9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備,、流動液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施,，其中有和火災(zāi)危險場所的設(shè)備,、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán),。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2,。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接,。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨絕緣敷設(shè),，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω,；選擇分散接地方式時,，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距,。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定,。充分利用回風量；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風量的風機等入手,。實驗室環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū),、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,，并宜布置在上風側(cè)；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求,。另外,，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實際生產(chǎn)中,，在線維修及調(diào)試,、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時,，應(yīng)根據(jù)具體情況,，考慮這些因素，留出相應(yīng)的運作空間,。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施，如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室,；大物件的運送也可以采用氣閘室,，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等,?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強空氣過濾器的處理風量應(yīng)小于或等于額定風量。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備,。在某些情況下,，由于技術(shù)或經(jīng)濟上的原因而難以做到時，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi),。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲,。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低,。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān),。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。

5.5.2當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施,。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品,。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施,。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施,。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零,、部件存放和傳送,，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔,、不吸濕、不銹蝕,、不散發(fā)污染物,、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化,；2應(yīng)密封性能好,；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣,；4構(gòu)造,、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送,。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣,。

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì),、水溫、水壓,、水量的要求確定,，宜按生產(chǎn)、生活,、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng),。8.2.2當設(shè)有危險化學品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求,，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器,，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕,，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力,；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,，采用不銹鋼管,、鋼塑管、塑料管等,，不宜采用焊接鋼管,；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,，潔凈室設(shè)計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,，這是理所當然的。江蘇無塵室3Q驗證潔凈室檢測評估

潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,。實驗室環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵,，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格，如大規(guī)模集成電路的超純水,、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等,。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴格,，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等）,，以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng),，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),，如大規(guī)模集成電路,、生物制藥等,。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快，生產(chǎn)工藝變化多,。因此,，在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。實驗室環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強