào)制信號給激光驅(qū)動器驅(qū)動DFB激光器,激光器輸出調(diào)制光經(jīng)過待測氣體,,光電探測器接收到吸收后光強,,此時將光信號轉(zhuǎn)換成電信號輸入到鎖相放大器對信號進行解調(diào)輸出波長調(diào)制的諧波信號,根據(jù)諧波信號的值計算得到此時氣體濃度值,。 山東NH3QCL激光器加工QCL在高靈敏檢測方面具備天然的優(yōu)勢,,可能成為呼吸氣體分析技術領域瓶頸的可靠解決方案。
復雜生態(tài)環(huán)境溫室氣體不同空間,、時間尺度的濃度監(jiān)測是了解溫室氣體源與匯的基礎,。目前適應生態(tài)環(huán)境溫室氣體長期連續(xù)監(jiān)測的技術手段仍有待研究??烧{(diào)諧半導體激光吸收光譜(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy,TDLAS)是一種非侵入式光譜測量技術,具有高選擇,、高靈敏度、高分辨等特點,與目前新興的中紅外量子級聯(lián)激光器(QuantumCascadeLaser,QCL)相結合,可實現(xiàn)分子"基頻"吸收光譜測量,進一步提高檢測靈敏度,達到溫室氣體區(qū)域環(huán)境監(jiān)測需求,。激光氣體分析利用激光光譜技術,,通過氣體對特定波長激光的吸收特性來檢測氣體濃度。適用于檢測具有特定吸收特性的氣體,,如甲烷,、二氧化碳,、一氧化碳、水蒸氣,、氧化亞氮和氨氣,。憑借其高精度、快速響應和非接觸式檢測的特點,,激光氣體分析儀在工業(yè)過程控制,、環(huán)境監(jiān)測、安全與泄漏檢測,、醫(yī)療與生命科學以及科研實驗室等多個領域中得到了廣泛應用,。
作為半導體激光技術發(fā)展的里程碑,量子級聯(lián)激光器(QCL)使中遠紅外波段高可靠,、高功率和高特征溫度半導體激光器的實現(xiàn)成為可能,為氣體分析等中紅外應用提供了新型光源,,因此QCL日益受到關注,。尤其是近10年,越來越多的科研人員開始研究QCL在氣體檢測方面的應用,,使得它的優(yōu)勢和潛力被更多的認識和挖掘,。中遠紅外量子級聯(lián)激光器(QCL)眾所周知,QCL屬于新一代半導體激光器,,它的特性不同于傳統(tǒng)半導體激光器,。用中科院半導體所劉峰奇研究員的“兩層含義”解釋,應該更加形象,。首先是量子含義,,是指激光器由納米級厚度的半導體異質(zhì)結超薄層構成,利用量子限制效應,,通過調(diào)節(jié)每層材料的厚度和子帶間距,,從而調(diào)節(jié)波長;其次是級聯(lián)含義,,它的有源區(qū)由多級耦合量子阱串接組成,,可實現(xiàn)單電子注入的倍增光子輸出,可望獲得大功率,,而普通的半導體激光器是利用電子空穴對的復合發(fā)射光子,,這是普通激光器不具備的一個性能。 基于 TDLAS 技術的無創(chuàng)檢測方法,,且效果明顯,。
2002年之后,帶間級聯(lián)激光器在美國噴氣推進實驗室(JPL)取得了更加快速的發(fā)展,,在低閾值電流,、高工作溫度以及長波長等方向上都取得了矚目的成果,。其中**重要的是2005年,研究人員制作出的單縱模分布反饋式激光器(DFB)可以實現(xiàn)甲烷氣體的檢測,。并于2007年交付美國國家航空航天局(NASA)的好奇號進行火星的甲烷探測,。2008年,美國海軍實驗室(NRL)經(jīng)過多年優(yōu)化和發(fā)展,,終于實現(xiàn)了里程碑式的***臺室溫連續(xù)激射的帶間級聯(lián)激光器,,連續(xù)波**高工作溫度可達319K,激射波長為μm,。2011年,,美國海軍實驗室在材料設計的基礎上,又進一步提出了“載流子再平衡”的概念,,解決了有源區(qū)中電子和空穴的數(shù)量不均等問題,,通過改變電子注入?yún)^(qū)中的摻雜濃度,平衡有源區(qū)中過高的空穴濃度,。之后,,德國伍茲堡大學在“載流子再平衡”的基礎上,提出了短注入?yún)^(qū)的設計,。2014年,,美國海軍實驗室通過增加有源級聯(lián)區(qū)的周期數(shù)及分別限制層的厚度,進一步提高了帶間級聯(lián)激光器的器件指標,,其室溫連續(xù)輸出功率達592mW,,輸出特性以及輸出波長如圖3和4所示。這也是目前帶間級聯(lián)激光器輸出功率的**高指標,,并在2015年成功制作級聯(lián)數(shù)為10的帶間級聯(lián)激光器,。 QCL相比其它激光器具有體積小、重量輕的特點,,其攜帶方便,,便于系統(tǒng)化和集成化。北京氨QCL激光器型號
利用多種形式的光譜學測量手段,,開展地面探測,、地基探測、機載探測和星載探測四種典型光學觀測.云南SF6QCL激光器多少錢
TDLAS(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy)技術利用可調(diào)諧半導體激光器的特性,,通過調(diào)制激光器的波長,,使其掃描被測氣體分子的吸收峰,從而實現(xiàn)對氣體分子濃度的測量,。該技術通過紅外吸收來測量激光通過被測氣體時被吸收的數(shù)量,,具有高精度和無接觸的特點。調(diào)諧半導體吸收光譜(TDLAS)技術是激光吸收光譜(LAS)技術的一種。根據(jù)激光器的不同驅(qū)動形式,,激光吸收光譜(LAS)技術可以分為:直接吸收法和調(diào)制吸收法,。這兩種技術各有優(yōu)缺點:直接吸收法:需要鎖定激光器驅(qū)動電流,不需加載2f諧波信號,,結構簡單,,成本低,但容易受干擾,,尤其是低頻干擾,,所以靈敏度相對低些。調(diào)制吸收法:需要給到激光器鋸齒波驅(qū)動電流信號,,同時需要加載2f諧波信號到驅(qū)動電流上,,結構會相對復雜一些,成本要比直接吸收法高一些,,但是靈敏度高,,能夠避開低頻干擾。其中又進一步分為波長調(diào)制類和頻率調(diào)制類,,波長調(diào)制類需要更大的調(diào)諧范圍,,頻率調(diào)制類需要很高的掃描頻率和調(diào)制頻率,技術復雜,,靈敏度更高。 云南SF6QCL激光器多少錢