5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設計,，應符合下列要求：1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設空氣吹淋室,。當不設空氣吹淋室時，應設氣閘室,；2吹淋室應設在更換潔凈工作服后的相鄰部位,；3單人空氣吹淋室，應按比較大班人數(shù)每30人設一臺,。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時,，空氣吹淋室一側(cè)應設單向旁通門；4空氣吹淋室的進,、出門不得同時開啟,，應采取連鎖控制措施；5空氣潔凈度等級為5級或嚴于5級的垂直單向流潔凈室（區(qū)),，宜設氣閘室,。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內(nèi)逐步潔凈,，室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣,。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級；當設有潔凈工作服洗滌室時,，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級,。根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型,，在工作區(qū)應避免渦流區(qū),。溫濕度潔凈室檢測認真負責

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定,。7.1.2氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用,。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設置：1運行班次或使用時間不同,；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序,、設備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康,、安全有影響,；3對溫、濕度控制要求差別大,；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設備發(fā)熱相差懸殊,；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。上海無塵室3Q驗證潔凈室檢測評估斷截面上風速一致,，有垂直單向潔凈室,，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等,。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)),，其建筑結(jié)構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：1建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上,，且基礎應有足夠剛度,；2應設置**的建筑結(jié)構微振動控制體系，并應與廠房主體結(jié)構分隔,；3主體結(jié)構應根據(jù)微振動控制的要求,，適當加大梁、柱,、墻,、基礎等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設備和管道,，宜采取主動隔振措施,，并應符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道,，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施,。

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量,；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應相近,；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近,；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效,、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作,。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風量應能調(diào)節(jié)；5應便于安裝,、維修及過濾器更換,。滿布或布置率較高時,，外殼強度應滿足檢修要求。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象,。

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì),、水溫、水壓,、水量的要求確定,，宜按生產(chǎn)、生活,、消防分別設置的給水系統(tǒng),。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求,，設置緊急淋浴器和洗眼器,，其給水管道應環(huán)形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,，應符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,，應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；2埋地管道應耐腐蝕,，并應具有承受相應地面荷載的能力,；3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,，采用不銹鋼管,、鋼塑管、塑料管等,，不宜采用焊接鋼管,；4閥門及附件應采用與管材相同的材質(zhì)。潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量,。上海無塵室3Q驗證潔凈室檢測評估

潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。溫濕度潔凈室檢測認真負責

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間,。2干管應敷設在上,、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。3易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道應明敷。4當易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施,。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定,。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑,。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,，管道系統(tǒng)應盡量短。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管,、死角和不易清掃的部位,。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口,。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫,。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。8.1.5可燃氣體管道,、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管,。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨,、防雜物侵入的措施,。溫濕度潔凈室檢測認真負責