10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度,、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠(chǎng)房設(shè)有氣體入口室時(shí),，氣體純化間宜與氣體入口室合建,；3各類(lèi)氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí),，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi),；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠(chǎng)房的氣體管道控制閥門(mén),、氣體過(guò)濾器,、調(diào)壓裝置、壓力表,、流量計(jì),、在線(xiàn)分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室,。潔凈室絕不僅于“潔凈”,，而必須是一個(gè)對(duì)冷熱,、噪聲,、照度、靜電,、微振都有相當(dāng)要求的多功能的綜合體,。安徽潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測(cè)服務(wù)商

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部,、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線(xiàn),；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道,。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層,；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線(xiàn)等的下技術(shù)層,。有的電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層,。浙江實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測(cè)服務(wù)減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū),。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下,，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí),，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠(chǎng)房中,，不少潔凈室將機(jī)械泵一類(lèi)高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲,，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。

7.2.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無(wú)菌無(wú)塵，對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,，如大規(guī)模集成電路的超純水,、醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高,、管理要求嚴(yán)格,，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫,、水質(zhì)要求等）,，以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠(chǎng)房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路,、生物制藥等,。這些生產(chǎn)部門(mén)產(chǎn)品升級(jí)換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量?？諝膺^(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。

潔凈廠(chǎng)房中生產(chǎn)區(qū),、輔助區(qū)和各類(lèi)生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型,、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置,，并宜布置在上風(fēng)側(cè),；空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外,，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,，電子工廠(chǎng)在實(shí)際生產(chǎn)中,，在線(xiàn)維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,，因此在做工藝布局時(shí),，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素,，留出相應(yīng)的運(yùn)作空間,。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,，如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室,；大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室，一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗,；穿越隔墻的管線(xiàn)應(yīng)采用可靠氣密措施等,。以前常稱(chēng)為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動(dòng),。江蘇國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)范圍

潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度,、溫度、濕度,、壓力,、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。安徽潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測(cè)服務(wù)商

6.3.4潔凈廠(chǎng)房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿(mǎn)足使用功能要求,，且表面應(yīng)平整,、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮,、防霉措施。6.3.5當(dāng)潔凈廠(chǎng)房設(shè)置外窗時(shí),，應(yīng)采用雙層固定窗,，并應(yīng)有良好的氣密性，同時(shí)應(yīng)采取防結(jié)露措施,。6.3.6潔凈室（區(qū)）門(mén)窗,、墻壁、頂棚,、地面,、樓面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿(mǎn)足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施,；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道,，3潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺(tái)；4當(dāng)?shù)孛娌捎没顒?dòng)地板時(shí),，活動(dòng)地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇,。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚,，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。安徽潔凈工作臺(tái)潔凈室檢測(cè)服務(wù)商