15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應分階段進行,，應包括設(shè)計,、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試,、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等,。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時,，應符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備,、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈廠房,，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型,、隔振縫的設(shè)置,、潔凈室裝修等應按微振控制要求設(shè)計,；3對設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應采取主動隔振措施,；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備,、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,，應采取被動隔振措施,。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱,、噪聲,、照度、靜電,、微振都有相當要求的多功能的綜合體,。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接,。2不銹鋼管應采用氬弧焊,，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊,。8.3.2管道與設(shè)備的連接應符合設(shè)備的連接要求,。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道,、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據(jù)輸送物料性質(zhì),、設(shè)計工況選擇,，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定,，宜采用金屬墊或雙卡套,。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造,。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的**溫度,。保溫層外表面應采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料,，并應平整,、光潔，宜采用金屬外殼保護,。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測頻率無菌室,，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計用于控制環(huán)境污染的封閉空間,。

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量,；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應相近,；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近,；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效,、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作,。7.4.2風機過濾器機組的設(shè)置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風量應能調(diào)節(jié)；5應便于安裝,、維修及過濾器更換,。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求,。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)),，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應有足夠剛度,；2應設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系,，并應與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應根據(jù)微振動控制的要求,，適當加大梁,、柱、墻,、基礎(chǔ)等截面尺寸,。15.3.3有強烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施,，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）,；2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架,、柔性連接等隔振措施,。以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動,。

5.1.1隨著科學技術(shù)的發(fā)展,，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn),；微型計算機的迅速發(fā)展,，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速,。因此,，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要,，從潔凈廠房的規(guī)劃開始,，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計,、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度,，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室,。潔凈傳遞窗潔凈室檢測方法

送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖,。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點,、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室,、非單向流潔凈室和混合流潔凈室,。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源,、減少投資和降低運行費用等因素確定,，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時,，宜采用微環(huán)境等型式,。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦