1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染,。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋,、粘鞋墊,、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護人員凈化用室的清潔,，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮,，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,，避免了清潔鞋被外出鞋污染，如跨越鞋柜式換鞋,，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果,。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

5.2.2人員進(jìn)出,、材料出入,、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯,，不但會彼此干擾,、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率,，并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此,，在工藝布局時,，應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備,，有各自的出入口,。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室,、通道式吹淋室,、氣閘室等，具體選用何種形式,，需根據(jù)潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級,、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定,。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室,、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等,，一般可根據(jù)物料種類,、包裝方式和潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級等確定。北京塵埃粒子潔凈室檢測規(guī)范性強嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施,。

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試,。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏,；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣,。檢漏包括濾材,、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng),。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行,，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行,。

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段,；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效,、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應(yīng)相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效,、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近,；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置,；8高效(亞高效,、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用,；2應(yīng)按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,，3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié),；5應(yīng)便于安裝,、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求,。對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點,、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式,、開放式和微環(huán)境等,，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室,。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求,、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室,。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式,。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施,。上海電子廠房環(huán)境潔凈室檢測評估

有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度,，又保證有穩(wěn)定的氣流流型,。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時,，為解決防微振問題,，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價,，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè),。周圍振源對精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動影響,，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果。這種疊加,，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法,。因此，應(yīng)立足于實測,。過去有的工廠,，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進(jìn)行實測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備,、精密儀器儀表影響很大,，有的甚至難以工作，給生產(chǎn),、試驗帶來很大困難,，這說明實測振源振動影響是非常必要的。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)