D.3.2靜壓差測試,應(yīng)符合下列規(guī)定:1靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行,。2儀器宜采用各種型式的微壓計,,儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。3潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時,,應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,,并應(yīng)按順序向外進行檢測。D.3.3已安裝的空氣過濾器泄漏測試,,應(yīng)符合下列規(guī)定:1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計數(shù)器,。2應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠,;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊,、過濾器框架及其密封處的掃描,。非單向流潔凈室有幾個共同的特點:終端過濾器(高效或亞高效)盡量接近潔凈室。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強
8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間,。2干管應(yīng)敷設(shè)在上,、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。4當(dāng)易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時,必須采取可靠的濃度檢測報警,、通風(fēng)措施,。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定:1應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑,。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,,管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短,。3應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管,、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施,。8.1.5可燃氣體管道,、氧氣管道的末端或比較高點均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m,,并應(yīng)有防雨,、防雜物侵入的措施。
浙江壓差潔凈室檢測方法工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫,。
5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代,、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,,以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品,;以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn),;微型計算機的迅速發(fā)展,使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速,。因此,,電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,,從潔凈廠房的規(guī)劃開始,,對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計,、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,,以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
5.2.2人員進出,、材料出入,、產(chǎn)品運送及設(shè)備、工具搬運的頻繁交錯,,不但會彼此干擾,、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率,并可能會使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞,。因此,,在工藝布局時,應(yīng)充分考慮人員,、物料設(shè)備,,有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室,、多人吹淋室,、通道式吹淋室、氣閘室等,,具體選用何種形式,,需根據(jù)潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級、人員數(shù)量,、未來發(fā)展需求等確定,。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室,、壓縮空氣吹掃頭等,,一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級等確定,。定期檢測潔凈度,,確保空氣質(zhì)量的穩(wěn)定,。
15.3.2有微振動控制要求的潔凈室(區(qū)),,其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計,應(yīng)符合下列規(guī)定:1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上,,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度,;2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系,并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔,;3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求,,適當(dāng)加大梁、柱,、墻,、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設(shè)備和管道,,宜采取主動隔振措施,,并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(座);2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,,宜采取隔振支(吊)架,、柔性連接等隔振措施,。中效或高中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段。浙江壓差潔凈室檢測方法
管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強
1管道連接應(yīng)采用焊接,熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接,。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊,,以對接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊,。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求,。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道,、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定:1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì),、設(shè)計工況選擇,宜采用聚四氟乙烯等,。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定,,宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度,、濕度確定保溫形式和構(gòu)造,。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒,、微生物的材料,,并應(yīng)平整、光潔,,宜采用金屬外殼保護,。浙江口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測規(guī)范性強