潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室,。按照國際慣例,,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,,所謂的無塵,,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位,。當然,,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。潔凈室檢測不僅是當前生產(chǎn)的需要,,也是對未來產(chǎn)品質(zhì)量的投資,。山東排風柜檢測認真負責
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內(nèi)入,、產(chǎn)生及滯留粒子,。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度,、壓力等要求進行控制,。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內(nèi)入,、產(chǎn)生及滯留粒子,。空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,、濕度,、壓力等要求進行控制,。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式,。空氣潔凈度是指潔凈環(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高,??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,,而這種級別又是用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度指這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別,。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子,。湖北潔凈工作臺檢測哪家好空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示,。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進行,。(2)在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間,。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應精確到1.0Pa,。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門,。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間,、走廊與外界之間的壓差,。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標準要求按照潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值,。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,,應不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,,不應小于10Pa,。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值,。(4)若達不到以上標準的要求,,應重新調(diào)整新風量、排風量,、至合格為止,。
2、溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫,、濕度測定,,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。***個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試,。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合,。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行,。進行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定,。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的,,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,,測量時間不少于5分鐘。3,、壓差這項檢測的目的是驗證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間,、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態(tài),。需要定期進行這項檢測,。壓差的測試應在所有的門都關(guān)閉的條件下,由高壓向低壓,、由平面布置上與外界**遠的里間房間開始,,依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等,。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣,。
(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器,、氣溶膠發(fā)生器,。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下。2,、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證,。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,,就可以不進行檢漏,。3、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5,、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室,。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種,。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。山東電子廠房環(huán)境檢測
潔凈室檢測過程中,,應注重節(jié)能降耗,實現(xiàn)綠色生產(chǎn),。山東排風柜檢測認真負責
1,、儀器設(shè)備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數(shù)器、氣溶膠發(fā)生器,。環(huán)境溫度常溫或設(shè)計溫度下,。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗,,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏,。3,、技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍,。4、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室,。山東排風柜檢測認真負責