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潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間,,建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入,、產(chǎn)生及滯留粒子,,空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,、濕度,、壓力等要求進(jìn)行控制,??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高,。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,,而這種級別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示,。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。按氣流組織分類,,潔凈室可分為三類:單向流,、層流、潔凈室,。河北電子廠房環(huán)境檢測
1,、高效過濾器完整性
a)生物安全柜檢測的風(fēng)機(jī)和燈,去掉過濾器的散流裝置和保護(hù)蓋,。安放氣溶膠發(fā)生器,,將氣溶膠導(dǎo)入安全柜,產(chǎn)生均勻分布的高效過濾器上游氣流,。
b)打開氣溶膠光度計(jì),,進(jìn)行調(diào)整;對含有氣溶膠的高效過濾器上游氣流進(jìn)行測試,,至少應(yīng)有20ug/L PAO ,。
c)光度計(jì)探頭在過濾器下游距過濾器表面不超過25mm,以小于50mm/s的掃描速率移動(dòng),使探頭掃測過濾器的整個(gè)下游一側(cè)和每個(gè)組合過濾片的邊緣,,掃測路線應(yīng)略微重疊,。
2、噪聲
a)打開安全柜的風(fēng)機(jī)和照明燈,,在安全柜前面中心水平向外300mm,、工作臺(tái)面上方380mm處測量噪聲;
b)關(guān)閉安全柜的風(fēng)機(jī)和照明燈,,如果有室外排氣風(fēng)機(jī),,讓其繼續(xù)運(yùn)行,在相同位置測量背景噪聲,。 湖南消毒液凈化車間環(huán)境檢測相鄰不同級別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa,。
無菌室使用與管理要求
1.工作室應(yīng)矮小,、平整,,面積小,高2.2―2.3米,,內(nèi)部裝修應(yīng)平整,、光滑,無凹凸不平或棱角等,,四壁及屋頂應(yīng)用不透水之材質(zhì),,便于擦洗及殺菌,。
2.室內(nèi)采光面積大,從室外應(yīng)能看到室內(nèi)情況,。
3.為保證無菌室的潔凈,,無菌室周圍需設(shè)緩沖走廊,走廊旁再設(shè)緩沖間,,其面積可小于無菌室,。
4.無菌室、緩沖走廊及緩沖間均設(shè)有日光燈及供消毒空氣用紫外燈,,殺菌紫外燈離工作臺(tái)以1米為宜 ,,其電源開關(guān)均應(yīng)設(shè)在室外。
5.無菌室與緩沖間進(jìn)出口應(yīng)設(shè)拉門,,門與窗平齊,,門縫要封緊,兩門應(yīng)錯(cuò)開,,以免空氣對流造成污染,。
6.無菌室的使用與管理
(1) 無菌室應(yīng)保持清潔整齊,室內(nèi)存放必須的檢驗(yàn)用具如酒精燈,、酒精棉,、火柴、鑷子,、接種針,、接種環(huán)等。不要放與檢測無關(guān)的物品
(2) 室內(nèi)檢驗(yàn)用具及凳桌等保持固定位置,,不隨便移動(dòng),。
(3) 每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作臺(tái)、門,、窗,、桌、椅及地面,,然后用3%石炭酸水溶液噴霧消毒空氣,,紫外燈殺菌半小時(shí)。
溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫,、濕度測定,,通常分為兩個(gè)檔次:一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測試,,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測試,。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合,。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行,。進(jìn)行這項(xiàng)檢測時(shí),,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定,。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,,測量時(shí)間不少于5分鐘。按潔凈度級別劃分為1級,、2級,、3級、4級,、5級,、6級、7級,、8級,、9級。9級為低等級別,。
潔凈室要求:室內(nèi)壓力要求一般空調(diào)對室內(nèi)壓力無特殊要求,,而潔凈空調(diào)為了避免外界污染空氣的滲入或不同生產(chǎn)車間不同物質(zhì)的相互影響對不同潔凈區(qū)的正壓值均有不同的要求。在負(fù)壓潔凈室內(nèi)尚有負(fù)壓度的控制要求,。潔凈空調(diào)系統(tǒng)材料和設(shè)備的選擇,、加工工藝、加工安裝環(huán)境,、設(shè)備部件貯存環(huán)境為了避免被外界污染均有特殊的要求,。這也是一般空調(diào)系統(tǒng)所沒有的。對氣密性的要求一般空調(diào)系統(tǒng)對系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求,。但潔凈空調(diào)系統(tǒng)的要求要比一般空調(diào)系統(tǒng)高得多其檢測手段,,各工序的標(biāo)準(zhǔn)均有嚴(yán)格措施及檢測要求。潔凈室(區(qū))的日常運(yùn)行和維護(hù)管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件,。排風(fēng)柜檢測服務(wù)至上
蔚亞科技檢測技術(shù)嚴(yán)格按照國家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行,。河北電子廠房環(huán)境檢測
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣,。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),,ULSI制程大都采用此種型式,。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行,。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用,。藥品,、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái),、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類,。
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