C.1.1檢測目的檢測的目的是確認(rèn)過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試,。此項(xiàng)檢測用于驗(yàn)證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏；確認(rèn)過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度,。C.1.2檢測過程檢測中,，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣,。檢漏包括濾材、過濾器邊框,、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng),。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,。浙江國內(nèi)潔凈室檢測頻率

1近年來,，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計中,，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),，實(shí)際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上,，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。浙江潔凈設(shè)備3Q驗(yàn)證潔凈室檢測哪家好以前常稱為亂流型潔凈室,，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行,，應(yīng)包括設(shè)計,、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計,、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等,。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時,，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響,；2設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造,、結(jié)構(gòu)選型,、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計,；3對設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施,；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備,、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時,，應(yīng)采取被動隔振措施,。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備,。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時,，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低,。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān),。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。潔凈室等級劃分世界各國均有自定規(guī)格,。

近年來，國內(nèi)設(shè)計,、建造的潔凈廠房,，一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級，還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室,、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求,，但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng)，或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室,、潔凈工作服洗滌室,。為此，本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級~2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消,，修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi)：“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室（區(qū))的空氣潔凈度等級確定”,。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,。上海手術(shù)室潔凈室檢測

無菌室,，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計用于控制環(huán)境污染的封閉空間,。浙江國內(nèi)潔凈室檢測頻率

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同,，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體、液體供應(yīng)管道,，如氫,、氧、氮,、氬,、壓縮空氣和純水、上水等管道,，以及電氣管線,、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等，管線交叉復(fù)雜,。因此,，在進(jìn)行管線綜合布置時，必須在平面和標(biāo)高上密切配合，綜合考慮,，才能做到安裝,、調(diào)試、清掃,、使用和維修的方便及整齊美觀,。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道,，大多使用效果良好,，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計得過高是不經(jīng)濟(jì)的。改建工程由于空間較小,，管線布置比較緊湊,，但如果布置合理，效果也是不錯的,。因此,，在進(jìn)行管線綜合布置設(shè)計和確定技術(shù)夾層層高時，應(yīng)進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,，做到技術(shù)上可靠,，經(jīng)濟(jì)上合理。浙江國內(nèi)潔凈室檢測頻率