（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物,。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù),、新工藝,、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高,，對(duì)無塵提出了越來越高的要求,。目前,，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子,、生物制藥,、宇航、精密儀器制造等重要部門,。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響,。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行,。據(jù)了解,，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,，室內(nèi)空氣會(huì)很快污染,，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個(gè)相對(duì)的密閉體,，由于停電造成送風(fēng)中斷,，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充，有害氣體不能排出,，對(duì)工作人員的健康是不利的,。潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。北京溫濕度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前,，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè),。C.3.2過濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7],；濃度為10mg/m~100mg/m,。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m,，長時(shí)間檢測(cè)會(huì)過度污染過濾器,。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過平均測(cè)量值的士15%,。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度,。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),，掃描的覆蓋面之間略有重疊,。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm,。C.3.5掃描應(yīng)遍及過濾器的整個(gè)出風(fēng)面,、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn)。C.3.6驗(yàn)收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí),，就認(rèn)為存在滲漏,。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處,，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間,，光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置。浙江無塵室3Q驗(yàn)證潔凈室檢測(cè)范圍不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,。

5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室,，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,，還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合，使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體,。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,，它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi)，同時(shí)使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r(shí)易于保持正壓,，減少能量的損耗,。此外，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙,，一定要***密封,。目前國內(nèi)使用的密封方法很多，如液槽密封,、機(jī)械壓墊密封等,，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡(jiǎn)單,，而且還要考慮更換高效過濾器時(shí)方便拆裝,。總之,，沒有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進(jìn)入潔凈室內(nèi),。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力，以便施工,、運(yùn)行時(shí)人員行走,。

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí)，宜采取密封隔斷措施,。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品,。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí)，應(yīng)采取隔聲措施,。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施,。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi),，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,，宜采用容器,。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔,、不吸濕,、不銹蝕,、不散發(fā)污染物,、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化,；2應(yīng)密封性能好,；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造,、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間,。

B.1自凈檢測(cè)是測(cè)定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力,。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測(cè)*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,，因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù)),、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),，而單向流系統(tǒng)中,，污染被受控氣流置換，自凈時(shí)間只受位置和距離的影響,。自凈檢測(cè)應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行,。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測(cè)。檢測(cè)若使用人工氣溶膠,，應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染,。B.2自凈性能的評(píng)估方法有100：1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100：1自凈時(shí)間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間,。100：1自凈時(shí)間檢測(cè)是優(yōu)先方法,。潔凈恢復(fù)率的定義：粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度,，為對(duì)數(shù)刻度,；橫座標(biāo)表示濃度，為線性刻度),。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。北京溫濕度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的，潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,，這是理所當(dāng)然的,。北京溫濕度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)

10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量,、含油量,、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站,；4應(yīng)選用能耗少,、噪聲低的設(shè)備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī),，5含水量要求嚴(yán)格時(shí),，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。北京溫濕度潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)