15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)),，其建筑結構的微振動控制設計,，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度,；2應設置**的建筑結構微振動控制體系,，并應與廠房主體結構分隔；3主體結構應根據(jù)微振動控制的要求,，適當加大梁,、柱、墻,、基礎等截面尺寸,。15.3.3有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施,，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）,；2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架,、柔性連接等隔振措施。不同等級的潔凈室,、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值,。安徽壓差潔凈室檢測周期

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設計中，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層,，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備,、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板,、多孔板回至下技術夾層,，實際上，下技術夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層,。壓差潔凈室檢測規(guī)范性強無菌室的潔凈度直接決定了實驗室的微生物結果的可信度。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,，應根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定,。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應采用內(nèi)墻承重體系,。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔,、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求,。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫,、隔熱、防火,、防潮,、少產(chǎn)塵、易清潔等要求,。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設備,、生產(chǎn)環(huán)境控制設施協(xié)調(diào)，并應具有防火,、控制溫度變形和不均勻沉陷性能,。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層,、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面,、空間布局和構造，應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝,、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求,。

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體,、液體供應管道,，如氫、氧,、氮,、氬、壓縮空氣和純水,、上水等管道,，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風管和局部排風管等,，管線交叉復雜,。因此，在進行管線綜合布置時，必須在平面和標高上密切配合,，綜合考慮,，才能做到安裝、調(diào)試,、清掃,、使用和維修的方便及整齊美觀。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中,，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設置了技術夾層或技術夾道,，大多使用效果良好，但有的新建工程把技術夾層設計得過高是不經(jīng)濟的,。改建工程由于空間較小,，管線布置比較緊湊，但如果布置合理,，效果也是不錯的,。因此，在進行管線綜合布置設計和確定技術夾層層高時,，應進行技術經(jīng)濟比較,，做到技術上可靠，經(jīng)濟上合理,。潔凈室等級劃分世界各國均有自定規(guī)格,。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型,、空氣潔凈度等級的保持密切相關,，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側,；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外,，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,，電子工廠在實際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試,、邊生產(chǎn)邊增加設備擴大生產(chǎn)能力的情況很多,，因此在做工藝布局時，應根據(jù)具體情況,，考慮這些因素,，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應技術措施,，如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗,；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等,。應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位,。江蘇氣流潔凈室檢測技術好

減少渦流,，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。安徽壓差潔凈室檢測周期

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生,，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試,。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏,；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,，在過濾器的上風向注入氣溶膠,，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣,。檢漏包括濾材,、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng),。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設施需要再檢測時,，或更換了末端過濾器之后進行,。安徽壓差潔凈室檢測周期