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江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

來源: 發(fā)布時間:2024-12-16

無塵室凈化關(guān)鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度,使商品能在一個優(yōu)良之自然環(huán)境室內(nèi)空間中生產(chǎn)制造,、生產(chǎn)制造,,此室內(nèi)空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構(gòu)一般可分成三種:不銹鋼板鋁方通,、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材,,頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板,、抗靜電網(wǎng)格圖簾及亞克力有機玻璃板等原材料,。周邊一般全是選用抗靜電網(wǎng)格圖簾或者有機玻璃板,排風(fēng)部用均選用FFU的清潔排風(fēng)模塊,。人員在進人潔凈室(區(qū))之前按一定程序進行凈化的房間,。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的,無塵室檢測

11.5.1工藝設(shè)備的安裝不應(yīng)影響潔凈室參數(shù)和服務(wù)功能。11.5.2工藝設(shè)備安裝時,,現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運行24h以上,;現(xiàn)場除正常照明外,,應(yīng)配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源,。11.5.3任何用于大設(shè)備的提升,、牽引或定位的**設(shè)備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前,應(yīng)徹底清潔,,并應(yīng)檢查有無脫屑,、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設(shè)備安裝時應(yīng)妥善保護墻壁與地面,,設(shè)備的軟膠輪應(yīng)予包裹,,避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應(yīng)劃傷或污染所在表面,。設(shè)備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時,,穿越處縫隙應(yīng)用柔性材料填充、密封,,并應(yīng)裝飾處理,。潔凈工作臺無塵室檢測價格潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進行劃分的等級標準,。

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E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進行,,凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機運行是否正常,,系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,,有無障礙,所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,,且必須實際測量被測風(fēng)口,、風(fēng)管尺寸。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,,一般可用熱球式風(fēng)速儀,,需要測出分速度時,應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計,。E.1.4對于單向流潔凈室,,可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板,、格柵除外)的水平截面,,如有阻隔面,該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上 0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面 0.5m 的垂直于地面的截面,,截面上測點間距不應(yīng)大于1m,,一般取 0.3m。測點數(shù)應(yīng)不少于 20 個,均勻布置,。E.1.5對于非單向流潔凈室,,內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量,,為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,,也可用風(fēng)口法。

11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理,,并應(yīng)平整,、無麻面、不起塵,。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線,,不應(yīng)設(shè)排水溝。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏,,地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求,。當無明確要求時,不應(yīng)小于70mm,。冷凝水出水管應(yīng)有閥門,,無冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉,并應(yīng)有提示標志,。11.3.7當空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負壓段時,地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座,,底座高度不宜低于200mm,。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架,不得在空調(diào)機組壁板上開設(shè)固定支架用的安裝孔,。加濕器噴管與機組壁板間應(yīng)做好絕熱,、密封處理。指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8~15m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域,。

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食品衛(wèi)生質(zhì)量直接關(guān)系到人們的身體健身和生命安全,。影響食品衛(wèi)生質(zhì)量的因素有生產(chǎn)原料及輔料、生產(chǎn)工藝技術(shù)和生產(chǎn)環(huán)境等,。食品生產(chǎn)環(huán)境包括可能與食品接觸 的設(shè)備(工器具),、人員和空氣等,其安全生產(chǎn)控制的目的是為了防止食品在不衛(wèi)生的條件下加工,。食品生產(chǎn)用潔凈間(區(qū))的污染控制是食品生產(chǎn)環(huán)境控制的關(guān)鍵 環(huán)節(jié),,其控制對象包括塵粒和微生物??諝庵械奈⑸餆o處不在,,并常附著在塵埃粒子上,隨著塵埃、霧滴及皮屑,、毛發(fā)等傳播,。空氣中的塵埃粒子越多,,細菌附著在塵埃粒子上的機會越大,,傳播的機會也增加。同樣,,病毒也會附著在塵粒上并進行傳播,。因此,控制空氣中塵粒的數(shù)量就可以控制附著在其上的微生物,。在未來,,隨著科技的不斷推進,無塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用,。安徽潔凈室環(huán)境無塵室檢測方法

利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室,。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的

1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型,。導(dǎo)靜電型地面,、墻面、柱面的表面電阻,、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面,、墻面、柱面,、頂棚,、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面,、墻面,、柱面和頂棚、門的表面電阻,、對地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面,、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料,。選用靜電耗散型材料的地面,、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面,、柱面,、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V,。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測目的