1管道連接應(yīng)采用焊接,，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接,。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接,；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊,。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管,。8.3.3管道與管道,、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇,，宜采用聚四氟乙烯等,。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套,。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度,、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度,。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒,、微生物的材料，并應(yīng)平整,、光潔，宜采用金屬外殼保護,。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。氣流潔凈室檢測范圍

隨著生產(chǎn)工藝對純水水質(zhì)的不斷提高，甚至到了理論純水的程度,，尤其是集成電路的發(fā)展不但對水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴格,，而且對細菌、微粒,、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求,；醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水，對水中含菌量,、熱源均有嚴格要求,。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計是保證使用點水質(zhì)的關(guān)鍵,。實踐證明,，采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),，以減少純水在管道內(nèi)的停留時間,，減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會有微量物質(zhì)溶出)對超純水水質(zhì)的影響，同時,，基于流水不腐的道理,，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測頻率不同等級的潔凈室,、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值,。

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋,、水洗凈鞋,、粘鞋墊、換鞋,、套鞋等凈鞋措施,。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,，避免了清潔鞋被外出鞋污染,，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果,。

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試,。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏,；確認過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣,。檢漏包括濾材,、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng),。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時,，或更換了末端過濾器之后進行,。設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力,、效率應(yīng)相近,。

4.2.2因生產(chǎn)工藝的不同，潔凈廠房內(nèi)常有多種氣體,、液體供應(yīng)管道,，如氫、氧,、氮,、氬、壓縮空氣和純水,、上水等管道,，以及電氣管線、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)管和局部排風(fēng)管等,，管線交叉復(fù)雜,。因此，在進行管線綜合布置時,，必須在平面和標高上密切配合,，綜合考慮，才能做到安裝,、調(diào)試,、清掃、使用和維修的方便及整齊美觀,。對國內(nèi)已建成的潔凈廠房調(diào)研中,，了解到為布置各種管道和高效過濾器等一般均設(shè)置了技術(shù)夾層或技術(shù)夾道，大多使用效果良好,，但有的新建工程把技術(shù)夾層設(shè)計得過高是不經(jīng)濟的,。改建工程由于空間較小,，管線布置比較緊湊,，但如果布置合理,，效果也是不錯的。因此,，在進行管線綜合布置設(shè)計和確定技術(shù)夾層層高時,，應(yīng)進行技術(shù)經(jīng)濟比較，做到技術(shù)上可靠,，經(jīng)濟上合理,。有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度,，又保證有穩(wěn)定的氣流流型,。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測誠信推薦

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室,。氣流潔凈室檢測范圍

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品,。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時,，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施,。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi),，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,，宜采用容器,。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔,、不吸濕,、不銹蝕、不散發(fā)污染物,、防靜電,，并在空氣中不應(yīng)被氧化；2應(yīng)密封性能好,；3當(dāng)存放物有嚴格的潔凈度要求時,，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造,、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,，并應(yīng)方便操作和運送。氣流潔凈室檢測范圍