D.3.10自凈時間檢測,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測,，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時,，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間,，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N,。),。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時,，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min,，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N,。）。然后開機,，方法同上,。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）,、實際換氣次數(shù)(n),，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比,，如果t≤12to,為合格,。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等,。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。送風(fēng),、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖,。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測,。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm,，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m,。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳,；高于80mg/m,，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%,。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動采樣探頭往復(fù)掃描,。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s,。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時,，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動力采樣”),。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm,。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個出風(fēng)面、過濾器的周邊,、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點,。C.3.6驗收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時，就認(rèn)為存在滲漏,。供需雙方也可商定其他驗收限值,。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時間,，光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置,。醫(yī)療器具潔凈室檢測價格中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。

D.3.5氣流流型的檢測,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測,，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法,、示蹤劑注人法,，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源,。3示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進***流目測,，本法一般是與示蹤法結(jié)合,，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置,、儀器等,，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定,。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式,、開放式和微環(huán)境等,，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室,。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求,、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室,。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式,。減少渦流,，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)極少,。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能,。此外,，潔凈室天然采光少，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,，熒光燈基本能滿足這一要求,。因此，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源,。當(dāng)有些潔凈室層高較高,，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計照度值，在此情況下,，可采用其他光色好,、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求,，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時，也可采用其他形式光源,。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定,。浙江壓縮空氣檢測潔凈室檢測目的

非單向流潔凈室中都有渦流存在,，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中,。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,，若它們有防微振要求時，為解決防微振問題,，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中,，需要對周圍振源的振動影響作出評價，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè),。周圍振源對精密設(shè)備,、精密儀器儀表的振動影響，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果,。這種疊加,，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法。因此,，應(yīng)立足于實測,。過去有的工廠，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測,，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備,、精密儀器儀表影響很大，有的甚至難以工作,，給生產(chǎn),、試驗帶來很大困難，這說明實測振源振動影響是非常必要的,。上海半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測服務(wù)