5.1.1隨著科學技術(shù)的發(fā)展,，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速,，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn),；微型計算機的迅速發(fā)展,，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此,，電子工業(yè)潔凈廠房的設計,、建造必須適應這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始,，對于電子工廠,、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求,。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,，宜用于6~9級的潔凈室中,。北京塵埃粒子潔凈室檢測評估

1凈鞋的目的在于保護人員凈化用室入口處不致受到嚴重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設有擦鞋,、水洗凈鞋,、粘鞋墊、換鞋,、套鞋等凈鞋措施,。為了保護人員凈化用室的清潔，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,，其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮，換鞋設施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,，避免了清潔鞋被外出鞋污染,，如跨越鞋柜式換鞋，清潔平臺上換鞋等都有很好的效果,。北京塵埃粒子潔凈室檢測評估可燃氣體管道,、氧氣管道的末端或極高點均應設置放散管。

D.3.5氣流流型的檢測,，應符合下列規(guī)定：1氣流流型的檢測,，宜采用氣流目測法。2氣流目測法有示蹤線法,、示蹤劑注人法,，并應用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區(qū))的一種污染源,。3示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。4示蹤劑注入法,，可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,，在**度光源下進行觀察或做成圖像。5應采用圖像處理技術(shù)進***流目測,，本法一般是與示蹤法結(jié)合,，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。6氣流目測的測點位置,、儀器等,，應根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間,。2干管應敷設在上,、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道應明敷。4當易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警,、通風措施,。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑,。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短,。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管,、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施,。8.1.5可燃氣體管道,、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m,，并應有防雨,、防雜物侵入的措施,。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,，且表面應平整,、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應采取防水或防潮,、防霉措施,。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗,，并應有良好的氣密性,，同時應采取防結(jié)露措施。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗,、墻壁,、頂棚、地面,、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求,，構(gòu)造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設檢修通道,，3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺,；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇,。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚,，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用,，迅速把室內(nèi)污染排出,。北京塵埃粒子潔凈室檢測評估

應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑,。北京塵埃粒子潔凈室檢測評估

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用,；2應按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風量應能調(diào)節(jié),；5應便于安裝、維修及過濾器更換,。滿布或布置率較高時,，外殼強度應滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩,；2層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產(chǎn)工藝或設備需要選用,；3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4安裝方式不應影響生產(chǎn)操作,。北京塵埃粒子潔凈室檢測評估