9.4.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加,，阻力逐漸增大，為保持送風(fēng)風(fēng)量,，經(jīng)常手動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥,，以增加風(fēng)量，調(diào)整很麻煩,；在空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)調(diào)試中,，系統(tǒng)啟動時為使風(fēng)機空載啟動,，首先將風(fēng)機出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機啟動后,，由于風(fēng)閥上承受壓力很大,，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風(fēng)機的變頻調(diào)速裝置后,，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)變得十分容易,，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機采用變頻調(diào)速后節(jié)能十分***,。9.4.3為避免凈化空調(diào)系統(tǒng)因風(fēng)機停轉(zhuǎn)無風(fēng)或超溫時,，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，本條強制性規(guī)定應(yīng)設(shè)置無風(fēng),、超溫斷電等保護裝置,。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術(shù)好

5.5.2當設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,，宜采取密封隔斷措施,。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時,，應(yīng)采取隔聲措施,。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi),，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零,、部件存放和傳送，宜采用容器,。用于存放和傳送的**容器,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕,、不銹蝕,、不散發(fā)污染物、防靜電,，并在空氣中不應(yīng)被氧化,；2應(yīng)密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,，宜充填高純度或干燥氮氣,；4構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,，并應(yīng)方便操作和運送,。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測目的為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染,。

C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測項目,，對安裝的過濾器進行檢漏,。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測已獲得業(yè)主認可，在緊接著的潔凈度項目檢測過程中,，可進行抽檢或免檢,。C.1.3.3有條件時，宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測項目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并,；過濾系統(tǒng)檢漏費時,、費人力，整個潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時間周期,。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計法”和“離散粒子計數(shù)器（DPC)法”,。氣溶膠光度計是測量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度，而離散粒子計數(shù)器是測量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,，2種方法獲得的結(jié)果不能進行直接比較,。

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代,、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品,；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn),；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速,。因此,，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠,、潔凈廠房的工藝設(shè)計,、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求,。一般情況下,，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測,。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7],；濃度為10mg/m~100mg/m,。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m,，長時間檢測會過度污染過濾器,。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時間的變化不應(yīng)超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,，移動采樣探頭往復(fù)掃描,。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度,。掃描速度為5cm/s,。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊,。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動力采樣”),。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個出風(fēng)面,、過濾器的周邊,、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點。C.3.6驗收限值：當讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時,，就認為存在滲漏,。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處,，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測量一段時間,，光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。有足夠的風(fēng)量,，既為了稀釋空氣的含塵濃度,，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。手術(shù)室潔凈室檢測服務(wù)

負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反,。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術(shù)好

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系,。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快,，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求,。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱,、防火,、防潮、少產(chǎn)塵,、易清潔等要求,。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火,、控制溫度變形和不均勻沉陷性能,。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層,、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面,、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝,、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求,。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術(shù)好