B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力,。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,,因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù)),、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),,而單向流系統(tǒng)中,,污染被受控氣流置換,自凈時間只受位置和距離的影響,。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進(jìn)行,。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測,。檢測若使用人工氣溶膠,,應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染,。B.2自凈性能的評估方法有100:1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率。100:1自凈時間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間,。100:1自凈時間檢測是優(yōu)先方法,。潔凈恢復(fù)率的定義:粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度,,為對數(shù)刻度,;橫座標(biāo)表示濃度,為線性刻度),。應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),,合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。上海國內(nèi)潔凈室檢測哪家好
4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,,設(shè)計(jì)時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備,。在某些情況下,由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時,,則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,,如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,,必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,,不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),,潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲,,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,,不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。上海國內(nèi)潔凈室檢測哪家好潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。
10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度,、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi),。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,,氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi),。若有特殊要求時,,也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi),;4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門,、氣體過濾器,、調(diào)壓裝置、壓力表,、流量計(jì),、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室,。
15.3.2有微振動控制要求的潔凈室(區(qū)),,其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列規(guī)定:1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上,,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度,;2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系,并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔,;3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求,,適當(dāng)加大梁、柱,、墻,、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強(qiáng)烈振動的設(shè)備和管道,,宜采取主動隔振措施,,并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(座);2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,,宜采取隔振支(吊)架,、柔性連接等隔振措施。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反,。
7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng),。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定,。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時,,宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng),、隧道送風(fēng),、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求,,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較,,采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置,,應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口,。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運(yùn)行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng),應(yīng)集中處理,。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管,、死角和不易清掃的部位。安徽壓差潔凈室檢測技術(shù)好
定期檢測潔凈度,,確??諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定,。上海國內(nèi)潔凈室檢測哪家好
7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級,,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用,。7.1.3有下列情況之一者,,凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置:1運(yùn)行班次或使用時間不同;2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序,、設(shè)備交叉污染,,對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響,;3對溫,、濕度控制要求差別大;4潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊,;5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),,6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。上海國內(nèi)潔凈室檢測哪家好