9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下，安裝燈具的個(gè)數(shù)極少,。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍，而且發(fā)熱量小,，有利于空調(diào)節(jié)能,。此外，潔凈室天然采光少,，在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,，熒光燈基本能滿(mǎn)足這一要求。因此,，目前國(guó)內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源,。當(dāng)有些潔凈室層高較高,，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值，在此情況下,，可采用其他光色好,、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對(duì)光源光色有特殊要求,，或熒光燈對(duì)生產(chǎn)工藝和測(cè)試設(shè)備有干擾時(shí),，也可采用其他形式光源。送風(fēng),、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖,。國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)值得推薦

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時(shí)還應(yīng)提出溫度,、濕度,、壓差、噪聲,、振動(dòng),、靜電防護(hù)、照度等參數(shù)要求,。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求,，對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體,、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制,。3.1.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工具、器具和物料儲(chǔ)運(yùn)裝置,，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇,。。,。江蘇實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)頻率充分利用回風(fēng)量,；選擇低阻力高效率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。

D.3.2靜壓差測(cè)試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門(mén)關(guān)閉時(shí)進(jìn)行,。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa,。3潔凈廠(chǎng)房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí),，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè),。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠,；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處,，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊,、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描,。

6.3.1潔凈廠(chǎng)房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好,，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料,。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定,。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50,，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿(mǎn)足使用功能的要求,，且表面應(yīng)平整,、光滑、不起塵,、避免眩光,、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面,，2當(dāng)采用踢腳時(shí),，踢腳不宜突出墻面,?？諝膺^(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度,、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi),。當(dāng)潔凈廠(chǎng)房設(shè)有氣體入口室時(shí),，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類(lèi)氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi),。若有特殊要求時(shí),，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處,。10.2.4進(jìn)入潔凈廠(chǎng)房的氣體管道控制閥門(mén),、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置,、壓力表,、流量計(jì)、在線(xiàn)分析儀等,，宜集中設(shè)置在氣體入口室,。干管應(yīng)敷設(shè)在上,、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。北京半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)服務(wù)

設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效,、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力,、效率應(yīng)相近。國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)值得推薦

D.3.5氣流流型的檢測(cè),，應(yīng)符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測(cè),，宜采用氣流目測(cè)法。2氣流目測(cè)法有示蹤線(xiàn)法,、示蹤劑注人法,，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線(xiàn)法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源,。3示蹤線(xiàn)法應(yīng)為通過(guò)觀(guān)察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線(xiàn)或單根尼龍纖維等,，直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。4示蹤劑注入法,，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,，在**度光源下進(jìn)行觀(guān)察或做成圖像。5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)***流目測(cè),，本法一般是與示蹤法結(jié)合,，將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置,、儀器等,，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。國(guó)內(nèi)潔凈室檢測(cè)值得推薦