9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,，這就要求在達到同一照度值情況下，安裝燈具的個數(shù)極少,。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能,。此外,，潔凈室天然采光少,，在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光，熒光燈基本能滿足這一要求,。因此,，目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當有些潔凈室層高較高,，采用一般熒光燈照明很難達到設(shè)計照度值,，在此情況下，可采用其他光色好,、光效更高的光源,。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求，或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時,，也可采用其他形式光源,。負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。北京過濾器潔凈室檢測公司

9.2.5潔凈廠房的正常照明因電源故障而熄滅,，不能進行必要的操作處置可能導(dǎo)致生產(chǎn)流程混亂,，加工處理的貴重零部件損壞；或由于不能進行必要的操作處置而可能引起火災(zāi),、和中毒等事故,，本條規(guī)定應(yīng)設(shè)置備用照明，以防止上述事故和情況發(fā)生,。備用照明應(yīng)滿足所需要的場所或部位進行各項活動和工作所需的最低照度值,。一般場所備用照明的照度不應(yīng)低于正常照明照度標準的1/10。消防控制室,、應(yīng)急發(fā)電機室,、配電室及電話機房等房間的主要工作面上，備用照明的照度不宜低于正常照明的照度值,。為減少燈具重復(fù)設(shè)置,，節(jié)省投資，并對提高潔凈室的潔凈度有利,，備用照明宜作為正常照明的一部分,。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測流程對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣,。

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇,；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi),。當潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi),。若有特殊要求時,，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處,。10.2.4進入潔凈廠房的氣體管道控制閥門,、氣體過濾器、調(diào)壓裝置,、壓力表,、流量計、在線分析儀等,，宜集中設(shè)置在氣體入口室,。

4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低,、自然環(huán)境較好的區(qū)域,；2應(yīng)遠離鐵路、碼頭,、飛機場,、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉,、堆場等有嚴重空氣污染,、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠離嚴重空氣污染源時,，則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè),；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少,、人流和物流不穿越或少穿越的地段,。..單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室,。

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵,，對給水系統(tǒng)要求較為嚴格,，如大規(guī)模集成電路的超純水,、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價高,、管理要求嚴格,，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫,、水質(zhì)要求等）,，以便重點保證要求嚴格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),，如大規(guī)模集成電路,、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快,，生產(chǎn)工藝變化多,。因此，在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量,。非單向流潔凈室中都有渦流存在,，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中,。浙江半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測報告

送風(fēng),、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。北京過濾器潔凈室檢測公司

B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力,。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一,。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù)),、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置,、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中,，污染被受控氣流置換,，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行,。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測,。檢測若使用人工氣溶膠，應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染,。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率,。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優(yōu)先方法,。潔凈恢復(fù)率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率,。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數(shù)刻度,；橫座標表示濃度,，為線性刻度)。北京過濾器潔凈室檢測公司